• 제목/요약/키워드: Fluorinated surface

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Surface Analysis of Aluminum Bonding Pads in Flash Memory Multichip Packaging

  • Son, Dong Ju;Hong, Sang Jeen
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제15권4호
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    • pp.221-225
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    • 2014
  • Although gold wire bonding techniques have already matured in semiconductor manufacturing, weakly bonded wires in semiconductor chip assembly can jeopardize the reliability of the final product. In this paper, weakly bonded or failed aluminum bonding pads are analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Auger electron Spectroscopy (AES), and energy dispersive X-ray analysis (EDX) to investigate potential contaminants on the bond pad. We found the source of contaminants is related to the dry etching process in the previous manufacturing step, and fluorocarbon plasma etching of a passivation layer showed meaningful evidence of the formation of fluorinated by-products of $AlF_x$ on the bond pads. Surface analysis of the contaminated aluminum layer revealed the presence of fluorinated compounds $AlOF_x$, $Al(OF)_x$, $Al(OH)_x$, and $CF_x$.

Analysis of the Wettability of Partially Fluorinated Polymers Reveals the Surprisingly Strong Acid-Base Character of Poly(vinylidene Fluoride)

  • Lee, Sang-Wha;Park, Joon-Seo;Lee, T. Randall
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제32권1호
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    • pp.41-48
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    • 2011
  • The wettabilities of the partially fluorinated polymers (ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), ethylenechlorotrifluoroethylene copolymer (ECTFE), and poly(vinylidene fluoride) (PVDF)) were investigated by contact angle measurements. Zisman plots for ETFE and ECTFE exhibited linear relationships, while the Zisman plot for PVDF showed a slight curvature, which was interpreted to indicate strong non-dispersive interactions between the surface and the contacting liquids. The Lifshitz-van der Waals forces of the fluoropolymers were estimated to increase in the order of ETFE < PVDF $\ll$ ECTFE. An evaluation of the polar or "acid-base" interaction energies showed that PVDF, which possesses the most acidic hydrogens among the examined fluoropolymers, has the strongest acid-base interactions.

알콕시 실란기능화 양친성 고분자 전구체를 이용한 유-무기 하이브리드 졸 제조 및 이를 이용한 발수 코팅 (Preparation of O-I hybrid sols using alkoxysilane-functionalized amphiphilic polymer precursor and their application for hydrophobic coating)

  • 이대곤;김나혜;김효원;김주영
    • 접착 및 계면
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    • 제20권4호
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    • pp.146-154
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    • 2019
  • 본 연구에서는 소수성 PPO 사슬과 친수성 PEO 사슬들이 동시에 존재하고, 반응성 알콕시 실란기를 가지고 있는 알콕시 실란 기능화 양친성 고분자 전구체 (Alkoxysilane-functionalized Amphiphilic Polymer, AFAP)를 합성하여, 이를 TEOS과의 Hydrolysis- Polycondensation 반응에서 분산안정제 및 반응속도 조절제로 이용하여서 유-무기 하이브리드 나노입자가 안정적으로 분산된 졸 (Sol)을 제조하였다. 제조된 Sol에 불소 함유 실란화합물을 혼합·반응하여서 불소함유 유-무기 하이브리드 Sol을 제조하였고, 이를 유리 기재에 코팅하고 저온 경화를 통해 기재위에 경화필름을 형성하였다. 형성된 경화 필름은 AFAP 및 불소 함유 실란화합물의 첨가량, 용매 종류에 따라서 표면 경도 및 발수 특성이 변화하였다. 최적의 용매 및 불소 함유 실란화합물 첨가량에서 태양전지나 디스플레이에 적용가능한 투명하면서도 견고한 유-무기 하이브리드 형태의 코팅필름 형성이 가능하였다.

고분자전해질 연료전지용 Poly(arylene ether sulfone) 막의 특성 (Characteristics of Poly(arylene ether sulfone) Membrane for Proton Exchange Membrane Fuel Cells)

  • 정재진;신용철;이무석;이동훈;나일채;이호;박권필
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제51권5호
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    • pp.556-560
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    • 2013
  • 최근에 저가의 고분자전해질 연료전지(Proton Exchange Membrane Fuel Cells, PEMFC)용 비불소계 전해질 막 연구개발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 PEMFC 운전 조건에서 Poly(arylene ether sulfone)(PAES) 막과 불소계막의 특성을 비교하였다. I-V 분극곡선, 수소투과도, 전기화학적 표면적, 막저항 및 부하 전달 저항 등을 측정 분석했다. PAES 막은 상대습도 100%에서는 불소계 막과 비슷한 성능을 보였으나 낮은 상대습도에서 이온전도도가 낮아 성능감소가 컸다.

