In the study of TAB(Tape Automated Bonding)technologies, Cu-Cr sputtered seed layer has been used to improve the adhesion between Polyimide and Cu film and electrical properties. But the Cu electrodeposit on Cu-Cr film had poor adhesion or powder-like form due to the surface Cr oxides on the Cu-Cr film. By means of activating the Cu-Cr film with the oxalic acid and phosphoric acid, the Cu film with the improved adhesion could be coated on the Cu-Cr sputtered film in CuSO4 solution. The etching rate was compared with increasing the Cr content of the sputtered Cu-Cr film, and anodic polarization curve in FeCl3 solution was investigated. With increasing the Cr content, the etching rate was reduced. The clean etching cross section could be obtained with increasing the concentration of FeCl3 solution. But above the 13 w/o Cr content, Cu-Cr sputtered film could not bed etched cleanly only with FeCl3 solution and additives were needed.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제7권1호
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pp.13-17
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2006
Self-Assembled Monolayers (SAMs) formed by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated for applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecules and bio molecules. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance of Self-Assembled Monolayers in selective etching of thin metal film. In this report, we present the several machining method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using alknanethiolate Self-Assembled Monolayers such as thin metal film etching and heterogeneous SAM structure formation.
Young's modulus of electroplated nickel thin film is systematically investigated using the resonance method of atomic force microscope. Thin layers of nickel to be measured are electroplated onto the surface of an AFM silicon cantilever and Young's modulus of plated nickel film is investigated as a function of process conditions such as the plating temperature and applied current density. It is found that Young's modulus of plated nickel thin film is as high as that of bulk nickel at low plating temperature or low current density, but decreases with increasing plating temperature or current density. The results imply that the plating rate increases as increasing the plating temperature or current density, therefore, slow plating rate produces a dense plating material due to the sufficient time fur nickel ions to form a dense coating.
This work reports the preparation of ceramic hybrid films with illite-polyethylene composites analyzed as a function of concentration of added illite in polyethylene. The enhancement of oxygen and water-vapor transmission rate of illite-polyethylene film was evaluated to determine its influence on the freshness in fruit packaging. Particle size of illite materials was controlled in the range of 1~10 ㎛ and then mixed with LDPE to form the masterbatch. Ceramic hybrid films were prepared through a blown film making process. To determine the dispersity and abundancy of illite materials in the polyethylene matrix, various characterizations of illite-PE hybrid masterbatch and films were performed using SEM, TGA, and FT-IR. The oxygen and water-vapor transmission rate of illite-polyethylene film was found to be two times higher than that of LDPE film.
This study is about the application of visual structure and presentation of film as one of new methods for design of sequential landscape. The primary objective of the study is to present the basis of applicable and reasonable D니. In applying components of film to DSL, if it is compared with sequential landscape, the film is collection of shots while sequential landscape is accumulation of sceneries. Film and sequential landscape give us a whole meaning different from the meaning itself of a shot or scenery in its experience. The study build a tentative technique of DSL which has the following stages : 1) Goal setting and making out a scenario 2) Analysis and investigation 3) Selection process of definite form 4) Drawing up conti., sketch and notes, It is expected that the technique presented in this study could be a basis for further study of DSL.
Self-Assembled Monolayers(SAMs) by alkanethiol adsorption to thin metal film are widely being investigated fer applications as coating layer for anti-stiction or friction reduction and in fabrication of micro structure of molecule and bio molecule. Recently, there have been many researches on micro patterning using the advantages of very thin thickness and etching resistance of Self-Assembled Monolayers in selective etching of thin metal film. In this report, we present the several machining method to form the nanoscale structure by Mask-Less laser patterning using alknanethiolate Self-Assembled Monolayers such as thin metal film etching and heterogeneous SAMs structure formation.
In this paper, we fabricated flexible antenna radiator using the CNT/PVDF (carbon nanotube / polyvinylidene fluoride) composite film. We used polymer film as a matrix material for the flexible devices, and introduced CNTs for adding conductivity into the film resulting in obtaining performances of the antenna radiator. Spray coating method was used to form the CNT/PVDF composite radiator, and pattern formation of the radiator was done by shadow mask during the spray coating process. We investigated the electrical properties of the CNT/PVDF composite films with the CNT concentration, and also estimated the radiator performance. Finally we discuss the feasibility of the CNT/PVDF composite radiator for the flexible antenna.
Nano-scratch tests were performed on PMMA thin films spin-coated on a Si substrate using an atomic force microscopy (AFM) with loads ranging form 10nN to 100nN. At low loads, a ridge pattern was formed on the PMMA thin film surface. No wear particles were observed during the pattern-forming mild wear. At high loads, severe wear by plowing occurred, accompanied by wear particles. The film with the highest hardness showed the highest wear resistance. Friction force generated during the scratching was measured, which was closely related with surface deformation of the film. A simple empirical equation to deduce scratch hardness of the film from a linear fixed-distance scratch test was proposed, and scratching-speed dependency of the scratch hardness was displayed.
The solar energy conversion will take 10 % global energy need by 2033. A thin film type solar cell has been considered as one of the promising candidates for a large area applicable solar cell fabrication at a low cost. The metal-assisted growth of microcrystalline Si (mc-Si) films has been reported for a quality Si film synthesis at a low temperature. It discusses the spontaneous growth of a Si film above a metal-layer for a thin film solar cell. Quite recently, a substantial demand of nanomaterials has been addressed for cost-effective solar cells. The nanostructure provides a large photoactive surface at a fixed volume, which is an advantage in the effective use of solar power. But the promising of nanostructure active solar cell has not been much fulfilled due mainly to the difficulty in architecture of nanostructures. We present here the Si nanowire (SiNW)-embedded Schottky solar cell. Multiple SiNWs were connected to two different metals to form a Schottky or an ohmic contact according to the metal work function values. It discusses the scheme of rectifying contact between metals and SiNWs and the SiNW-embedded Schottky solar cell performances.
KLN thin films were fabricated on Pt coated Si(100) wafer using an rf-magnetron sputtering method. The grown KLN thin film consists of 4-fold grains. In this experiment, the structure of 4-fold grained thin film was investigated using XRD and SEM measurements. Pt layer was also deposited using the rf-magnetron sputtering method,. XRD measurement showed that he Pt thin film has Gaussian distribution form with strong (111) direction orientation. The KLN thin film has preferred-orientation of (001) direction, and the peak consists of 2 separate peaks; one with broad FWHM and the other with narrow FWHM. The sharp peak is due to single crystal, and combining with Em results, the 4-fold grain consists of singel crystals with c-axis normal to substrate.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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