Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
/
2011.02a
/
pp.189-190
/
2011
Cu가 기존 배선물질인 Al을 대체함에 따라 resistance-capacitance (RC) delay나 electromigration (EM) 등의 문제들이 어느 정도 해결되었다. 그러나 지속적인 배선 폭의 감소로 배선의 저항 증가, EM 현상 강화 그리고 stability 악화 등의 문제가 지속적으로 야기되고 있다. 이를 해결하기 위한 방법으로 Cu alloy seed layer를 이용한 barrier 자가형성 공정에 대한 연구를 진행하였다. 이 공정은 Cu 합금을 seed layer로 사용하여 도금을 한 후 열처리를 통해 SiO2와의 계면에서 barrier를 자가 형성시키는 공정이다. 이 공정은 매우 균일하고 얇은 barrier를 형성할 수 있고 별도의 barrier와 glue layer를 형성하지 않아 seed layer를 위한 공간을 추가로 확보할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한, via bottom에 barrier가 형성되지 않아 배선 전체 저항을 급격히 낮출 수 있다. 합금 물질로는 초기 Al이나 Mg에 대한 연구가 진행되었으나, 낮은 oxide formation energy로 인해 SiO2에 과도한 손상을 주는 문제점이 제기되었다. 최근 Mn을 합금 물질로 사용한 안정적인 barrier 형성 공정이 보고 되고 있다. 하지만, barrier 형성을 하기 위해 300도 이상의 열처리 온도가 필요하고 열처리 시간 또한 긴 단점이 있다. 본 실험에서는 co-sputtering system을 사용하여 Cu-V 합금을 형성하였고, barrier를 자가 형성을 위해 300도에서 500도까지 열처리 온도를 변화시키며 1시간 동안 열처리를 실시하였다. Cu-V 공정 조건 확립을 위해 AFM, XRD, 4-point probe system을 이용하여 표면 거칠기, 결정성과 비저항을 평가하였다. Cu-V 박막 내 V의 함량은 V target의 plasma power density를 변화시켜 조절 하였으며 XPS를 통해 분석하였다. 열처리 후 시편의 단면을 TEM으로 분석하여 Cu-V 박막과 SiO2 사이에 interlayer가 형성된 것을 확인 하였으며 EDS를 이용한 element mapping을 통해 Cu-V 내 V의 거동과 interlayer의 성분을 확인하였다. PVD Cu-V 박막은 기판 온도에 큰 영향을 받았고, 200 도 이상에서는 Cu의 높은 표면에너지에 의한 agglomeration 현상으로 거친 표면을 가지는 박막이 형성되었다. 7.61 at.%의 V함량을 가지는 Cu-V 박막을 300도에서 1시간 열처리 한 결과 4.5 nm의 V based oxide interlayer가 형성된 것을 확인하였다. 열처리에 의해 Cu-V 박막 내 V은 SiO2와의 계면과 박막 표면으로 확산하며 oxide를 형성했으며 Cu-V 박막 내 V 함량은 줄어들었다. 300, 400, 500도에서 열처리 한 결과 동일 조성과 열처리 온도에서 Cu-Mn에 의해 형성된 interlayer의 두께 보다 두껍게 성장 했다. 이는 V의 oxide formation nergyrk Mn 보다 작으므로 SiO2와의 계면에서 산화막 형성이 쉽기 때문으로 판단된다. 또한, V+5 이온 반경이 Mn+2 이온 반경보다 작아 oxide 내부에서 확산이 용이하며 oxide 박막 내에 여기되는 전기장이 더 큰 산화수를 가지는 V의 경우 더 크기 때문으로 판단된다.
