• 제목/요약/키워드: Flexible SF

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O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각 (Dry Etching of Flexible Polycarbonate and PMMA in O2/SF6/CH4 Discharges)

  • 주영우;박연현;노호섭;김재권;이제원
    • 한국진공학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.85-91
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    • 2009
  • 현재 플렉시블 폴리머를 이용한 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술이 빠르게 발전하고 있다. 그 중에서 Polycarbonate (PC), Poly Methyl Methacrylate (PMMA)와 같은 플렉시블 폴리머 재료는 광학적 특성이 우수하고 인체 친화적이며 미세 패턴 제조 공정이 용이하다는 등의 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구는 반응성 이온 식각 기술을 이용하여 $O_2$, $SF_6$ 그리고 $CH_4$의 삼성분계 가스의 혼합 비율에 따른 PC와 PMMA의 건식 식각 결과 및 특성 평가에 관한 것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로 마스크를 형성하여 샘플을 만들었다. RF 척 파워를 100 W, 총 가스 유량을 10 sccm으로 고정시켜 플라즈마 식각 실험을 실시하였다. 그 결과에 의하면 전체적으로 PMMA의 식각율이 PC보다는 약 2배 정도 높았다. 그 결과는 PC는 PMMA 보다 상대적으로 높은 녹는점을 가지고 있다는 사실과 관계가 있다고 생각한다. 또한 $O_2/SF_6/CH_4$의 삼성분계 가스와 $SF_6/CH_4$, $O_2/SF_6$, $O_3/CH_4$로 나누었을 때 $O_2/SF_6$의 혼합 가스에서 PMMA와 PC의 식각 속도가 가장 높았다 (PC: 5 sccm $O_2$/5 sccm $SF_6$에서 약 350 nm/min, PMMA: 2.5 sccm $O_2$/7.5 sccm $SF_6$에서 약 570 nm/min). SEM을 활용하여 식각된 표면을 분석한 결과 PC는 PMMA보다 상대적으로 식각 표면이 더 매끈하였다. 또한 표면 거칠기 분석결과 PC의 표면 거칠기는 1.9$\sim$3.88 nm이었지만 PMMA의 표면 거칠기는 17.3$\sim$26.1 nm로 현저하게 높았음을 확인할 수 있었다.

고속 철도 환경을 위한 IEEE 802.15.4/ZigBee 기반 개선된 센서 통신 알고리즘 (Advanced Sensor Communication Algorithm based on IEEE 802.15.4/ZigBee for High Speed Train Environment)

  • 문상미;김보라;사란쉬 말리크;김대진;김철성;황인태
    • 전자공학회논문지
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    • 제50권10호
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    • pp.3-12
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    • 2013
  • 무선 센서 네트워크(WSN: Wireless Sensor Network)는 철도분야에서 효율적인 관리와 유지보수라는 측면에서 적용되어 사용되고 있다. 하지만 저속 철도 환경에서 사용되고 있는 현재의 IEEE 802.15.4/ZigBee 기반 센서 통신 기술을 차세대 고속철도에서 적용하기에는 열악한 무선 채널 환경에 노출되어 있다. 본 논문에서는 고속 철도 환경에 적합한 센서 통신 알고리즘을 제안한다. 에러율 및 전송률 향상을 위해 IEEE 802.15.4/ZigBee 기반 개선 알고리즘인 Equalizer, MIMO(Multiple Input Multiple Output), Flexible SF(Spreading Factor) 및 Modulation을 사용한다. 또한 IEEE 802.15.4/ZigBee 표준의 2.4GHz 대역 물리계층에서 각 알고리즘에 대한 성능을 비교 분석한다. 모의실험 결과, 제안한 알고리즘을 통해 기존 시스템보다 에러율 및 전송률이 향상 된 것을 볼 수 있다.

