내부 광전자방출 분광법을 이용한 Pt/HfO2/p-Si Metal-Insulator-Semiconductor 커패시터의 쇼트키 배리어 분석 (Characterization of the Schottky Barrier Height of the Pt/HfO2/p-type Si MIS Capacitor by Internal Photoemission Spectroscopy)
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- 한국재료학회지
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- 제27권1호
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- pp.48-52
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- 2017