직접 불소화에 의해 표면 개질된 SPEEK/APSf, SPEEK/APEI 바이폴라막을 이용한 차아염소산나트륨 생성 (Hypochlorite Production by Using SPEEK/APSf and SPEEK/APEI Bipolar Membranes Modified by the Direct Fluorination)

  • 김가영;정성일;임지원
    • 멤브레인
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    • 제25권5호
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    • pp.447-455
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    • 2015
  • 본 연구에서는 Polysulfone (PSf), Polyetherimide (PEI)를 각각 비율을 달리하여 아민화하였고, Polyether ether ketone (PEEK)을 설폰화하였다. 합성한 두 이온교환고분자를 더블캐스팅방법으로 SPEEK (sulfonated PEEK)/APSf (aminated PSf) 및 SPEEK/APEI (aminated PEI) 바이폴라막을 제조하였다. 각각의 막 표면을 불소화하고, 아민화 비율에 따라 차아염소산나트륨발생량을 비교하였다. 아민화 비율이 증가할수록 차아염소산나트륨 발생 농도 또한 증가하였다. SPEEK/APSf 3 : 1 막의 경우 불소화 전의 차아염소산나트륨 농도와 총 운전시간은 61.0 ppm, 220 min이고, 불소화한 막의 경우 58.6 ppm, 570 min이다. 또한 SPEEK/APEI 3 : 1 막에서 역시 불소화 전후의 차아염소산나트륨 농도는 각각 60.1 ppm, 58.3 ppm이고, 총 운전시간은 150 min에서 440 min으로 내구성이 크게 향상되었다. 따라서 표면 불소화가 막의 내구성에 중요한 역할을 한다고 사료된다.

바이폴라막 제조를 위한 폴리에테르이미드의 아민화 합성 및 표면불소화를 통한 차아염소산 생성 (Synthesis of Aminated Poly(ether imide) for the Preparation of Bi-polar Membranes and Their Application to Hypochlorite Production through the Surface Direct Fluorination)

  • 김정식;강수연;임지원;박수길
    • 폴리머
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    • 제39권2호
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    • pp.338-345
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    • 2015
  • 폴리페닐렌옥사이드(PPO)와 폴리에테르이미드(PEI)에 대해 각각 설폰화(SPPO) 및 아민화(APEI) 반응이 이루어졌다. SPPO와 APEI의 특성평가를 위하여 FTIR, 열무게분석(TGA), 팽윤도, 이온교환용량(IEC) 및 이온전도도 등에 대한 측정을 하였다. 표면불소화를 실시한 후 표면불소화된 SPPO와 APEI 막과 불소화하지 않은 막과의 차이점을 알아보기 위하여 위에서 실시한 특성평가를 다시 수행하여 비교하였다. SPPO막의 이온교환용량을 고정시킨 후 APEI의 이온교환용량을 변경하면서 전체적으로 3개 유형의 바이폴라막을 제조하였고, 이를 차염소산 발생을 위하여 여러 전류밀도 하에서 저농도 및 고농도 소금용액에 적용하였다. 표면불소화된 막의 차염소산 생성 농도는 APEI의 이온교환용량에 의존하며 $80mA/m^2$에서 차염소산 농도 491-692 ppm의 결과를 얻었으며, $5mA/m^2$에서 18-28 ppm의 차염소산 농도를 나타내었으며 내구성이 매우 상승된 것을 보여 주었다.

$F_{16}CuPC$를 활성층으로 사용한 유기전계효과트랜지스터의 바이폴라 특성연구 (Bipolar Characteristics of Organic Field-effect Transistor Using F16CuPc with Active Layer)

  • 이호식;박용필;천민우;김태곤;김영표
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.303-304
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    • 2009
  • We fabricated organic field-effect transistors (OFETs) based a fluorinated copper phthalocyanine. ($F_{16}CuPc$) as an active layer. And we observed the surface morphology of the $F_{16}CuPc$ thin film. The $F_{16}CuPc$ thin film thickness was 40nm, and the channel length was $50{\mu}m$, channel width was 3mm. We observed the typical current-voltage (I-V) characteristics and capacitance-voltage (C-V) in $F_{16}CuPc$ FET and we calculated the effective mobility.

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F16CuPc를 이용한 Field Effect Transistor의 전기적 특성 연구 (Electrical Properties of Field Effect Transistor using F16CuPc)

  • 이호식;박용필;천민우
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.389-390
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    • 2008
  • We fabricated organic field-effect transistors (OFETs) based a fluorinated copper phthalocyanine ($F_{16}CuPc$) as an active layer. And we observed the surface morphology of the $F_{16}CuPc$ thin film. The $F_{16}CuPc$ thin film thickness was 40nm, and the channel length was $50{\mu}m$, channel width was 3mm. We observed the typical current-voltage (I-V) characteristics and capacitance-voltage (C-V) in $F_{16}CuPc$ FET and we calculated the effective mobility.

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F16CuPc를 활성층으로 사용한 FET의 특성 연구 (Properties of FET using Activative Materials with F16CuPc)

  • 이호식;박용필
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.43-44
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    • 2009
  • We fabricated organic field-effect transistors (OFETs) based a fluorinated copper phthalocyanine ($F_{16}CuPc$) as an active layer. And we observed the surface morphology of the $F_{16}CuPc$ thin film. The $F_{16}CuPc$ thin film thickness was 40nm, and the channel length was $50{\mu}m$, channel width was 3mm. We observed the typical current-voltage (I-V) characteristics and capacitance-voltage (C-V) in $F_{16}CuPc$ FET and we calculated the effective mobility.

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