• 한국안전학회지
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• 제18권3호
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• pp.60-63
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• 2003

For the increase the charge stability of teflon electrets for used at uncomfortable industrial circumstances with high temperature or humidity, We made an investigation into double layer effect of teflon electrets. Teflon AF film was spincoated on FEP film and then the charge storage property of AF/FEP dual film was investigated to be compared with FEP film. It was found that the AF/FEP dual film has higher surface potential than FEP film on the repeated charging and annealing process. It seems that AF/FEP dual film has higher thermal stability than FEP film through TSC measurement. If the investigations of the double layer effect of Teflon film carried out more closely with it's molecular structures and surface conditions, it may be effectively improved the stability of charge storage.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제16권8호
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• pp.693-699
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• 2003

To improve thermal stability of Teflon FEP which is the most widely used materials for electret application, Teflon AF film of 1 $\mu\textrm{m}$ thick was spin coated on FEP film and the charge storage properties were investigated. The surface potential depend on aging temperature. Thermal Stimulated Current(TSC), Atomic Force Microscopy(AFM), and Fourier Transform-Infrared Spectroscope(FT-lR) measurements were carried out. It is shown that the AF/FEP dual film have more higher electrical property and thermal stability than that FEP film have caused by charge stored at interface of AF and FEP.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제59권4호
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• pp.639-643
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• 2021

본 연구에서는 3차원 다층 미세유체 디바이스를 제작하기 위한 접착제로서 불소화 에틸렌 프로필렌(fluorinated ethylene propylene, FEP) 나노입자를 연구하였다. FEP 분산 용액을 1500 rpm에서 30초 동안 단순 스핀 코팅하여 기판에 3 ㎛ 두께의 균일하게 분포된 FEP 나노 입자 층을 형성하였다. FEP 나노입자는 300 ℃에서 1시간 동안 열처리 후 소수성 박막으로 변형되었으며, FEP 나노입자를 이용하여 제작된 폴리이미드 필름 기반 미세유체 디바이스는 최대 2250 psi의 압력을 견디는 것을 확인하였다. 마지막으로 기존의 포토리소그래피로 제작하기 어려운 16개의 마이크로 반응기로 구성된 3차원 다층 미세유체 디바이스를 FEP가 코팅된 9개의 폴리이미드 필름을 간단한 1단계 정렬로 성공적으로 구현하였다. 개발된 3차원 다층 미세유체 디바이스는 화학 및 생물학의 다양한 응용을 위한 고속대량 스크리닝, 대량 생산, 병렬화 및 대규모 미세유체 통합과 같은 강력한 도구가 될 가능성이 있습니다.

• 폴리머
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• 제33권3호
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• pp.268-271
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• 2009

본 연구에서는 방사선 동시조사법에 의해 제조된 FEP-g-PSSA 막 단면을 SEM-EDX 기기로 분석하여 스티렌 술폰산 고분자(PSSA)의 막 내부로의 분포 경향을 연구하였다. 본 실험에서는 그래프트율, FEP 필름 두께, 선량률, 그래프팅 용매 등 여러 조사조건이 그래프트 고분자의 분포에 미치는 영향을 중점적으로 연구하였다. 실험 결과 균일하게 그래프트된 FEP-g-PSSA 막을 얻기 위해서는 필름 두께가 증가할수록 높은 그래프트율이 요구되어지고, 같은 조사 선량에서는 낮은 조사 선량률로 그래프트하는 것이 효과적임을 보여준다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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• pp.539-540
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• 2006

In this paper, We examine that characteristics of formative electret with polymer film and electric charge storage using grid corona discharge. compound polymer of fluorine resin used for material in electret because of high electric charge accumulation, excellent electrical and physical characteristic. All experiments were carried out with circular samples of $Teflon^(R)FEP$ film, 12.5[${\mu}m$] thick. As experiment variables, we used voltage, electrode thickness, discharge electrode gap, and discharge time. According to this variables, we studied on characteristics of formative electret and electric charge storage. Additionally we make a comparative study of the result between the grid corona discharge and needle electrode discharge.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1413-1414
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• 2003

일렉트렛을 이용한 전자제품의 시공정에 주로 이용되고 있는 Teflon FEP 일렉트렛의 전하 저장 특성을 개선하기 위하여 FEP 필름 위에 Teflon AF 1${\mu}m$를 적충한 후 그 전기적 특성을 분석하였다. AF/FEP 이중 필름을 음극 코로나 방전에 의해 하전시켰으며, 반복 하전 및 열처리에 따른 표면전위 변화를 관찰하였다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제5권2호
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• pp.120-126
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• 2005

We have proposed a characteristic method to estimate real composition when multi component oxide films are deposited by ALD. Final atomic concentration ratio was theoretically calculated from the film densities and growth rates for $HfO_2$ and $Al_2O_3$ using ALD processed HfxAhOz mms.W e have transformed initial source feeding ratio during deposition to fins] atomic ratio in $Hf_xAl_yO_z$ films through thickness factors ($R_{HFO_2}$ ami $R_{Al_2O_3}$) ami concentration factor(C) defined in our experiments. Initial source feeding ratio could be transformed into the thickness ratio by each thickness factor. Final atomic ratio was calculated from thickness ratio by concentration factor. It has been successfully confirmed that the predicted atomic ratio was in good agreement with the actual measured value by ICP-MS analysis.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1988년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.60-62
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• 1988

