• Title/Summary/Keyword: GaAs 웨이퍼

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Evidence of Material-dependent and Temperature- dependent Quenching Rates by Infrared Imaging in S.I. GaAs (반절연 갈륨비소의 적외선 영상에 의한 웨이퍼성장조건 및 온도종속 퀀칭율 증명)

  • 강성준
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.40 no.7
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    • pp.469-473
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    • 2003
  • The effect of photoquenching on infrared image of the EL2 center in semi-insulating(S.I.) GaAs has been studied using near infrared transmission techniques. Particular interest is devoted to as-grown and annealed samples of undoped S.I. GaAs. It is found that the quenching mechanism is different in each sample and also the quenching rate is dependent on the materials and the quenching temperature which is somewhat inconsistent with other existing publications.

InAs 및 GaAs 웨이퍼를 이용한 Type-II InSb 나노 구조 형성

  • Lee, Eun-Hye;Song, Jin-Dong;Kim, Su-Yeon;Bae, Min-Hwan;Han, Il-Gi;Jang, Su-Gyeong;Lee, Jeong-Il
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.305-305
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    • 2011
  • Type-II 반도체 나노 구조는 그것의 band alignment 특성으로 인해 광학 소자에 다양한 응용성을 가진다. 특히, 대표적인 Type-II 반도체 나노 구조인 InSb/InAs 양자점의 경우, 약 3~5 ${\mu}m$의 mid-infrared 영역의 spectral range를 가지므로, 장파장을 요하는 소자에 유용하게 적용될 수 있다. 또한, Type-II 반도체 나노 구조의 밴드 구조를 staggered gap 혹은 broken gap 구조로 조절함으로써 infrared 영역 광소자의 전자 구조를 유용하게 바꾸어 적용할 수 있다. 최근, GaSb wafer 위에 InSb/InAsSb 양자점을 이용하여 cutoff wavelength를 6 ${\mu}m$까지 연장한 IR photodetector의 연구도 보고되고 있다. 하지만, GaSb wafer의 경우 그것의 비용 문제로 인해 산업적 적용이 쉽지 않다는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 GaAs wafer와 같은 비용 효율이 높은 wafer를 사용한 연구가 필요할 것이다. 본 연구에서는 Molecular Beam Epitaxy(MBE)를 이용하여 undoped InAs wafer 와 semi-insulating GaAs wafer 상에 InSb 양자 구조를 형성한 결과를 보고한다. InSb 양자 구조는 20층 이상의 다층으로 형성되었고, 두 가지 경우 모두 400${\AA}$ spacer를 사용하였다. 단, InAs wafer 위에 형성한 InSb 양자 구조의 경우 InAs spacer를, GaAs wafer 위에 형성한 양자 구조의 경우 InAsSb spacer를 사용하였다. GaAs wafer 위에 양자 구조를 형성한 경우, InSb 물질과의 큰 lattice mismatch 차이 완화 뿐 아니라, type-II 밴드 구조 형성을 위해 1 ${\mu}m$ AlSb 층과 1 ${\mu}m$ InAsSb 층을 GaAs wafer 위에 미리 형성해 주었다. 양자 구조 형성 방법도 두 종류 wafer 상에서 다르게 적용되었다. InAs wafer 상에는 주로 일반적인 S-K 형성 방식이 적용된 것에 반해, GaAs wafer 상에는 migration enhanced 방식에 의해 양자 구조가 형성되었다. 이처럼 각 웨이퍼에 대해 다른 성장 방식이 적용된 이유는 InAsSb matrix와 InSb 물질 간의 lattice mismatch 차이가 6%를 넘지 못하여 InAs matrix에 비해 원하는 양자 구조 형성이 쉽지 않기 때문이다. 두 가지 경우에 대해 AFM과 TEM 측정으로 그 구조적 특성이 관찰되었다. 또한 infrared 영역의 소자 적용 가능성을 보기 위해 광학적 특성 측정이 요구된다.

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MOCVD 반응기의 온도분포가 필름 성장율에 미치는 영향에 대한 연구

  • 김병호;임익태;김광선
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2004.05a
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    • pp.147-153
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    • 2004
  • 본 연구에서는 MOCVD 반응기의 온도분포가 필름 성장률에 미치는 영향에 대해 분석하였다. 온도해석에는 반응기 벽면의 전도열전달과 기체의 대류열전달이 포함되었다. 또 서셉터와 실험에 사용된 그래파이트 평판 사이의 웨이퍼 미세 간극을 해석에 포함하여 반응기 내부의 온도를 예측하였다. 정밀한 온도해석을 통해 얻은 반응기의 온도 분포를 이용하여 GaAs와 InP의 필름성장률을 해석하였으며 그 결과 미세 틈새가 GaAs의 필름 성장률에 영향을 미치는 것을 확인하였다.

