• 제목/요약/키워드: Equipment control

검색결과 4,135건 처리시간 0.036초

반도체 장비상태 모니터링을 위한 SCADA 시스템 구현 (SCADA System for Semiconductor Equipment Condition Monitoring)

  • 이윤지;윤학재;박효은;홍상진
    • 반도체디스플레이기술학회지
    • /
    • 제18권4호
    • /
    • pp.92-95
    • /
    • 2019
  • Automation control and the data for control of industrial equipment for the diagnosis and prediction is a key to success in the 4th industrial revolution. It increases process efficiency and productivity through data collection, realtime monitoring, and the data analysis. However, university and research environment are still suffering from logging the data in manual way, and we occasionally loss the equipment data logging due to the lack of automatic data logging system. State variable presents the current condition of the equipment operation which is closely related to process result, and it is valuable to monitor and analyze the data for the equipment health monitoring. In this paper, we demonstrate the collection of equipment state variable data via programmable logic controller (PLC) and the visualization of the collected data over the Web access supervisory control and data acquisition (SCADA). Test vehicle for the implementation of the suggested SCADA system is a relay switched physical vapor deposition system in the university environment.

전기철도용 축소형 전력품질 보상설비에 대한 모델링 및 시뮬레이션 (A modeling and simulation for a Small-Scaled Power Quality Compensating Equipment of Electrical Railway)

  • 강문호;김주락;한문섭
    • 한국철도학회논문집
    • /
    • 제10권2호
    • /
    • pp.96-102
    • /
    • 2007
  • This paper presents a study on the control of a power quality compensating equipment of electrical railway built in small-scaled to preliminary research. Because this compensating equipment is very complicated power electronics system, consisting of a scott transformer as a power source, four single phase inverters interconnected with DC-link capacitors and various electrical apparatuses, multiple controllers and control algorithms with high performance and reliability are needed. The major function of the compensating equipment is to manage reactive and active powers by using the four single phase inverters, so, the main control effort is focused on the power flow control which realized through the decoupling current control of the four inverters. Overall control system is designed with object oriented and analyzed on a Simulink window. The simulation results show that the design scheme is very effective for a complicated control system and the proposed controller has good performance.

New Control Strategy for Three-Phase Grid-Connected LCL Inverters without a Phase-Locked Loop

  • Zhou, Lin;Yang, Ming;Liu, Qiang;Guo, Ke
    • Journal of Power Electronics
    • /
    • 제13권3호
    • /
    • pp.487-496
    • /
    • 2013
  • The three-phase synchronous reference frame phase-locked loop (SRF-PLL) is widely used for synchronization applications in power systems. In this paper, a new control strategy for three-phase grid-connected LCL inverters without a PLL is presented. According to the new strategy, a current reference can be generated by using the instantaneous power control scheme and the proposed positive-sequence voltage detector. Through theoretical analysis, it is indicated that a high-quality grid current can be produced by introducing the new control strategy. In addition, a kind of independent control for reactive power can be achieved under unbalanced and distorted grid conditions. Finally, the excellent performance of the proposed control strategy is validated by means of simulation and experimental results.

정밀장비의 방진 및 과도응답 제어를 위한 하이브리드 방진시스템 (The Hybrid Control System for the Vibration Isolation and the Transient Response Reduction of precision Equipment)

  • 이규섭;손성완;이홍기;한현희;전종균
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국소음진동공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.185-189
    • /
    • 2009
  • It is very important to control the vibration transmitted from external utilities and the transient response due to the internal sources for the precision equipment, which is very sensitive to the vibration environment. The anti-vibration tables that use air springs have been widely used due to their excellent isolation performance, but the systems with high flexibility have the critical problem of large transient response by the impulsive force of the moving mass in operation of the equipment. In this paper, the hybrid vibration control system is proposed, which is combined the air springs with the semi-active MR dampers in order to satisfy the performances of isolation and vibration reduction simutaneously.

  • PDF

제어설비 계통에서의 노이즈장해 사례 및 대책별 효과 분석 (The Effect Analysis in case of the Countermeasure and Trouble-Examples for the Noise of Control Equipment System)

  • 김홍주;유상봉;이호성
    • 조명전기설비학회논문지
    • /
    • 제19권6호
    • /
    • pp.75-81
    • /
    • 2005
  • 최근 제어설비 계통은 전력변환장치와 센서등의 사용이 증가함에 따라 많은 노이즈가 발생되어 설비의 오동작이나 제어 회로의 메모리 손실과 같은 문제들이 야기되고 있다. 따라서, 본 논문에서는 다양한 제어설비 계통에서 발생되고 있는 노이즈의 특성을 계측하고 분석하였다. 또한 NCT, 등전위 접지, PNR, 노이즈필터 등을 사용한 노이즈저감 대책을 적용한 결과로 이들 대책들이 노이즈 문제 해결에 매우 효과적임을 확인하였다.

