RF magnetron sputtering법으로 제조한 $MoO_3$ 박막의 가스 감지 특성 및 첨가물의 영향
(Gas Sensing Characteristics and Doping Effect of $MoO_3$ Thin Films prepared by RF magnetron sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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- pp.460-463
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- 2002