In this study, the characteristic of charging current which flows into the polymer by applying the corona discharge carriers on the polymer surface was measured, so as to investigate the phenomenon of charge injection and movement if injected charge on polymer. Also. the characteristics of discharge current which flows by shorting both sides of corona charged polymers were measured. Experimental results are as follows; The amount of charges injected by corona discharge vary according to the state of surface and the type of carriers, and then the charging current varies according to the properties of injected carriers.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제9권1호
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• pp.11-21
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• 1998

일렉트릿 (electret) 의 특성을 갖고 있는 Teflon-FEP 와 PET 필름의 유전체 양변에 크롬을 증착시켜 전극을 만들고 코발트-60 감마선을 찍어 이 두 유전체의 물리적 특성변화를 조사하였다. 선량률 25.0 cGy/min에서 방사선 조사하기 시작하여 2초이내에서 전류가 급격히 증가해 최대값에 이른후, 60초 이후에선 거의 안정값에 이르는 특성을 보였다. 방사선 조사동안 Teflon의 경우 유전 상수는 2.15에서 18.0으로, 전기전도도는 1$\times$$10^{-17}$ 에서 1.57$\times$$10^{-13}$ $\Omega$$^{-l}$ $cm^{-1}$ /으로 증가했고, PET는 유전상수는 3에서 18.3으로, 전기전도도는 $10^{-17}$ 에서 1.65$\times$$10^{-13}$ $\Omega$$^{-1}$$cm^{-1}$ /값으로 변하였다. 분당선량률을 변화시켰을때 (4.0 cGy/min, 8.5 cGy/min, 15.6 cGy/min, 19.3 cGy/min) 정상상태 방사선 유도전류(Ic), 유전율($\varepsilon$), 전기전도도 ($\sigma$) 가 선량률에 따라 증가함을 보였다. 정상상태방사선유도전류(Ic)값은 12시간내에선 1%내의 재현성을 보였고, 1주일간에선 3%내에서 일치하였다. 전하 및 전류값이 측정간격 (방사선 조사후 다음 조사때까지의 시간)에 의존성을 보였으며, 측정간격이 작을수록 초기측정값과 후측정값의 차가 크며, 최소 20분이상 간격을 둘 때 후측정값이 초기측정값과 같아졌다. 25.0 cGy/min. 선량률에서 유전체가 20분동안 전하를 유지하는 일펙트릿 성질을 갖고 있음을 보였다. 위 실험결과들은 2차전자에 의한 자유전자와 정공의 발생 및 이로 인한 내부편극과 전도도의 변화, 재결합등으로 인한 전자평형상태에 의한 것으로 볼 수 있다. 방사선조사직후 시료에 열을 가한 후 다시 조사하면 측정값이 상승하는 현상을 보였다. 이는 열을 가함으로 내부편극이 감소되었고 이로인해 다음 방사선 조사시 전하운반자(charge carriers)의 숫자를 높이는데 기여했음을 알 수 있다. 인가전압 및 흡수선량에 따른 선형성 및 재현성과 다른 전리함에 비해 적은 부피로 큰 전하량을 측정하는 것은 미세전류검출기로서의 사용가능성과 검출기의 부피를 크게 줄일수 있는 가능성을 보여준다.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제15권2호
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• pp.105-111
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• 2004

본 연구에서는 의료용 선형가속기로부터 발생되는 명목상 가속전압 6 MV선의 검출특성을 확인하기 위하여 유전체 물질을 사용한 평행판 검출기를 제작하였다. 제작한 검출기의 전극은 단면이 크롬으로 코팅되어 있는 FEP유전체 필름(두께: 100 $\mu\textrm{m}$)을 사용하였고 두 전극 사이에 PTFE유전체 필름(두께 : 100 $\mu\textrm{m}$)을 삽입하였다. 측정을 위하여 선원-팬텀 표면간의 거리 100 cm, 그리고 팬텀의 표면으로부터 깊이 5 cm되는 지점에 방사선 유도전하를 획득하기 위한 제작검출기를 놓았다. 방사선 조사시 제작검출기의 유용성을 알아보기 위하여, 영점 변동, 누설 전류, 인가전압에 따른 검출기의 반응, 재현성, 선형성, 조직최대선량비 등을 측정하였다. 측정결과 검출기의 영점 변동 전류 (I$_{Z}$ )는 8.3 pA, 누설 전류(I$_{I}$)는 10 pA 이었다. 제작 검출기는 인가전압에 대한 선형성을 보였으며, 또한 재현성실험에서는 조사된 선량에 대하여 1% 오차 범위 내에서 일치하였다. 검출기의 선량에 대한 선형성은 3% 이내의 오차범위에서 일치하면서 선량율 의존성이 있음을 확인하였다. 조직최대선량비분포에 대한 제작 평행판 검출기와 비교검출기간의 선량오차는 팬텀내의 최대 선량점으로부터 7.5 cm까지 3% 이내에서 일치하였다. 본 연구결과 유전체 필름을 이용한 평행판 검출기는 선량계로서의 기본적인 특성들을 허용 가능한 범위에서 만족스러워 상대선량측정을 위한 검출기로 사용할 수 있음을 확인할 수 있었다.