• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제13권4호
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• pp.196-199
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• 2012

CdS thin film was prepared on glass substrate by chemical bath deposition in an alkaline solution. The optical properties of CdS thin film were investigated using spectroscopic ellipsometry. The real (${\varepsilon}_1$) and imaginary (${\varepsilon}_2$) parts of the complex dielectric function ${\varepsilon}(E)={\varepsilon}_1(E)+i{\varepsilon}_2(E)$, the refractive index n(E), and the extinction coefficient k(E) of CdS thin film were obtained from spectroscopic ellipsometry. The normal-incidence reflectivity R(E) and absorption coefficient ${\alpha}(E)$ of CdS thin film were obtained using the refractive index and extinction coefficient. The critical points $E_0$ and $E_1$ of CdS thin film were shown in spectra of the dielectric function and optical constants of refractive index, extinction coefficient, normal-incidence reflectivity, and absorption coefficient. The dispersion of refractive index was analyzed by the Wemple-DiDomenico single-oscillator model.

• 한국광학회지
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• 제35권1호
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• pp.1-8
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• 2024

유리기층에 코팅되어 있는 박막의 광학상수를 정확하게 분석하기 위해, 반투명 기층 위에 다층박막이 코팅되어 있는 시료의 유사 투과타원 상수 표현과 투과율 표현을 구체적으로 제시하였다. 두꺼운 기층에서 일어나는 다중반사로 인한 빛의 세기를 결맞지 않도록 중첩하는 동시에, 반투명 기층의 광흡수 영역에서 기층의 흡수를 정확하게 반영함으로써 다층박막이 코팅된 반투명 기층 시료의 정확한 모델링 분석이 가능하게 하였다. 흡광도가 매우 낮은 파장대역에서 투과율 측정에 기반한 분석과 타원법에 기반한 모델링 분석 방법이 가지는 박막의 소광계수의 차이를 투과율의 민감도와 타원상수의 민감도 분석을 통하여 비교 분석하였다. 투과율 분석법과 반사 타원법을 SiN 박막이 코팅된 유리기층 시료에 적용함으로써 소광계수가 매우 작을 때에도 SiN 박막의 복소굴절률과 두께를 정확하게 결정할 수 있음을 보였다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제5권3호
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• pp.182-186
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• 2005

In this work, thermal evaporation system was employed to deposit thin films of SiC on glass substrates in order to determine the parameters of them. Measurements included transmission, absorption, Seebak effect, resistivity and conductivity, absorption coefficient, type of energy band-gap, extinction coefficient as functions of photon energy and the effect of increasing film thickness on transmittance. Results explained that SiC thin film is an n-type semiconductor of indirect energy band-gap of ${\sim}3eV$, cut-off wavelength of 448nm, absorption coefficient of $3.4395{\times}10^{4}cm^{-1}$ and extinction coefficient of 0.154. The experimental measured values are in good agreement with the typical values of SiC thin films prepared by other advanced deposition techniques.

• 한국해양학회지
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• 제9권1_2호
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• pp.59-64
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• 1974

바닷물의 광학적 특성을 조사, 연구하는 것은 해양 물리학적인 견지에서 뿐만 아니라 해양 생물학 또는 해양 지질학 분야에서도 꼭 필요하다. 특별히 해양의 기초 생산에서는 수중 광선이 절대적인 필요 요건으로 되어 있으며 해수의 소산계수가 변화하는 것을 가지고 환경 오염을 비교검토할 수 있다.(Ochakovsky, 1966; Jerlov, 1968). 본 연구는 교통부 수로국에서 1971년 4월에서 6월에 걸친 영일만 및 부근 일대 해양 관측시에 수중 조도계를 제작하여 1971년 5월 6일에 영일만 입구의 9개 관측점 에서 조사한 것을 분석하였다. 우리나라 연안이나 근해에서는 아직까지 해수의 광학적인 특성을 가지고 수괴의 분석이나 해황을 설명한 일이 없으며 앞으로 가동될 포항 종합제철 공장이 영일만의 잠재적인 오염원이 될 수 있으므로 이 공장의 가동 전에 영일만에서의 해양광학적인 조사를 하여 이 해역에서 오염 문제를 연구할 때의 기초적인 자료로 제공하고자 한다.

• 한국안광학회지
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• 제13권1호
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• pp.59-63
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• 2008

목적: 소형 magnetron sputtering 장치를 이용하여 CR-39 안경렌즈와 glass위에 코팅한 썬글라스 렌즈용 Ti박막의 광학적 특성에 관한 연구이다. 방법: SEM 단면 사진으로 Ti 코팅 박막의 두께를 측정하였고, spectrophotometer를 이용하여 Ti 박막의 투과율과 반사율을 측정하였다. Variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE)를 이용하여 파장에 따라 Ti 박막의 굴절률과 소멸계수를 구하였다. 결과: 두께가 60 nm, 120 nm, 140 nm인 시료에 대한 투과율은 가시광선 영역인 파장 400 nm에서 750 nm까지 변화가 크지 않았으며 모두 silver tone에 가까운 color를 보였다. 가까운 파장 400 nm 근처에서 약간 올라가는 경향을 보였고, He d선 (587.6 nm)을 기준으로 할 때 Ti 박막의 두께가 60 nm에서 투과율이 33%, 두께가 120 nm에서 투과율이 25%, 두께가 140 nm에서 투과율이 20%를 보였다. 결론: Ti 박막의 경우 60~140 nm의 모든 두께에서 선글라스용으로 적합한 것을 알 수 있었다. Ti박막에 대한 굴절률이 작게 나오는 것은 Ti박막의 두께가 얇기 때문이라고 여겨진다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.225-225
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• 2011

