MOSFET 구조내 $HfO_2$ 게이트절연막의 Nanoindentation을 통한 Nano-scale의 기계적 특성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- pp.317-318
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- 2012