• 제목/요약/키워드: Gas Leakage

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MOSFET 게이트 산화막내 결함 생성 억제를 위한 효과적인 중수소 이온 주입 (Deuterium Ion Implantation for The Suppression of Defect Generation in Gate Oxide of MOSFET)

  • 이재성;도승우;이용현
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제45권7호
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    • pp.23-31
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    • 2008
  • 중수소 처리된 3 nm 두께의 게이트 산화막을 갖는 MOSFET를 제조하여 정전압 스트레스 동안의 게이트 산화막의 열화를 조사하였다. 중수소 처리는 열처리와 이온 주입법을 사용하여 각각 이루어졌다. 열처리 공정을 통해서는 게이트 산화막내 중수소의 농도를 조절하기가 힘들었다. 게이트 산화막내에 존재하는 과잉 중수소 결합은 열화를 가속시키기 때문에, 열처리 공정을 행한 소자에서 신뢰성이 표준공정에 의한 소자에 비해 저하되고 있음을 확인하였다. 그러나 중수소 이온 주입 방법을 통해서는 소자의 신뢰성이 개선됨을 확인하였다. 스트레스에 의한 게이트 누설 전류 변화 및 구동 특성 변화는 게이트 산화막내의 중수소 농도와 관련이 있으며, 이러한 특성은 적절한 공정 조건을 갖는 이온 주입법을 통해 개선할 수 있었다. 특히, 큰 스트레스 전압의 PMOSFET에서 중수소의 효과가 뚜렷하게 나타났으며, 이는 "hot" 정공과 중수소의 반응과 관련이 있는 것으로 판단된다.

고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO$_{2}$ 이중박막의 식각 (Dry Etching of Pt/RuO$_{2}$ for Pb(Zr,Ti)O$_{3}$ by High Density Plasma)

  • 이종근;박세근
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권3호
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    • pp.1-5
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    • 2000
  • 나선형태의 평면 안테나를 갖는 유도결합형 플라즈마를 이용하여 PZT용 Pt/RuO/sub 2/ 전극을 건식식각하였다. 누설전류 억제특성이 우수한 Pt와 건식식각이 용이한 RuO/sub 2/ 박막의 장점을 동시에 이용하기 위하여 PZT의 하부전극으로 Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 시도하였다. 우선 Pt와 RuO/sub 2/ 박막 각각에 대하여 플라즈마의 여러 조건에 따라 식각율과 선택비를 조사하였다. 조사된 공정기체는 O/sub 2/ 와 Cl/sub 2/ 의 혼합기체이며, 패터닝을 위해 사용한 마스크재료는 SiO/sub 2/ 산화막이었다. Cl/sub 2/ 의 함량이 증가함에 따라 Pt의 식각율은 점점 증가하지만, RuO/sub 2/의 경우에는 Cl/sub 2/의 함량이 처음 10% 정도가지 증가할 때에는 RuO/sub 2/의 식각율이 급격히 증가하지만 더 이상의 Cl/sub 2/ 함량에서는 식각율이 점차 감소하였다. Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 동시에 식각하기 위한 최적의 기체혼합비를 구하였으며, 0.5 마이크론급의 미세패터닝을 시도하였다.

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원격장 와전류 배관 탐상 시스템 개발 (Development of Remote Field Eddy Current Pipeline Inspection System)

  • 정진오;이재경;김형진
    • 비파괴검사학회지
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    • 제21권5호
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    • pp.556-560
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    • 2001
  • 배관의 관벽투과 특성을 지닌 원격장 와전류 비파괴 검사법은 열교환기 세관 검사에서부터 천연가스 수송관에 이르기까지 다양한 형태의 배관과 결함을 대상으로 적용 연구가 진행되고 있다. 공칭 외경 100mm의 주철관은 주로 상수도 관로의 배수관으로 활용되고 있는데, 차량 진동과 부식에 의한 결함의 생성으로 정수의 누수 문제를 일으킨다. 그러나, 탐상 경제성 및 효용성 문제로 관내 검사장치 투입과 같은 직접적인 검사 방법의 수행이 제한되어 왔다. 원격장 와전류 방법은 시스템 구성이 용이하고 내 외부 부식 결함에 대한 정량적인 평가가 가능하기 때문에 경제성 있는 장치 개발이 가능하다. 본 연구에서는 원격장 와전류 기술을 이용하여 상수도 관망의 특성을 고려한 매설 배관 검사시스템 개발을 수행하였다. 세부적으로는 관내 투입 원격장 와전류 검사의 기구부 설계 및 제작, 원격장 와전류 신호의 획득 및 처리 프로그램 개발, 그리고 개발 장치의 운용 방법 및 절차 검토 등으로 되어 있다.

