Recently, the minimum line width shows a tendency to decrease and the multi-level increases in semiconductor. Therefore, a planarization technique is needed and chemical mechanical polishing(CMP) is considered as one of the most suitable process. CMP accomplishes a high polishing performance and a global planarization of high quality. However there are several defects in CMF, such as micro-scratches, abrasive contaminations and non-uniformity of polished wafer edges. Wet etching process including spin-etching can eliminate the defects of CMP. It uses abrasive-free chemical solution instead of slurry. On this study, ILD(Interlayer-Dielectric) was removed by CMP and wet etching process using DHF(Diluted HF) in order to investigate the possibility of planrization by wet etching mechanism. In the thin film wafer, the results were evaluated from the viewpoint of material removal rate(MRR) and within wafer non-uniformity(WIWNU). And the pattern step heights were also compared for the purpose of planarity characterization of the patterned wafer. Moreover, Chemical polishing process which is the wet etching process with mechanical energy was introduced and evaluated for examining the characteristics of planarization.
기업 프로세스 관리를 위한 컴퓨터 기반 응용 프로그램으로서 BPM(Business Process Management)에 대한 많은 관심은 시장 선점을 위한 여러 솔루션 벤더들의 독자적인 프로세스 정의와 저장 방식을 가져왔다. 호환성이 결여된 프로세스모델 정의는 국제적인 표준의 필요성을 제기함과 동시에 제정된 표준의 보급을 위한 적절한 적용 방법론을 요구하고 있다. 본 연구는 프로세스 모형화 측면에서 BPMN(Business Process Modeling Notation) 표준으로 기술된 프로세스 모델을 호환성 관점에서 XMI(XML Metadata Interchange) 기반의 중립 파일로 변환하는 방법론을 제시하였다. 21가지 워크플로우 패턴별로 변환 템플릿을 제공하였고, 기존 변환 방식인 BPEL4WS(Business Process Execution Language for Web Services)로의 변환 방식과 비교하였다. 연구 결과, 본 논문에서 제시한 XMI 변환은 기존 방식에 비해 완전한 변환이 가능함으로, BPM 공급업체들의 BPMN 적용에 실용적으로 기여할 수 있다.
Several remedial works were attempted to stabilize the collapsed area of the inlet slopes of diversion tunnel, but prevention of any further movement was being only carried out at beginning stage by filling the area with aggregates and rock debris, after several cracks had been initiated and developed around the area. The extra specialty developed folding zone is consisted with highly weathered Greywacke and Black shale. The suggested solution is to improve the properties of the rock mass of failed area by choosing the optimum level of reinforcement through the increment of slope rock support design so as to control the movement of slopes during the re-excavation. The Bakun hydroelectric project includes the construction of a hydroelectric power plant with an installed capacity of 2,520MW and a power transmission system connecting to the existing transmission networks in Sarawak and Western Malaysia. The power station will consist of a 210m height Concrete Faced Rockfill Dam. During the construction of the dam and the power facilities the Balui River has to be diverted of the tunnels is 12m and the tunnel width is 16m at the portal area. This paper describes the stability analysis and design methods for the open cut rock slopes in the inlet area of the diversion tunnels. The geotechnical parameters employed in stability calculations were given as a function of four defined Rock Mass Type (RMT) which were based on RMR system from Bieniawski. The stability calculations procedure of the rock slopes are divided into two stages. In the first stage, it is calculated for the stability of each "global" slope without any rock support and shotcrete system. In the second stage, it is calculated for each "local" slope stability with berms and supported with rock bolts and shotcrete. The monitoring instrumentation was performed continuously and some of the design modification was carried out in order to increase the safety of failed area based on the unforeseen geological risks during the open cut excavation.
21세기는 지식 정보화사회로 외부적인 환경 변화에 따라 국민들은 도서관에 다양한 기능을 요구하고 있다. 우선 전통적인 도서 보관(Container)기능에서 정보 접점(Connector) 기능을 요구하며. 정보 및 학습격차 해소를 위한 사회통합 기능과 지역단위의 인적자원개발을 위한 평생학습의 장으로서 역할을 기대하고 있다. 또한 정부 내의 환경도 교육인적자원부에 국가인적자원개발을 위한 '교육부총리제'를 도입하였으며 주5일제 및 고령화 사회에 대비한 도서관의 변화를 요구하고 있다. 지식 정보화, 주5일제, 고령화, 인적자원개발 등 평생학습사회의 새로운 패러다임과 불가분의 역학관계에 있는 도서관의 역할에 대하여 알아보고 앞으로 도서관이 추구해야 할 방향을 제시하였다.
스트레스 리본 보도교는 특정한 새그을 갖는 지지 케이블에 교량 길이에 비하여 단면 두께가 아주 작은 Deck을 설치하고 프리스트레스를 도입함으로써 발생되는 긴장된 바닥판의 축력으로 외력의 대부분을 저항하는 구조물이다. 일반 구조물 설계와 달리 스트레스 리본 보도교의 설계는 Deck 단면의 가정 이외에도 지지 및 긴장 케이블량과 긴장 케이블 긴장력을 가정하여야 하기 때문에 보다 많은 반복과정이 발생한다. 본 논문에서는 이러한 반복과정을 최소한으로 줄이고자 지지 및 긴장 케이블량과 긴장력을 합리적으로 가정할 수 있는 회귀분석식이 새그비 1/30, 1/40, 그리고 1/50를 갖는 교량길이 80m에 대하여 제안되었다.