Korean Journal of Agricultural and Forest Meteorology
/
v.1
no.2
/
pp.160-164
/
1999
Subsurface environments, including the intermediate vadose zone and aquifers, may be contributing to increased atmospheric concentrations of $N_2$O. Denitrification appears to be the major source of $N_2$O in the subsurface environment. In the intermediate vadose zone, the level of denitrifying activity is dependent on the soil morphology, particularly stratified layers within the soil profile, which impede water and solute movement and create conditions favorable for denitrification. Movement of organic C from the soil surface appears to support denitrifying activity by providing an energy source and increasing the consumption of $O_2$. Denitrirication and $N_2$O production have been observed in aquifers but appear to be of greatest significance in shallow unconfined aquifers. The lack of organic C, N $O_2$, or anaerobiosis is often a limiting factor for activity but seems to be site specific. The presence of denitrifying bacteria does not appear to be a major limitation, based on published results, but the ubiquity of denitrifiers in subsurface environments needs to be confirmed. The fate of the $N_2$O produced in subsurface environments is unknown. Transport of $N_2$O by up ward diffusion, by outgassing at contacts with surface waters, and by ground water use need to be quantified to determine the contribution to atmospheric $N_2$O. Contamination of subsurface environment with N $O_3$$^{ }$ and organics has the potential for increasing the contribution to atmospheric $N_2$O by enhancing denitrification .
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
/
2002.11a
/
pp.440-443
/
2002
Present1y the X-Ray diagnosis system is a real condition that is changing by digital ways in it's existent analog ways. This digital radiation detector is divided by the direct method and the indirect method. The indirect method of applied voltage has special qualities that the resolution is low than direct method by diffusion effect that happens. The conversion process ( radiation${\rightarrow}$visible ray${\rightarrow}$electrical signal of two times, has shortcomings that the energy conversion efficiency of electrical signal is low. The direct method has shortcomings that need strong electric fie1d to detect electrical signal efficiently. This research achieved to develop digital detector of the Hybrid method that have form that mixes two ways to supplement shortcoming of direct. indirect method. A studied electrical characteristic by Iodine's Mixture ratio change is added to selenium in the detector which has a multi-layer structure (Oxybromide + a-Se). There are 8 kinds of Manufactured compositions to amorphous selenium Iodine each 30ppm, 100ppm, 200 ppm, 300ppm, 400ppm, 500ppm, 600ppm, 700ppm by a doped photoconductor through a vacuum thermal evaporation method. The phosphor layer is consisted of Oxybromide ($BrO_2$) which uses optical adhesives multi-layer structure. The manufactured compositions calculates and compares Net Charge and signal to noise ratio measuring Photocurrent about Darkcurrent and X-ray. When doped Iodine Mixture ratio is 500ppm to the multi-layer structure (Oxybromide + a-Se), applied voltage of $3V/{\mu}m$, leakage current of compositions $2.61nA/cm^2$ and net charge value by 764pC/$cm^2$/mR then the best result appeared.
The Nishitani's equations for impedance of anodic oxide films have been derived based on a p-i-n model under the assumption of $\omega$$\varepsilon$$\rho$$_{ο}$<<4$\pi$<<$\omega$$\varepsilon$$\rho$$_{\omega}$, where $\omega$ is angular frequency, $\varepsilon$ is dielectric constant, and $\rho$$_{ο}$ and $\rho$$_{\omega}$ are the resistivity of the interface region and the intrisic region of the anodic oxide film, respectively. Since it is not possible to evaluate all parameters in the equations, however, any clear physical picture cannot be obtained from the equations. Therefore, the equations are modified under the assumption of $\omega$$\tau$$_{\omega}$>>1 and In(1+$\omega$$^2$$\tau$$_{ο}$$^2$)<<1, where $\tau$$_{\omega}$=$\varepsilon$$\rho$$_{\omega}$(4$\pi$) and $\tau$$_{ο}$=$\varepsilon$$\rho$$_{ο}$/(4$\pi$). The modified equations are then used to explain the change in the frequency characteristics of anodic oxide films when they are heated. The change in impedance of anodic oxide films when they are heated is attributed mainly to the increase in the diffusion layer and to the decrease in the resistivity of anodic oxide films.s.