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수소생산시설에서의 요오드-황 공정에 대한 안전성 평가연구 (Safety Assessments for the IS(Iodine Sulfur) Process in a Hydrogen Production Facility)

  • 이현우;제무성;조남철;양준언;이원재
    • 한국안전학회지
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    • 제24권3호
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    • pp.54-58
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    • 2009
  • 화석연료의 고갈과 환경문제로 인해 대체에너지 개발의 필요성이 대두되고 있다. 이에 거론되고 있는 대체에너지 중에서 물로부터 수소를 생산하는 기술은 탄소발생이 없는 매우 장래가 유망한 기술이다. IS 열화학적 물분해 공정은 거론되는 방법 중 매우 유망한 기술로 에너지원으로 900$^{\circ}C$ 이상의 열을 공급할 수 있는 고온가스냉각로(HTGR)를 시용하여 매우 능률적으로 수소를 생산할 수 있는 방법이다. 본 연구에서는 IS공정 의 초기사건을 도출하기 위해 주논리도(MLD)방법이 사용되어 화학물질의 유출을 야기할 수 있는 초기사건 9가지가 도출되었다. 또한 도출된 9가지 초기사건 중 6가지를 선정, 사건수목을 이용하여 정량화하였다.

메탄/공기 화염에서 연소실 압력변동이 연소특성과 국소 반응강도에 미치는 영향 (Influence of Changing Combustor Pressure on Combustion Characteristics and Local Reaction Intensity in the CH4/Air Flames)

  • 김종률;최경민;김덕줄
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제33권5호
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    • pp.365-372
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    • 2009
  • The influence of combustor pressure on the local reaction characteristics of $CH_4$/air flames was investigated by measurements of local chemiluminescence intensity. Induced flow flames are often applied to the industrial boiler systems and incinerator in order to improve heat transfer and prevent exhaust gas leakage. In order to investigate combustion characteristics in the induced flow pattern, the combustor pressure index($P^*$) was controlled in the range of $0.7{\sim}1.3$ for each equivalence ratio in the present combustion system, where $P^*$ is defined as the ratio of absolute pressure to atmospheric one. Relationship between local reaction intensity and pressure index have been investigated by simultaneous $CH^*$, $C^*_2$ and $OH^*$ intensity measurements. It could be observed that flame length became longer with decreasing $P^*$ from $CH^*$ chemiluminescence intensity of axial direction. The mean value of $C^*_2$ and $CH^*$ chemiluminescence intensities, which indicates reaction intensity in the $CH_4$/air flames, decreased with decreasing pressure index for ${\Phi}{\leq}1$, but increased with decreasing pressure index for ${\Phi}$>1. $C^*_2/CH^*$ intensity ratio, which can be a good marker to demonstrate local equivalence ratio, was almost same for ${\Phi}{\leq}1$ regardless of pressure index change, while they showed high level for lower pressure index for ${\Phi}$>1 conditions.

