• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제7권1호
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• pp.41-45
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• 2008

We studied the electrical characteristics of low-k SiOCR interlayer dielectric(ILD) films fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The precursor bis-trimethylsilylmethane (BTMSM) was introduced into the reaction chamber with the various flow rates. The absorption intensities of Si-O-$CH_x$, bonding group and Si-$CH_x$, bonding group changed synchronously for the variation of precursor flow rate, but the intensity of Si-O-Si(C) responded asynchronously with the $CH_x$, combined bonds. The SiOCH films revealed ultra low dielectric constant around 2.1(1) and reduced further below 2.0 by heat treatments.

• 전자공학회논문지SC
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• 제41권6호
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• pp.1-10
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• 2004

본 논문에서는 가상 구멍뚫기 작업의 표현을 위한 햅틱 렌더링 시스템을 제안하였다. 가상 모델을 만들기 위하여 영상 처리기법과 Delaunay 삼각형을 이용하였고, 실시간 어플리케이션에 적용하기 위해 간단하면서도 효율적인 후크의 법칙을 이용하여 힘을 생성하였다. 또한, 직렬형 메커니즘으로 표현하기 어려운 큰 힘을 표현하면서, 병렬형 메커니즘의 특이점 문제를 함께 해결하기 위하여 여유구동 6자유도 병렬형 메커니즘을 햅틱장치로 제안하였고 두 종류의 구멍뚫기 실험을 통하여 큰 힘을 표현할 수 있는 능력을 검증하였다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제10권2호
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• pp.83-89
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• 2011

In this study, we investigated the effects of shutter control by Reactive Magnetron Sputtering using Inductively-Coupled Plasma(ICP) for obtaining ZnO thin films with high purity. The surface morphologies and structure of deposited ZnO thin films were characterized using Scanning Electron Microscopy (SEM), Atomic Force Microscopy (AFM) and X-ray Diffractometer (XRD). Also, optical and chemical properties of ZnO thin films were analyzed by Spectroscopic Ellipsometer (SE) and X-ray Photoelectron spectroscopy (XPS). As a result, it observed that ZnO thin films grown at reactive sputtering using shutter control and ICP were higher density, lower surface roughness, better crystallinity than other conventional sputtering deposition methods. For obtaining better quality deposition ZnO thin films, we will investigate the effects of substrate temperature and RF power on shutter control by a reactive magnetron sputtering using inductively-coupled plasma.

• Journal of Information Display
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• 제4권1호
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• pp.34-37
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• 2003

We investigate the solid phase crystallization of amorphous Si films on glass substrates under alternating magnetic field induction. The kinetics of crystallization are found to be greatly enhanced by alternating magnetic field. While complete crystallization takes heat treatment of more than 14 hours at 570$^{\circ}C$, it can be reduced by applying the megnetic field to 20 minutes. It is assumed that the enhancement of crystallization is associated with an electromotive force voltage generated by alternating magnetic field. This electric field applied in the amorphous Si may possibly be the reason for acceleration of the atomic mobility of crystallization through the modification of atomic potentials

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제22권10호
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• pp.844-849
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• 2009

The moving behavior of particle with voltage biasing is studied by analyzing the displacement current generated in electrodes and the drift current by moving particles in cell gap. These currents are ascertained by optical reflectivity on the panel. We obtained the saturated current after a peak in threshold voltage which is coincide with reflectivity of 80%. These saturated optical reflectivity and its drift current offer optimum q/m of particles and driving voltage and can be analytically studied on grey scale methods. Especially regional analysis is useful to aging and driving voltage and the understanding of operating mechanism of charged particle type display.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제22권2호
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• pp.64-71
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• 2023

If an impedance mismatch occurs between the source and load in a Radio Frequency transmission system, reflected power is generated. This results in incomplete power transmission and the generation of Reflected Power, which returns to the Radio Frequency generator. To minimize this Reflected Power, Impedance matching is performed. Fast and efficient Impedance matching, along with converging reflected power towards zero, is advantageous for achieving desired plasma characteristics in semiconductor processes. This paper explores Impedance matching by adjusting the Vacuum Variable Capacitor of an L-type Matching Module based on the trends observed in the voltage of the Phase Sensor and Electromotive Force voltage. After assessing the impedance matching characteristics, the findings are described.