The Korean government is aiming to strengthen industrial and national competitiveness through the promotion of cooperation between universities, public research institutes and industry and vitalization of technology transfer. In 2013 and 2014, the Ministry of Trade, Industry and Energy and Ministry of Science, ICT and Future Planning have announced policies to support SMEs by public research organizations. In addition, in 2015, the 'Korean Fraunhofer support system', which pay government subsidies according to the amounts of private R&D funds was adopted. However, there are some concern about the government's policies. There is yet disclosed how these policies affect technology transfer because industrial R&D funding has not been activated in Korea unlike German. Therefore this paper analyzes effects of relationship between universities, public research institutes and external organizations on performance of technology transfer based on the Triple Helix Model. Empirical results show that the relationship with the government has a significant impact on the resource security and the relationship with the industry has a significant effect on the diffusion of the performance. In addition, a public research institute was selected and case analysis was conducted to suggest policy implications for improving the technology transfer performance of universities and public research institutes.
Kim, Jung-Sub;Ha, Seung-Kyu;Yang, Chang-Jae;Lee, Jae-Yel;Park, Se-Hun;Choi, Won-Jun;Yoon, Eui-Joon
Journal of the Korean Vacuum Society
/
v.19
no.3
/
pp.217-223
/
2010
We grew multi-stacked InAs/$In_{0.1}Ga_{0.9}As$ DWELL (dot-in-a-well) structure by metal organic chemical vapor deposition and investigated optical properties by photoluminescence and I-V characteristics by dark current measurement. When stacking InAs quantum dots (QDs) with same growth parameter, the size and density of QDs were changed, resulting in the bimodal emission peak. By decreasing the flow rate of TMIn, we achieved the uniform multi-stacked QD structure which had the single emission peak and high PL intensity. As the growth temperature of n-type GaAs top contact layer (TCL) is above $600^{\circ}C$, the PL intensity severely decreased and dark current level increased. At bias of 0.5 V, the activation energy for temperature dependence of dark current decreased from 106 meV to 48 meV with increasing the growth temperature of n-type GaAs TCL from 580 to $650^{\circ}C$. This suggest that the thermal escape of bounded electrons and non-radiative transition become dominant due to the thermal inter-diffusion at the interface between InAs QDs and $In_{0.1}Ga_{0.9}As$ well layer.
The mechanism of cooking rice was investigated using a japonica type rice variety, Akibare, of 50%, 70% and 90% polishing degrees. The hardness of rice cooked at various cooking temperatures ($90^{\circ}-120^{\circ}C$) was measured with a Texturometer. The cooking rate followed the equation of a first-order reaction. The reaction rate constants were in the increasing order of 50%, 70% and 90% polished rice. The temperature coefficient of the reaction rate constant at cooking temperatures of ($90^{\circ}-100^{\circ}C$) was about 2 in all rice samples. The activation energies of cooking at temperatures below $100^{\circ}C$ and above $100^{\circ}C$ were about 17,000 and 9,000 cal/mole, respectively. The polishing degrees and water soaking time of rice did not affect the activation energy of cooking; however, the lower polishing degrees and shorter soaking increased the cooking time The experimental results suggested that the cooking process of rice comprises two mechanisms: At temperatures below $100^{\circ}C$ the cooking rate is controlled by the reaction rate of rice constituents with water, and at temperatures above $100^{\circ}C$, it is controlled by the rate of diffusion of water through the cooked portion (or layer) toward the interface of uncooked core in which the reaction is occurring.