The purpose of this thesis is to suggest how to plan ROK(Republic of Korea) Navy's strategy concerning to JOAC(Joint Operation Access Concept) and ASB(Air-Sea Battle) concept of US(United States) armed forces. Since 2006, US armed forces has been developing CONOPS(Concepts of Operations), JOAC & ASB. These concepts will not only affect security environment for Korea Peninsula and West Pacific Area, but also will be affected to ROK Navy's Strategy. Therefore, Korea Navy has to consider and review those concepts and should discuss the way to secure peace of Korea Peninsula. JOAC & ASB have been developed for securing operational access ability of US armed forces against enemy forces. A2/AD(Anti-Access, Area-Denial) is the strategy of possible enemy forces against US forces' approaching into the operation area and impede operations within area. US forces had to overcome enemy's A2/AD strategy in coming century to protect national interest and sustain global leadership. The main concept of JOAC & ASB is "Cross-domain Synergy", which means 'to eliminate duplicate and improve joint operability containing space and cyber operation area.' Korea Navy's acceptance of JOAC & ASB without any revising is not a rational choice. Without the amendment some problems can be occurred by the Korea navy's acceptance for the original version of JOAC & ASB. Those are "Missing differences of operation environment between Korea and US", "Impediment from neighbor nations, especially PRC (People's Republic of China)", and "Impediment inside from Korea armed forces". Therefore, Korea Navy has to evaluate and find out the way to solve for JOAC & ASB to apply for their strategy and minimise those possible problems above. This thesis is expected to be the solution.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제26권3호
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pp.344-352
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2002
In the analysis of the 3 dimensional plate structures by the finite element method, the triangular elements are generally used for the global stiffness matrix of the analyzed system. But the triangular elements of the plates have some problems in the process of formulation and in the precision of analysis. The formulation of the finite element method to analyze 3 dimensional plate structures using quadrilateral elements is presented in this paper. The degree of freedom off nodal point is 6, that is, the displacements in the direction off-y-z is and the rotations about x-y-z axis and then the degree of freedom off element is 24. For the comparison of the analysis using triangular elements and quadrilateral elements, the rectangular plates subjected to the uniform load and a concentrated load on the centroid of the plate, for which the theoretical solutions have been obtained, are analyzed. The calculated deflections of the rectangular plates using the finite element method by the triangular elements and the quadrilateral elements are also compared with the deflections of the plates calculated by theoretical solutions. The defections of the rectangular plates calculated by the finite element method using the quadrilateral elements are closer to the theoretical solutions than the defections calculated by the finite element method using the triangular elements. The deflection of the centroid of plate, calculated by the finite element method, converges to that of theoretical solution as the number of elements is increased. This convergence is much more rapid for the case of using the quakrilateral elements than fir the case of using triangular elements.
Galileo 위성항법시스템은 GPS에 대응하기 위해 EU에서 구축중인 시스템으로 실험위성GIOVE-A의 테스트가 끝났으며 두 번째 테스트 위성 GIOVE-B가 발사 예정이다. GPS와 Galileo 신호 모두 이용할 경우 도심지나 숲과 같은 음영지역에서도 가시위성수의 증가로 위치해를 구할 수 있고 보다 정확한 위치해를 얻을 수 있다. GPS와 Galileo 위성항법시스템은 독자적인 시각과 좌표체계를 갖추고 있으며 항법해를 계산을 위해서 서로 다른 오차 모델을 이용한다. 본 논문에서는 각 위성항법시스템의 오차 모델과 시각 및 좌표체계의 차이에 대해서 분석하였으며 이를 바탕으로 GPS와 Galileo 통합하는 항법 알고리즘을 구현하였다. 시뮬레이션을 통하여 시각, 좌표 시스템의 불일치에 의한 항법오차를 분석하고 가시위성수와 Dilution of Precision(DOP)를 계산하여 통합항법알고리즘의 성능을 검증하였다.
In this paper, the orbital forming analysis of an automotive hub bearing was studied to predict forming performances using the explicit finite element method. To find an efficient solution technique for the orbital forming, axisymmetric finite element models and 3D solid element models were solved and numerically compared. The time scaling and mass scaling techniques were introduced to reduce the excessive computational time caused by small element size in case of the explicit finite element method. It was found from the numerical simulations on the orbital forming that the axisymmetric element models showed the similar results to the 3D solid element models in forming loads whereas the deformations at the inner race of bearing were quite different. Finally the strains at the inner race of bearing and the forming forces to the peen were measured for the same product of the numerical model by test, and were compared with the 3D solid element results. It was founded that the test results were in good agreements with the numerical ones.
미국에서 GPS신호의 고의적 잡음을 해제한 후, GPS는 세계 시장을 독점하고 있으며 다른 나라에서는 GPS 사용에 있어 미국에 절대적으로 의존할 수 밖에 없게 되었다. 이에 기술적 전략적 종속을 우려한 러시아, EC 그리고 일본에서는 GLONASS, Galileo, JRANS의 차세대 GNSS 개발에 박차를 가하고 있다. 본 연구에서는 향후 제공될 유럽의 Galileo 위성의 영향을 사전에 분석하기 위해 GNSS 분석 소프트웨어인 GIMS2005를 개발하였으며 시뮬레이션에 기초한GPS/Gelileo 위성의 궤도, 가시위성수, 정밀도 저하율 그리고 측위기법별 정확도를 분석할 수 있었다 이를 통해 기존 GPS의 한계와 GPS/Galileo 결합의 잠재적인 이점을 도출할 수 있었다. 기하구조 분석에서는 GPS 단독과 비교하여 GPS/Galileo 결합의 경우 가시위성수는 205.50$\%$, 정밀도 저하율에서는 59.96$\%$ 향상됨을 보여준다. 이는 통합 시스템이 측위 정확도를 향상시킴을 의미한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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