• 한국HCI학회논문지
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• 제7권2호
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• pp.25-34
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• 2012

수의대 학생들은 동물을 대상으로 의료 행위를 실습하고 훈련을 하는 과정을 통하여 동물에 대한 치료 방법을 배우고 경험한다. 하지만, 동물 보호법으로 인해 훈련에 필요한 동물 실험에 대한 규제가 확대되고, 실험에 사용되는 동물에 대한 실험 횟수를 제한하면서, 수의대 학생들의 동물 대상 교육 및 훈련의 기회가 줄어들게 되었다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위한 증강현실 기반의 동물 훈련 시뮬레이터를 제안한다. 동무 의료 훈련 과정 중에서 가장 사용 빈도가 높으면서도 초보자들이 어려움을 겪는 정맥 주사 훈련을 시뮬레이션 대상으로 선정하였다. 본 논문에서 제안한 시뮬레이터는 동물에 대한 의료 훈련의 사실감을 높여주기 위해서 실제 개다리의 모습을 사용한 훈련 도구를 개발하였다. 또한, 실제 정맥주사 훈련 과정에서 사용되는 주사기를 개조하여 사용자의 실험 행위 인식 및 이에 따른 Force Feedback을 제공하는 장치를 개발하였다. 마지막으로 실험에 참여하는 사용자들의 행위를 인식하고 이에 알맞은 시각적 피드백을 주기위해 Work Bench 기반의 증강 현실 시스템을 개발하였다. 제안한 증강현실 기반의 동물 훈련 시뮬레이터에 대한 성능 평가를 실시한 결과 제안한 시뮬레이터는 시뮬레이터를 사용하지 않는 전통적인 비디오 기반의 교육 방법이나 HMD (Head Mounted Display) 디스플레이를 착용한 증강현실 시스템보다 교육 효과가 뛰어나다는 결론을 얻을 수 있었다.

• 한국항해항만학회:학술대회논문집
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• 한국항해항만학회 2006년도 추계학술대회 논문집(제1권)
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• pp.357-362
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• 2006

쐐기형 레일클램프는 초기에는 작은 압착력으로 레일을 압착하다가 바람이 불면 쐐기작용에 의해 큰 압착력으로 레일을 압착하는 구조를 가지고 있다. 이 때 쐐기작용을 위해 레일클램프는 레일을 따라 이동하게 되는데, 만약 지지대를 설치하지 않으면 밀림거리가 증가하여 구조물을 파괴에 이르게 하는 과부하가 발생하게 되므로 이를 방지하기 위한 지지대를 적절히 설치하여야 한다. 이러한 지지대의 적정위치는 초기압착력과 쐐기각에 따라서 결정되므로, 본 연구에서는 이러한 초기압착력과 지지대의 적정위치사이의 관계에 대하여 살펴보기 위하여 5가지 쐐기각을 설계변수로 하여 유한요소해석을 수행하였다.

• 한국항해항만학회지
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• 제31권1호
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• pp.65-70
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• 2007

쐐기형 레일클램프는 초기에는 작은 압착력으로 레일을 압착하다가 바람이 불면 쐐기작용에 의해 큰 압착력으로 레일을 압착하는 구조를 가지고 있다. 이 때쐐기작용을 위해 레일클램프는 레일을 따라 이동하게 되는데, 만약 지지대를 설치하지 않으면 밀림거리가 증가하여 구조물을 파괴에 이르게 하는 과부하가 발생하게 되므로 이를 방지하기 위한 지지대를 적절히 설치하여야 한다. 이러한 지지대의 적정위치는 초기압착력과 쐐기각에 따라서 결정되므로, 본 연구에서는 이러한 초기압착력과 지지대의 위치사이의 관계에 대하여 살펴보기 위하여 5가지 쐐기각을 설계변수로 하여 유한요소해석을 수행하였다.

• 한국항해항만학회:학술대회논문집
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• 한국항해항만학회 2006년도 춘계학술대회 및 창립 30주년 심포지엄(논문집)
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• pp.355-360
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• 2006

컨테이너 크레인용 쐐기형 레일클램프에서 조 패드의 초기 압착력은 라커의 물림각 설정 후 라커를 체결 시 주요 부품의 변형량에 의해서 결정된다. 이때 여러 인자들로 인해 쐐기 프레임의 저항력이 발생하게 되면, 인장봉의 변형을 감소시켜 초기 압착력 설정을 위한 라커의 물림각이 변하게 된다. 이러한 쐐기 프레임의 저항력은 롤러와 쐐기사이의 편심거리와 쐐기 프레임과 외곽 프레임 사이의 틈새에 따라 결정된다. 본 연구에서는 초기압착단계에서 인장봉에 전달되는 인장력을 실험을 통하여 측정함으로써 쐐기 프레임의 저항력이 라커의 쐐기형 레일클램프의 압착력에 미치는 영향을 평가하고자 한다.