Woo, Deok Gun;Mariappan, Vinayagam;Park, Jong Yong;Lee, Jong Hyeok;Kim, Young Min;Cha, Jae Sang
The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
/
v.11
no.5
/
pp.608-614
/
2018
In addition to the diffusion of ICT technology, various protocols of short range wireless communication technology are being applied for efficient information operation. However, due to limitations of short-range wireless communication, communication is not smooth in places where frequency environment is poor, such as frequency confusion and warehouse type factory. When an alternative is needed. The development of LED technology and expansion of infrastructure through LED based visible light communication is attracting attention as an alternative and spreading the usage in wide range now a days. In addition, the infrastructure has been expanded with solar panels in response to the development of smarthome built-in with renewable energy. In this situation, visible light communication using PD has been limitedly applied in a near environment where the receiving angle of the PD and the ambient light ensure the LoS and the influence of the ambient light is small. In order to solve this problem, we have implemented visible light communication using LED lighting with large current infrastructure and solar panel with large receiving area, and proposed a circuit for restoring accurate data even in ambient light. Through this study results, it is expected that visible light communication can be more widely used and this result used as the base data for visible light communication research using the solar panel as the receiver.
Lee, Jin Young;Lee, Kune Woo;Han, Myeong-Jin;Park, So-Jin
Applied Chemistry for Engineering
/
v.22
no.3
/
pp.277-285
/
2011
Polysulfone (PSf) membranes were prepared via the phase inversion process. Polyvinylpyrrolidone (PVP) was added as a nonsolvent additive in the casting solution containing a mixture of PSf and n-methylpyrrolidone. The added PVP played a role of enhancing liquid-liquid phase separation of the casting solution, and significantly reduced the solution fluidity. When prepared via the diffusion-induced process using water as a precipitation nonsolvent, the solidified membranes revealed a typical asymmetric structure irrespective of the addition of PVP. With 5 wt% PVP content, the finger-like cavities were more developed in the membrane sublayer compared to that of the membranes prepared without PVP. In contrast, with more than 10 wt% of PVP, the formation of finger-like cavities was suppressed, and the thickness of polymer nodule layer was increased. The surface porosity was also increased with the PSf content in the casting solution. The water permeability curve as a function of PVP addition revealed the inflection point. The maximum water permeability for 12 wt% PSf membrane was obtained with 5 wt% PVP content, and that for 18 wt% PSf membrane with 15 wt% PVP.
Paek, Min Kyu;Do, Kyung Hyo;Bahgat, Mohamed;Pak, Jong Jin
Korean Journal of Metals and Materials
/
v.49
no.2
/
pp.167-173
/
2011
Nickel cobalt ferrite($Ni_{0.5}Co_{0.5}Fe_2O_4$) powder was prepared through the ceramic route by the calcination of a stoichiometric mixture of NiO, CoO and $Fe_2O_3$ at $1100^{\circ}C$. The pressed pellets of $Ni_{0.5}Co_{0.5}Fe_2O_4$ were isothermally reduced in pure hydrogen at $800{\sim}1100^{\circ}C$. Based on the thermogravimetric analysis, the reduction behavior and the kinetic reaction mechanisms of the synthesized ferrite were studied. The initial ferrite powder and the various reduction products were characterized by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, reflected light microscope and vibrating sample magnetometer to reveal the effect of hydrogen reduction on the composition, microstructure and magnetic properties of the produced Fe-Ni-Co alloy. The arrhenius equation with the approved mathematical formulations for the gas solid reaction was applied to calculate the activation energy($E_a$) and detect the controlling reaction mechanisms. In the initial stage of hydrogen reduction, the reduction rate was controlled by the gas diffusion and the interfacial chemical reaction. However, in later stages, the rate was controlled by the interfacial chemical reaction. The nature of the hydrogen reduction and the magnetic property changes for nickel cobalt ferrite were compared with the previous result for nickel ferrite. The microstructural development of the synthesized Fe-Ni-Co alloy with an increase in the reduction temperature improved its soft magnetic properties by increasing the saturation magnetization($M_s$) and by decreasing the coercivity($H_c$). The Fe-Ni-Co alloy showed higher saturation magnetization compared to Fe-Ni alloy.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.