Influence of a Magnetic Field on High voltage Discharge Plasma Area for Carbon Nitride Film Deposition (질환탄소 박막 증착 시 고전압 방전 플라즈마에 가한 자장의 영향)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.15 no.2
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- pp.184-189
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- 2002