대기압 플라즈마 표면 처리를 이용한 금속과 폴리이미드 필름의 접촉력 향상에 관한 연구

  • 오종식;박재범;염근영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.264-264
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    • 2011
  • Poly [(N, N'-oxydiphenylene) pyromellitimide], polyimide (PI) film은 기계적 강도가 매우 우수하고 열적, 화학적 안정성이 뛰어난 재료로서 전자제품의 소형화, 경령화, 고성능화를 위한 차세대 flexible electronic device에 적용하기 위하여 많은 연구가 진행되고 있다. 그러나 PI의 특성상, 매우 낮은 표면에너지로 인해 금속과의 접촉력이 좋지 않은 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는, 금속박막과 PI film 과의 접촉력을 증가시키기 위해 remote-type modified dielectric barrier discharge (DBD) module을 이용하여 대기압 플라즈마 표면처리를 하였다. 실험에 사용된 gas composition은 각각 $N_2$/ He/ $SF_6$, $N_2$/ He/ $O_2$, $N_2$/ He/ $SF_6$/ $O_2$, $N_2$/ He/ $SF_6$/ $O_2$ 이다. $N_2$/ He/ $SF_6$/ $O_2$ gas composition을 이용하여 PI 표면을 플라즈마 처리한 경우, C=O 결합이 PI film 위에 생성됨으로써, 접촉각이 매우 낮게 형성됨을 관찰할 수 있었다. 이와는 반대로 $N_2$/ He/ $SF_6$ gas composition 을 사용하였을 경우에는 C-Fx 화학적 결합이 생성되기 때문에 가장 높은 접촉각이 형성됨을 관찰할 수 있었다. 특히, $N_2$ (40 slm)/ He (1 slm)/ $SF_6$ (1.2 slm) gas composition에 $O_2$ gas를 0.2 slm부터 1.0 slm까지 변화시켜가며 PI film 표면을 처리한 결과, $O_2$ gas를 0.9 slm 첨가하였을 때, 가장 낮은 $9.3^{\circ}$의 접촉각을 얻을 수 있었다. 이는 0.9 slm의 $O_2$ gas를 첨가하였을 때, 가장 많은 양의 $O_2$ radical이 생성되기 때문에 많은 양의 C=O 결합이 생성되기 때문이다. 최적화된 $N_2$ (40 slm)/ He (1 slm)/ $SF_6$ (1.2 slm)/ $O_2$ (0.9 slm) gas composition 조건에서 Ag film과 PI film과의 접촉력을 관찰할 결과, 111 gf/mm를 얻을 수 있었다.

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Bio-film Composites Composed of Soy Protein Isolate and Silk Fiber: Effect of Concentration of Silk Fiber on Mechanical and Thermal Properties

  • Prabhakar, M.N.;Song, Jung Il
    • Composites Research
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    • 제27권5호
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    • pp.196-200
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    • 2014
  • A novel, simple and totally recyclable method has been developed for the synthesis of nontoxic, biocompatible and biodegradable bio-composite films from soy protein and silk protein. Bio films are defined as flexible films prepared from biological materials such as protein. These materials have potential application in medical and food as a packaging material. Their use depends on various parameters such as mechanical (strength and modulus), thermal, among others. In this study, prepare and characterization of bio films made from Soy Protein Isolate (SPI) (matrix) and Silk Fiber (SF) (reinforcement) through solution casting method by the addition of plasticizer and crosslinking agent. The obtained SPI and SPI/SF composites were subsequently subjected to evaluate their mechanical and thermal properties by using Universal Testing Machine and Thermal Gravimetric Analyzer respectively. The tensile testing showed significant improvements in strength with increasing amount of SF content and the % elongation at break of the composites of the SPI/SF was lower than that of the matrix. Though the interfacial bonding was moderate, the improvement in tensile strength and modulus was attributed to the higher tensile properties of the silk fiber.

25.8kV $SF_6$가스절연 스위치기어(GIS)를 대체한 친환경 고체절연 스위치기어(SIS) 개발 (Development of the replaced Eco-friendly SIS with GIS for 25.8kV class)

  • 마지훈;정맹뢰;유련;원성연;이석원;김영근
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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    • pp.1219_1220
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    • 2009
  • In recent years, the companies of electric power equipment for MV, HV class trend to develop that the eco-friendly insulated(solid, eco-gas, air etc.) switchgear replace with existent SF6 gas insulated switchgear by environmental problems such as global warming and soon. This paper introduces the Solid Insulated Switchgear(SIS) which is the epoxy of eco-friendly insulation material. The characteristic of SIS to introduce in this paper is as following. 1) Eco-friendly. (SF6 gas free) 2) The structure of flexible system. (Expansion) 3) The optimum design. (The Analysis of electrical & mechanical) 4) An Interface treatment between epoxy and insert. (Molding technology) This paper described about some technology for development of SIS.