Ultrahigh Vacuum Technologies Developed for a Large Aluminum Accelerator Vacuum System

  • Hsiung, G.Y.;Chang, C.C.;Yang, Y.C.;Chang, C.H.;Hsueh, H.P.;Hsu, S.N.;Chen, J.R.
    • Applied Science and Convergence Technology
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    • 제23권6호
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    • pp.309-316
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    • 2014
  • A large particle accelerator requires an ultrahigh vacuum (UHV) system of average pressure under $1{\times}10^{-7}$ Pa for mitigating the impact of beam scattering from the residual gas molecules. The surface inside the beam ducts should be controlled with an extremely low thermal outgassing rate under $1{\times}10^{-9}Pa{\cdot}m^3/(s{\cdot}m^2)$ for the sake of the insufficient pumping speed. To fulfil the requirements, the aluminum alloys were adopted as the materials of the beam ducts for large accelerator that thanks to the good features of higher thermal conductivity, non-radioactivity, non-magnetism, precise machining capability, et al. To put the aluminum into the large accelerator vacuum systems, several key technologies have been developed will be introduced. The concepts contain the precise computer numerical control (CNC) machining process for the large aluminum ducts and parts in pure alcohol and in an oil-free environment, surface cleaning with ozonized water, stringent welding process control manually or automatically to form a large sector of aluminum ducts, ex-situ baking process to reach UHV and sealed for transportation and installation, UHV pumping with the sputtering ion pumps and the non-evaporable getters (NEG), et al. The developed UHV technologies have been applied to the 3 GeV Taiwan Photon Source (TPS) and revealed good results as the expectation. The problems of leakage encountered during the assembling were most associated with the vacuum baking which result in the consequent trouble shootings and more times of baking. Then the installation of the well-sealed UHV systems is recommended.

SOD 구조 형성에 따른 다이아몬드 박막 형성 (Formation of the Diamond Thin Film as the SOD Sturcture)

  • 고정대;이유성;강민성;이광만;이개명;김덕수;최치규
    • 한국재료학회지
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    • 제8권11호
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    • pp.1067-1073
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    • 1998
  • CO와 $H_2$의 탄소원을 사용한 마이크로파 플라즈마 화학기상증착 방법으로 SOD 구조에 적용될 양질의 다이아몬드 박막을 형성하였고, SOD 구조를 형성하기 위해 diamond/Si(100) 구조 위에 poly-Si 박막을 저압화학기상 증착법으로 제작하였다. CO/$H_2$탄소원의 유량비 증가에 따라 다이아몬드의 결정은 octahedron 구조에서 cubo-octahedron 구조로 바뀌었으며, 결정면은 {111}과 {100}으로 혼합되어 형성되었다. 비정질 carbon과 non-diamond성분이 없는 양질의 다이아몬드 박막은 CO/$H_2$의 유량비가 0.18일 때 형성되었으며, 주 결정상은 (111) 면이었다. diamond/Si(100) 계면은 void가 없는 평활한 계면을 이루었으며, 다이아몬드 박막의 유전상수, 누설전류와 비저항은 각각 $5.31\times10^{-9}A/cm^2$ 그리고 $9\times{10^7}{\Omega}cm$이었다.

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LPG엔진에서 수소연료 보조분사에 의한 희박연소특성 연구 (Lean Combustion Characteristics with Hydrogen Addition in a LPG Fuelled Spark Ignition Engine)

  • 오승묵;김창업;강건용
    • 한국자동차공학회논문집
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    • 제14권2호
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    • pp.114-120
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    • 2006
  • The basic effects of hydrogen addition for engine performance and emission were investigated in single cylinder research engine. Seven commercial injectors were tested to choose a suitable injector for hydrogen injection prior to its engine implementation. The hydrogen fuel leakage and flow rate were evaluated for each injector and KN3-1(Keihin, CO.) showed the best performance for hydrogen fuel. At the higher excess air ratio(${\lambda}=1.7$, 2.0), the better combustion stability was found with hydrogen addition even though its effect was small at lower excess air ratio (${\lambda}=1.0$, 1.3). Stable operation of the engine was even guaranteed at ${\lambda}=2.0$, if the amount of hydrogen gas was near 15% of total energy. In the lean region, ${\lambda}>1.3$, thermal efficiency was improved slightly while it was not clearly observed at ${\lambda}=1.0$, 1.3. It is considered that, in some cases, high temperature environment due to hydrogen combustion caused further heat loss to surroundings. Except for ${\lambda}=1.0$, with larger amount of hydrogen addition, CO was reduced drastically but it was emitted more at the leaner region. Nitric oxides(NOx) was increased a little more with hydrogen addition at ${\lambda}=1.0$, 1.3. However, at ${\lambda}>1.3$ its relative amount of emission was low. In addition, the amount of NOx was continuously decreased with hydrogen addition, but, at ${\lambda}=2.0$ the amount of NOx was lowered to 1/100 of that of ${\lambda}=1.0$. THC emission was significantly increased as air/fuel ratio was raised to leaner region due to misfire and partial burn.

