Effects of bottom electrodes on the orientation of piezoelectric thin films and the frequency response of resonators in FBARs (체적 탄성파 공진기의 하부 전극이 압전 박막의 배향성 및 공진기의 압전 특성에 미치는 영향)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2002.07c
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- pp.1397-1399
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- 2002