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대기압 플라즈마를 이용한 a-Si 식각 기술

  • 노태협;석동찬;유승열
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.142-142
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    • 2013
  • DBD (Dielectric Barrier Discharge) 대기압 플라즈마를 이용한 a-Si 식각기술에 대한 연구결과를 논하고자 한다. 기술개발의 목적은 대면적 TFT-LCD 혹은 Flexible Display 공정에 적용가능한 대기압 플라즈마 식각장치의 개발 및 검증이다. 실험에서 식각 가스로는 SF6, NF3 등을 사용하였으며, 질소를 기본 가스로 사용하였다. 검증용으로 개발된 대기압 플라즈마 식각 장치는 대기압 플라즈마 장치를 연속적으로 통과하는 in-line system 형식으로 개발되었다. 검증에 사용된 대기압 플라즈마 장치는 300 mm의 방전 폭으로 1세대 LCD기판의 처리가 가능하다. 대기압 플라즈마 식각 기술 개발에서 식각율에 영향을 미치는 변수들은 기판의 온도, 식각가스의 농도, 기판의 이송속도, 기판과 플라즈마 발생장치 사이의 간격 그리고 플라즈마의 인가 전력 등으로 크게 구분지어 생각할 수 있다. 개발된 식각 장치는 SF6를 사용하는 경우 최대 환산 식각율은 500 nm/min 정도이다. 식각 기술에서 중요한 식각 Uniformity와 그와 연관된 a-Si/SiNx 식각 선택비는 사용하는 가스의 Recipe 개발에 중점을 두고 연구를 진행하였다. 식각 Uniformity는 약 7% 이내의 균일도를 갖고 a-Si/ SiNx의 선택비는 10이상의 결과를 얻었다. 또한 식각 가스는 식각 profile에 영향을 줄 수 있는데 대기압 환경에서 형성되는 collisional sheath에도 불구하고 비 등방성 식각이 가능하였다.

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Nkjet System 적용을 위한 유연 필름의 대기압 플라즈마 표면 처리 연구

  • Mun, Mu Kyeom;Yeom, Geun Young
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.162-162
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    • 2014
  • 최근 들어 wearable computing에 대한 수요가 증가하면서 flexible device에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만, flexible device를 구현하기 위해서는 기판의 damage를 줄이기 위한 저온공정, device life-time 향상을 위한 passivation, 와이어 본딩 등 다양한 문제들이 해결 되어야 한다. 이러한 문제들 중, polymer 기판과 금속간의 접착력을 향상시키기 위해서 많은 연구자들은 기판의 표면에 adhesive layer를 도포하거나 금속잉크의 solvent를 변화시키는 등의 연구를 진행해왔다. 종래의 연구는 기존 device를 대체 할 수 있을 정도의 생산성과 polymer 기판에 대한 열 적인 손상 이 문제가 되었다. 종래의 문제를 해결하기 위하여 저온공정, in-line system이 가능한 준 준 대기압 플라즈마를 사용하였다. 본 연구에서는 금속잉크를 Ink-jet으로 jetting하여 와이어 본딩 하는 과정에서 전도성 ink의 선폭을 유지시키고 접착력을 향상하기 위하여 준 대기압 플라즈마 공정을 이용하여 이러한 문제점을 해결하고자 하였다. Polymer 기판 표면에 roughness를 만들기 위해 대략 수백 nm 크기를 갖는 graphene flake를 spray coating하여 마스크로 사용하고 준 대기압 플라즈마를 이용하여 표면을 식각 함으로써 roughness를 형성시켰다. 준 대기압 플라즈마를 발생시키기 위해 double discharge system에서 6 slm/1.5 slm (He/O2) gas composition을 하부 전극에 흘려보내고 60 kHz, 5 kV 파워를 인가하였다. 동시에 상부 전극에는 30 kHz, 5 kV 파워를 인가하여 110초 동안 표면 식각 공정을 진행하였다. Graphene flake mask가 coating되어 있는 유연기판을 산소 플라즈마 처리 한 후 물에 3초 동안 세척하여 표면에 남아있는 graphene flake를 제거하고 6 slm/0.3 slm (He/SF6)의 유량으로 주파수와 파워 모두 동일 조건으로 110초 동안 표면 처리를 하였다. Figure 1은 표면 개질 과정과 graphene flake를 mask로 사용하여 얻은 roughness 결과를 SEM을 이용하여 관찰한 결과이다. 이와 같이 실험한 결과 ink와 기판간의 접촉면적을 늘려주고 접촉 각을 조절하여 Wenzel model 을 형성 할 수 있는 표면 roughness를 생성하였고 표면의 화학적 결합을 C-F group으로 치환하여 표면의 물과 접촉각 이 $47^{\circ}$에서 $130^{\circ}$로 증가하는 것을 확인하였다.