탄소 저장량 감시에서 배수구역과 행정구역의 비교 평가 - 금강산에 대한 UN-REDD 대응 차원에서 - (Comparative Evaluation between Administrative and Watershed Boundary in Carbon Sequestration Monitoring - Towards UN-REDD for Mt. Geum-gang of North Korea -)

  • 김준우;엄정섭
    • 환경영향평가
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    • 제22권5호
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    • pp.439-454
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    • 2013
  • UN-REDD (United Nations programme on Reducing Emissions from Deforestation and forest Degradation) is currently being emerged as one of important mechanism to reduce carbon dioxide in relation to the deforestation. Although administrative boundary has already gained world-wide recognition as a typical method of monitoring unit in the process of GHG (Greenhouse Gas) reduction project, this approach did not provide a realistic evidence in the carbon sequestering monitoring in terms of UN-REDD; the meaningful comparison of land use patterns among watershed boundaries, interpretation for distribution trends of carbon density, calculation of opportunity cost, leakage management, etc. This research proposes a comparative evaluation framework in a more objective and quantitative way for carbon sequestering monitoring between administrative and watershed boundary approaches. Mt. Geumgang of North Korea was selected as a survey objective and an exhaustive and realistic comparison of carbon sequestration between the two approaches was conducted, based on change detection using TM satellite images. It was possible for drainage boundary approach to identify more detailed area-wide patterns of carbon distribution than traditional administrative one, such as estimations of state and trends, including historical trends, of land use / land cover and carbon density in the Mt. Geumgang. The distinctive changing trends in terms of carbon sequestration were specifically identified over the watershed boundary from 4.0% to 34.8% while less than 1% difference was observed in the administrative boundaries, which were resulting in almost 21-22%. It is anticipated that this research output could be used as a valuable reference to support more scientific and objective decision-making in introducing watershed boundary as carbon sequestering monitoring unit.

간엽유착과 담낭염을 동반한 선천성 복막심낭 횡격막 허니아의 효과적 수술처치 (Surgical Correction of Congenital Peritoneopericardial Diaphragmatic Hernia with Adhered Hepatic Lobes and Cholecystitis)

  • 남현숙;곽호현;이세호;박경미;박인철;한정희;우흥명
    • 한국임상수의학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.87-92
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    • 2012
  • A six months old, male Shih Tzu dog was referred to the Veterinary Medical Teaching Hospital at Kangwon National University, for lethargy, respiratory embarrassment. Survey radiography revealed enlarged cardiac silhouette due to displacement of gas-filled intestine in the pericardium. Although there were no specific clinical signs, this case was diagnosed as peritoneopericardial diaphragmatic hernia (PPDH) based on the results of positive contrast radiography and thoracic ultrasonograpic findings. In addition, the thickened gall bladder wall observed in ultrasonography, increase of alkaline phosphatase and neutrophils indicated cholecystitis. Two hepatic lobes and gall bladder were severely necrotized and adhere to the diaphragm. Direct reduction of the herniated organs might cause hepatic hemorrhage and bile juice leakage which may induce very poor prognosis. To solve the problems, the adhered organs were dissected with part of diaphragm, and lobectomy with cholecystectomy was performed for prevention of some possible complications including peritonitis. This is case report describing resection of part of diaphragm adhered to herniated organ reduce the risk of possible hepatic hemorrhage during surgical correction of PPDH followed bycholecystectomy and lobectomy.