Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제1권4호
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pp.16-19
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2000
Power transistors to be used in Power Integrated Circuits(PIC) are required to have low on resistance, fast switching speed, and high breakdown voltage. The lateral IGBTs(LIGBTs)are promising power devices for high voltage PIC applications, because of its superior device characteristics. In this paper, dual cathode LIGBT(DCIGBT) for high voltage is presented. We have verified the effectiveness of high blocking voltage in the new device by using two dimensional devices simulator. We have analyzed the forward blocking characteristics , the latch up performance and turn off characteristics of the proposed structure. Specially, we have focused forward blocking of LIGBT. The forward blocking voltage of conventional LIGBT and the proposed LIGBT are 120V and 165V, respectively. . The forward blocking characteristics of the proposed LIGBT is better than that of the conventional LIGBT. This forward blocking comparison exhibits a 1.5 times improvement in the proposed LIGBT.
In this paper, two types of vertical SIT(Static Induction Transistor) structures are proposed to improve their electrical characteristics including the blocking voltage. Besides, the two dimensional numerical simulations were carried out using ISE-TCAD to verify the validity of the device and examine the electrical characteristics. First, a trench gate region oxide power SIT device is proposed to improve forward blocking characteristics. Second, a trench gate-source region power SIT device is proposed to obtain more higher forward blocking voltage and forward blocking characteristics at the same size. The two proposed devices have superior electrical characteristics when compared to conventional device. In the proposed trench gate oxide power SIT, the forward blocking voltage is considerably improved by using the vertical trench oxide and the forward blocking voltage is 1.5 times better than that of the conventional vertical power SIT. In the proposed trench gate-source oxide power SIT, it has considerable improvement in forward blocking characteristics which shows 1500V forward blocking voltage at -10V of the gate voltage. Consequently, the proposed trench oxide power SIT has the superior stability and electrical characteristics than the conventional power SIT.
In this paper, two types of vertical SIT(Static Induction Transistor) structures are proposed to improve their electrical characteristics including the blocking voltage. Besides, the two dimensional numerical simulations were carried out using ISE-TCAD to verify the validity of the device and examine the electrical characteristics. First, a trench gate region oxide power SIT device is proposed to improve forward blocking characteristics. Second, a trench gate-source region power SIT device is proposed to obtain more higher forward blocking voltage and forward blocking characteristics at the same size. The two proposed devices have superior electrical characteristics when compared to conventional device. In the proposed trench gate oxide power SIT, the forward blocking voltage is considerably improved by using the vertical trench oxide and the forward blocking voltage is 1.5 times better than that of the conventional vertical power SIT. In the proposed trench gate-source oxide power SIT, it has considerable improvement in forward blocking characteristics which shows 1500V forward blocking voltage at -10V of the gate voltage. Consequently, the proposed trench oxide power SIT has the superior stability and electrical characteristics than the conventional power SIT.
Here we present detailed simulation results of trench field stop IGBTs. Besides the reduced on-state voltage drop there is also an Increase of forward blocking voltage. A trench gate IGBT has low on-state voltage drop mainly due to the removal of the JFET region and a field stop IGBT has high forward blocking voltages due to the trapezoidal field distribution under blocking condition. We have simulated the static characteristics of TIGBT with field stop technology by 2D simulator(MEDICI). The simulated result of forward blocking voltage and on-state voltage drop is about 1,408V and 1.3V respectively at $110{\mu}m$ N-drift thickness.
In this paper, we have proposed a novel trench electrode Base Resistance Thyristor(BRT) and trench electrode BRT with a intrinsic region. A new power BRTs have shown superior electrical characteristics including snab-back effict and forward blocking voltage more than the conventional BRT. Especially, the trench electrode BRT with intrinsic region has obtained high blocking voltage of 1600V. The blocking voltage of conventional BRT is about 400V at the same size. Because the breakdown mechanism of BRT is avalanch breakdown by impact ionization, the trench electrode BRT with intrinsic region has suppressed impact ionization, effectively. If we use this principle, we can develope super high voltage power devices and applicate to another power devices including IGBT, EST and etc.