제어설비 계통의 노이즈장해 사례 및 대척에 관한 연구 (A Study on the Countermeasure and Trouble-Examples by Noise in Control Equipment System)

  • 유상봉;김홍주;이호성
    • 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국조명전기설비학회 2005년도 춘계학술대회논문집
    • /
    • pp.325-330
    • /
    • 2005
  • 최근 제어설비 계통은 전력변환장치와 센서의 사용이 증가하여 많은 노이즈가 발생되고 있다. 이 노이즈로 인해 설비의 오동작과 제어 회로의 메모리 손실이 발생된다. 따라서, 본 논문에서는 제어설비 계통의 노이즈 발생량을 계측 분석하였고, 이에 따라 NCT, 등전위 접지, PNR, 노이즈필터와 같이 노이즈 감소를 위한 효과적인 보호설비를 적용하였고 계측 결과를 제시하였다.

  • PDF

IPM 스위칭 소자를 적용한 AC 전동차 추진제어장치 (Converter/Inverter) 개발 (Development of AC Electric Vehicle Propulsion System (Converter/Inverter) using IPM Switching Device)

  • 김태윤;노애숙;황광철;최종묵;김주범
    • 전력전자학회:학술대회논문집
    • /
    • 전력전자학회 2004년도 전력전자학술대회 논문집(1)
    • /
    • pp.298-302
    • /
    • 2004
  • In this paper, AC electric vehicle propulsion system(Converter/Inverter) using high power semiconductor, UM(Intelligent Power module) is proposed. 2-Parallel operation of two PWM converter is adopted for increasing capacity of system and the VVVF inverter control is used a mixed control algorithm, where the vector control strategy at low speed region and slip-frequency control strategy at high speed region. The proposed propulsion system is verified by experimental results with a 1,350kW converter and 1,100kVA inverter with four 210kW traction motors.

  • PDF

Position Control of Wafer Lift Pin for the Reduction of Wafer Slip in Semiconductor Process Chamber

  • Koo, Yoon Sung;Song, Wan Soo;Park, Byeong Gyu;Ahn, Min Gyu;Hong, Sang Jeen
    • 반도체디스플레이기술학회지
    • /
    • 제19권4호
    • /
    • pp.18-21
    • /
    • 2020
  • Undetected wafer slip during the lift pin-down motion in semiconductor equipment may affect the center to edge variation, wafer warpage, and pattern misalignment in plasma equipment. Direct measuring of the amount of wafer slip inside the plasma process chamber is not feasible because of the hardware space limitation inside the plasma chamber. In this paper, we demonstrated a practice for the wafer lift pin-up and down motions with respect to the gear ratio, operating voltage, and pulse width modulation to maintain accurate wafer position using remote control linear servo motor with an experimentally designed chamber mockup. We noticed that the pin moving velocity and gear ratio are the most influencing parameters to be control, and the step-wised position control algorithm showed the most suitable for the reduction of wafer slip.

해양 시추용 15,000psi급 머드 시스템에 대한 제어 시스템 개발 (15,000psi Grade Control Systems Development for the Mud System in Offshore)

  • 이상목;조배석;김태형;황종덕;김남호
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보통신학회 2017년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.673-676
    • /
    • 2017
  • 국내 해양 시추용 시스템(드릴십, 시추 리그)의 건조시 머드 시스템은 전면 수입에 의존하며, 소수 외국 대기업의 독과점 현상이 심화되고 있다. 또한, 현재까지 국내 기술개발은 대부분 단품 위주의 제품개발을 시도하였으나, 패키지 단위의 제품 개발방법으로 접근하여 개별 장비를 패키지 단위의 사업화를 위해서는 모니터링제어시스템에 대한 개발이 필요하다. 따라서, 본 연구과제를 통해 기 개발된 국산화 머드 시스템의 단일 장비들을 통합 운영할 수 있는 제어모니터링 시스템을 개발 한다.

  • PDF

능동 현가장치에의 지능형 제어시스템 적용에 관한 연구 (A Study on Adopting Intelligent Control System in Active Suspension Equipment)

  • 박중현
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
    • /
    • 제12권3호
    • /
    • pp.287-293
    • /
    • 2007
  • 본 논문에서는 능동 현가장치의 해석 및 설계에 지능형 강인제어 이론을 적용하여 현가장치설계에 응용 할 수 있는 이론 및 실험적 제어장치 적용에 관한 연구를 수행하였다. 최근의 현가장치설계에서는 강성과 감쇠를 능동적으로 제어하는 기술의 적용이 일반화되고 있으며, 다른 차량안정성제어장치와의 연계성이 높아짐에 따라, 제어시스템설계에서 보다 내구성이 강하고 제어효과의 응답성이 빠르며 정도 또한 높은 제어장치의 필요성이 요구되고 있다. 본 연구는 전륜 및 후륜의 위치와 주행속도관계에 따른 능동현가시스템을 해석하여 위와 같은 빠른 응답성과 높은 정도의 제어가 가능한 제어시스템을 해석, 설계하기 위하여 지능형 제어시스템의 적용에 관한 고찰을 하였다. 그리고 제어대상시스템에 대한 지능형 제어시스템을 설계하기 위한 모델링 및 적용방법을 수식적으로 해석하였으며, 능동 현가장치의 제어시스템설계에 중요한 내외란성 향상을 위한 지능형 강인제어시스템설계에 적용하는 방법에 관해 고찰하였다.

  • PDF