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A study on the InGaAsP/InP MQW-LD fabrication by the liquid phase epitaxy (액상결정성장에 의한 InGaAsP/InP MQW-ND 제작에 관한 연구)

  • 조호성;홍창희;오종환;예병덕;이중기
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.3 no.4
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    • pp.252-257
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    • 1992
  • In this study, InGaAsP/InP MQW-DH wafer was grown by a vertical type LPE system and 10$\mu$m stripe MQW-LD was fabricated with the wafer. The threshold current was about 200 mA and when the cavity length of the LD was 470$\mu$m the central wavelenth of gain spectra was 1.32$\mu$m the lasing wavelength was 1.302$\mu$m which corresponded to the gain center of the quantum well thickness of 300 $\AA$.

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GaAs Epitaxial Layer Growth by Molecuar Beam Epitaxy (MBE에 이한 GaAs 에피택셜층 성장)

  • 정학기;이재진
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.22 no.6
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    • pp.34-40
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    • 1985
  • Characteristics of GaAE epilayers grown on (100) CaAs wa(tors by molecular beam epitaxy (MBE) under various single crystal growing conditions were investigated. In fabrica-ting GaAs, epilayer by MBE, the most important factors are a substrate temperature(ts) and a flux density ratio (As/Ga). In this experiment, the substrate temperature was varied in the range of 48$0^{\circ}C$ to $650^{\circ}C$ and As and Ga cell temperatures were varied in the range of 218$^{\circ}C$ to 256$^{\circ}C$ and 876$^{\circ}C$ to 98$0^{\circ}C$, respectively. At the substrate temperature of 54$0^{\circ}C$, As cell temperature of 23$0^{\circ}C$, and Ga cell temperature of 91$0^{\circ}C$, the As/Ga ratio was 5"10, the surface morphology was most smooth . Investigation of As-stabilized surface by RHEED and of depth profile by SIM5 showed that As is less stable than Ga. Also, X-ray diffraction measurement revealed that single crystals of (400) and (200) were formed at the both sub-strate temperatures of 52$0^{\circ}C$ and 54$0^{\circ}C$.TEX>.

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Lasing characteristics of 1.3??m GaInAsP/InP DH Lasers Grown By LPE (LPE에 의한 1.3$\mu$m GaInAsP/InP DH 레이저의 제작 및 발진특성)

  • 신동혁;유태환
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.22 no.4
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    • pp.72-75
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    • 1985
  • 1.3$\mu$m double-heterostructure GaInAsP/InP wafers have been grown by LPE and broad contact laser diodes have been fabricated. Electrical and optical characteristics of these lasers under pulsed lasing operation at room temperature are described. Typical threshold currents are below 2 Amp. corresponding to threshold current densities of 3 - 6 KAmp./$\textrm{cm}^2$ and peak lasing wavelength is shown to be at 1.315 $\mu$m.

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The Release of Albumin from PLGA and PCL Wafers Containing Natural and Synthetic Additives for Protein Delivery (단백질 전달체로서 천연 및 합성재료의 첨가에 따른 PLGA와 PCL웨이퍼로부터 알부민의 방출거동)

  • Hyun Hoon;Lee Jae Ho;Seo Kwang Su;Kim Moon Suk;Rhee Jhon M.;Lee Hai Bang;Khang Gilson
    • Polymer(Korea)
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    • v.29 no.5
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    • pp.468-474
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    • 2005
  • PLGA and PCL copolymers initiated by carbitol as drug carriers were synthesized by ring-opening polymerization of L-lactide (LA), glycolide (GA), and $\varepsilon-caprolactone(\varepsilon-CL)$. Implantable wafers were simply fabricated by direct compression method after physical mixing of copolymers and bovine serum albumin-fluorescein isothiocyanate (BSA-FITC) as a model protein drug. The release amounts of BSA-FITC from wafers were determined by fluorescence intensity using the fluorescence spectrophotometer. Also, the release behavior of BSA-FITC on wafers was controlled by adding the additives such as collagen, small intestinal submucosa (SIS), poly(vinyl pyrrolidone) (PVP), and poly(thylene glycol) (PEG). The wafer prepared by PLGA and PCL exhibited slow release within $10\%$ for 30 days. But, those prepared by a variety of additives exhibited the controlled BSA release patterns with a dependence on the additive contents. furthermore, the wafers containing natural materials such as collagen and SIS showed more zero-order release profile than that with synthetic materials such as PVP and PEG. It was confirmed that the release of BSA from implantable wafers could be easily controlled by adding natural additives.