In this paper, we have proposed a novel trench electrode Base Resistance Thyristor(BRT) and trench electrode BRT with a intrinsic region. A new power BRTs have shown superior electrical characteristics including snab-back effect and forward blocking voltage more than the conventional BRT. Especially, the trench electrode BRT with intrinsic region has obtained high blocking voltage of 1600V. The blocking voltage of conventional BRT is about 400V at the same size. Because the breakdown mechanism of BRT is avalanch breakdown by impact ionization, the trench electrode BRT with intrinsic region has suppressed impact ionization, effectively. If we use this principle, we can develope super high voltage power devices and applicate to another power devices including IGBT, EST and etc.
In this paper, a new small sized Lateral Trench Electrode Power MOS was proposed. This new structure, called LTEMOS(Lateral Trench Electrode Power MOS), was based on the conventional lateral power MOS. But the entire electrodes of LTEMOS were placed in trench oxide. The forward blocking voltage of the proposed LTEMOS was improved by 1.5 times with that of the conventional lateral power MOS. The forward blocking voltage of LTEMOS was about 240 V. At the same size, an improvement of the forward blocking voltage of about 1.5 times relative to the conventional MOS was observed by using ISE-TCAD which was used for analyzing device's electrical characteristics. Because all of the electrodes of the proposed device were formed in each trench oxide, the electric field was crowded to trench oxide and punch-through breakdown was occurred, lately.
In this paper, we haute proposed a novel trench electrode Base Resistance Thyristor(BRT) and trench electrode BRT with a intrinsic region. New power BRTs have shown superior electrical characteristics including the snab-back effect and the forward blocking voltage more than the conventional BRT. Especially, the trench electrode BRT with the intrinsic region has obtained high blocking voltage of 1600V. The blocking voltage of conventional BRT is about 400V at the same size. Because the breakdown mechanism of the BRT is the avalanch breakdown by impact ionization, the trench electrode BRT with intrinsic region has suppressed impact ionization, effectively. If we use this principle, we can develop a super high voltage power device and it applies to another power device including IGBT, EST and etc.
In this paper, a new small size Lateral Trench Electrode Power MOSFET is proposed. This new structure, called "LTEMOSFET"(Lateral Trench Electrode Power MOSFET), is based on the conventional MOSFET. The entire electrode of LTEMOSFET is placed in trench oxide. The forward blocking voltage of the proposed LTEMOSFET is improved by 1.6 times with that of the conventional MOSFET. The forward blocking voltage of LTEMOSFET is 250V. At the same size, a increase of the forward blocking voltage of about 1.6 times relative to the conventional MOSFET is observed by using TMA-MEDICI which is used for analyzing device characteristics. Because the electrodes of the proposed device are formed in trench oxide, the electric field in the device are crowded to trench oxide. We observed that the characteristics of the proposed device was improved by using TMA-MEDICI and that the fabrication of the proposed device is possible by using TMA-TSUPREM4.
In this paper, a new small size Lateral Trench Electrode Power MOSFET is proposed. This new structure, called "LTEMOSFET"(Lateral Trench Electrode Power MOSFET), is based on the conventional MOSFET. The entire electrode of LTEMOSFET is placed in trench oxide. The forward blocking voltage of the proposed LTEMOSFET is improved by 1.6 times with that of the conventional MOSFET. The forward blocking voltage of LTEMOSFET is 250V. At the same size, a increase of the forward blocking voltage of about 1.6 times relative to the conventional MOSFET is observed by using TMA-MEDICI which is used for analyzing device characteristics. Because the electrodes of the proposed device are formed in trench oxide, the electric field in the device are crowded to trench oxide. We observed that the characteristics of the proposed device was improved by using TMA-MEDICI and that the fabrication of the proposed device is possible by using TMA-TSUPREM4.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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