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단절 및 거절 도식과 정신건강 간의 관계에서 방어기제의 매개효과 (The Mediating Effect of Defense Mechanism in the Relation between Disconnection and rejection Schema and Mental Health)

  • 김행신;서수균
    • 수산해양교육연구
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    • 제27권3호
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    • pp.656-671
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    • 2015
  • The purpose of the present study is to examine relationships between disconnection and rejection schema, defense mechanism, and mental health in college students using structural equation modeling. The present study suggested a proposed model in which defense mechanism exerted a full mediating effect on the relation between disconnection and rejection schema and mental health. Goodness of fit tests were used to compare the proposed model against competing models. The subjects consisted of 304 college students. They completed the Young Schema Questionnaire(YSQ-SF), the Defense Style Questionnaire(DSQ), and the Mental Health Scale. The results showed that the second model had a better goodness of fit. Based on these findings, it is suggested that psychological interventions for mental health in college students should consider strategies to use more flexible and more adaptive defense mechanism style.

광대역 및 협대역을 동시에 사용하는 부분방전 측정 시스템 모듈 개발 (Development of Partial Discharge Measuring System Module by use of Wide and Narrow Band)

  • 이종오;유경국;신인권;장덕진;안창환
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제29권8호
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    • pp.98-103
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    • 2015
  • Power plant is that very high reliability when industrial and economic impact on the overall electric power system is required, it is essential to improve the reliability, especially the fault prediction diagnosis. Since an accident caused by the partial discharge in the power plant is above state has a faster response characteristic than the other indications in the case of any, the partial discharge generated in the power plant immediately detect the deterioration of insulation due to the accident of the power plant and the non-drawn It should prevent or reduce. Partial Discharge Measuring Systems for UHV SF6 Gas Insulated Switchgear and power transformer on site installed has some probability of abnormal recognition in case of non-flexible deal with on site noise. Many methode to eliminate these kinds of noises, UHF Detection System is chosen as purchase description in Korea, but this system having a bandwidth between 500MHz 1.5GHz wide band. Initial install periods(about 20 years ago), this band had no strong signal source, but in these days this wide band have strong signals, such as LTE. So, module described in this paper is designed as simultaneously use with wide and narrow band for solve this noise problem, and introduce this system.

Comparative Proteomic Analyses of Synovial Fluids and Serums from Rheumatoid Arthritis Patients

  • Noh, Ran;Park, Sung Goo;Ju, Ji Hyeon;Chi, Seung-Wook;Kim, Sunhong;Lee, Chong-Kil;Kim, Jeong-Hoon;Park, Byoung Chul
    • Journal of Microbiology and Biotechnology
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    • 제24권1호
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    • pp.119-126
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    • 2014
  • Rheumatoid arthritis (RA) is a chronic and systemic inflammatory disorder that primarily affects the flexible joints and may also affect a number of tissues and organs. The progression of RA involves an inflammatory response of the capsule around the joint, swelling of synovial cells with excess synovial fluid (SF), and the development of fibrous tissue in the synovium. Since the progressive pathology of the disease often leads to the irreversible destruction of articular cartilage and ankylosis of the joint, early diagnosis of RA is essential. Thus, we undertook a comparative proteomic approach to investigate novel biomarkers for early diagnosis using SFs and serums from RA patients. As a result, we identified 32 differentially expressed spots in SFs and 34 spots in serums. The differential expression of the STEAP4 and ZNF 658 proteins were validated using immunoblotting of the SFs and serums, respectively. These data suggest that differentially expressed proteins in SFs and serums could be used as RA-specific biomarkers for the diagnosis and monitoring of RA. Furthermore, these findings advance our understanding of the molecular etiopathogenesis of RA.