The dielectric and optical properties of GaInZnO (GIZO), HfInZnO (HIZO) and InZnO (IZO) thin films on glass by RF magnetron sputtering method were investiged using reflection electron energy loss spectroscopy (REELS). The band gap was estimated from the onset values of REELS spectra. The band gaps of GIZO, HIZO and IZO thin films are 3.1 eV, 3.5 eV and 3.0 eV, respectively, Hf and Ga incorporated into IZO results in an increase in the energy band gap of IZO by 0.5 eV and 0.1 eV. The dielectric functions were determined by comparing the effective cross section determined from experimental REELS with a rigorous model calculation based on the dielectric response theory, using available software package, good agreement between the experimental and fitting results gives confidence in the accuracy of the determined dielectric function. The main peak of Energy Loss Function (ELF) obtained from IZO shows at 18.42 eV, which shifted to 19.43 eV and 18.15 eV for GIZO and HIZO respectively, because indicates the corporation of cation Ga and Hf in the composition. The optical properties represented by the dielectric function e, the refractive index n, the extinction coefficient k, and the transmission coefficient, T of HIZO and IZO thin films were determined from a quantitative analysis of REELS. The transmission coefficient was increased to 93% and decreased to 87% in the visible region with the incorporation of Hf and Ga in the IZO compound.

• 한국안광학회지
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• 제10권4호
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• pp.267-272
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• 2005

유기발광물질 $Alq_3$(alumina quinoline)의 단일박막을 열 증착(thermal evaporation)방법에 의하여 실리콘(c-Si)기판과 슬라이드유리(slide glass) 기판위에 제작하였다. 박막 제작 후 가변입사각운광타원계(VASE : Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer)를 사용하여 1.50~5.0 eV 광 에너지 영역에서 타원 각(ellipsometry angle) ${\Delta}$, ${\Psi}$를 측정하였다. 이 측정결과들을 Jellison Modine 분산관계식을 사용하여 최적맞춤하고, 매개변수들을 구하여 박막의 광학상수인 굴절계수와 소광계수를 결정하였다. 결정한 광학상수의 정확성올 확인하기 위하여 투과율을 전산 시늉하고, 흡수계수(absorption coefficient)와 분광광도계로 측정한 흡광도(absorbance)의 스펙트럼 비교로 분석의 정확성을 확인하였다.

• 한국광학회지
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• 제22권4호
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• pp.170-178
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• 2011

기층의 후면에서 반사한 빛이 미치는 영향을 고려하여 반투명한 기층 위에 박막이 있는 시료의 분광타원상수를 모델링 분석하였다. 후면반사가 타원상수에 미치는 영향을 기층의 복소굴절률과 두께를 사용하여 나타내었고 이를 모델링 분석에 적용하였다. 유리 기층 위에 ITO 박막이 있는 시료에 대해 후면반사를 고려한 표현들을 사용하여 박막의 두께와 복소굴절률 등을 구한 결과가 후면에서 반사된 빛을 제거하여 측정, 분석하는 통상적인 타원법에 의한 결과와 일치함을 보였다.

• 한국안광학회지
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• 제12권1호
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• pp.85-90
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• 2007

안경렌즈의 무반사 코팅물질로 사용되는 황화아연(Zinc Sulphide : ZnS)의 단일박막을 실리콘과 슬라이드 유리 기판위에 스핀코팅방법으로 증착하였다. 박막 증착 후 변입사각분광타원계(VASE : Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer)를 사용하여 1.5~5.0 eV 광 에너지 영역에서 타원 각(ellipsometry angle) ${\Delta}$, ${\Psi}$를 측정하였다. 이 측정결과들을 Jellison Modine 분산관계식을 사용하여 최적맞춤하고, 매개변수들을 구하여 박막의 광학상수인 굴절계수 $n({\lambda})$와 소광계수 $k({\lambda})$를 결정하였다.

• 한국광학회지
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• 제10권3호
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• pp.181-187
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• 1999

대표적인 이차 비선형 광학 물질인 곁가지형 NPP(N-(4-nitrophenyI)-(L)-prolinol) 고분자 박막을 스핀코팅으로 제작하였다. 위상변조방식의 분광타원해석기를 사용하여 코로나 특성배향법으로 온도와 전기장을 변화시켜가며 실시간으로 타원해석 스펙트럼을 측정하였다. 광투과영역에서의 타원해석상수를 모델링분석하여 박막의 두께를 구하였고, 광합수영역에서는 타원해석상수의 역방계산을 통해 굴절율과 소광계수를 구하였다. 분광광도계를 사용하여 배향 전후 각각의 상태에 따른 광 투과율 스펙트럼을 측정한 후 이를 되먹임 관계식에 적용하여 구한 소광계수가 분광타원해석법으로 결정한 결과와 일치함을 확인하였다. 또한 두께가 비교적 얇은 시료의 타원해석 스펙트럼을 코로나배향 전후에 걸쳐 분석한 후 시료 면에 수직한 수직 복소굴절율과 시료 면에 평행한 수평 복소굴절율을 각각 결정하였다. 이 수직과 복소굴절율을 기준데이터로 사용하고 모델링 과정을 적용하여 배향의 각 단계별로 유효 수직조성비를 결정하여 두꺼운 고분자 박막의 배향된 정도를 정량화하는 분석모델을 제시하였다.