본 논문에서는 반도체 식각 공정 모니터링 시스템을 개발한다. 반도체 산업은 첨단 산업 중, 전자제품의 필수 부품을 생산하는 대표적인 고부가가치 산업으로, 세계 각국에서 치열한 개발 경쟁을 벌이고 있다. 이에 따라 반도체 제품의 품질과 특성, 그리고 생산성을 향상하기 위한 많은 연구들이 진행되고 있는데, 공정 모니터링 기술이 이에 해당한다. 실제로 반도체 회로를 형성하는 식각 공정에서의 불량은 큰 피해를 야기 시키므로, 공정을 상세히 모니터링 할 수 있는 시스템의 개발이 필요하다. 본 논문에서 기술하는 반도체 식각 공정 모니터링 시스템은 플라즈마를 이용한 건식식각 공정을 상세하게 관찰 분석하여 관리자에게 피드백하고, 설정된 시나리오에 맞게 자동으로 공정을 제어하여 공정 자동화 효율을 극대화한다. 실시간으로 모니터링을 수행하고 그 결과를 즉각적으로 시스템에 반영한다. 관리자는 시스템에서 제공하는UI(User Interface)를 통해 공정의 현재 상태를 진단할 수 있다. 시스템은 관리자가 사전에 작성한 공정 시나리오를 따라 공정을 자동으로 제어하고, 공정중단 시점을 효율적으로 찾아내어 생산 효율을 높인다.
고상 반응법을 써서 전이금속(Cr, Ti)을 치환한 란탄칼슘망간산화물, $La_{0.5}Ca_{0.5}(Mn_{0.98}TM_{0.02})O_3$의 자성특성을 연구하였다. 자성 특성은 VSM을 써서 측정하였고, 50 Oe에서 zero field cooling과 field cooling을 하면서, 자화-온도측정을 Cr과 Ti 치환한 경우에 측정하였다. $La_{0.5}Ca_{0.5}(Mn_{0.98}Cr_{0.02})O_3$는 클러스터 또는 스핀유리와 유사한 거동을 보였으며, $La_{0.5}Ca_{0.5}(Mn_{0.98}Ti_{0.02})O_3$에서는 관찰되지 않았다. 큐리온도는 전이금속이 치환된 시편의 경우 란탄칼슘망간산화물 $La_{0.5}Ca_{0.5}MnO_3$의 큐리온도 245.5K에서 감소한, 235.5 K [$La_{0.5}Ca_{0.5}(Mn_{0.98}Cr_{0.02})O_3$], 232.7 K [$La_{0.5}Ca_{0.5}(Mn_{0.98}Ti_{0.02})O_3$]로 모두 감소하였다. 자벽 고정(domain wall pinning)을 알아보기 위해 온도에 따른 보자력 측정을 하였고, 이 결과를 defect와 자벽 간의 상호작용의 관점으로 해석하였다.
기체상 $S_N2$ 반응의 형태는 중성 2분자반응, 용매화반응, 이온반응 등으로 나눌 수 있으며, 메카니즘적으로 중성 2분자 반응은 retention 생성물을 만들며 이온반응은 inversion 생성물을 만든다. 한편 용매인 물 한 분자에 의하여 6- 중심 건이상태를 거치는 용매화반응의 경우는 친핵체(또는 이탈기)및 치환기에 의한 전자효과와 입체효과에 따라 두 생성물이 경쟁적으로 만들어진다. 여기에서 얻어진 결과를 이용하여 이온반응의 경우, 중앙 methly group을 매우 bulky 하게 하고 이탈기 능력을 크게 해줌과 동시에 음이온인 친핵체의 하전을 분산시켰을 때 inversion과 retention TS 사이의 에너지 차이가 아주 작게 나타났다. $S_N2$ 반응의 반응중심을 보다 더 큰 2주기 원소로 바꾸었을 때, 5가의 전이상태에 미치는 입체장애가 작아지므로 활성화에너지 장벽이 낮아진다. 반면, 같은 주기에서 원자의 크기가 작아지면 에너지 장벽은 올라간다. B원자의 경우 에너지 장벽이 가장 낮은데, 그것은 C와 N 원자보다도 더 크며 또한 4가의 전이상태를 이루므로 입체장애가 거의 무시되기 때문이다.
안전한 도로주행을 위하여 설치된 도로시설물들은 주야간에도 식별할 수 있도록 제작되었으나, 기상악화 시 제 기능을 발휘하지 못하고 있다. 최근에는 원거리에서도 명확하게 인식할 수 있는 전기전자기술로 제작하고 있으나, 이들은 고장이 빈번하여 수시로 교체해야 하므로 교통정온화와 유지관리에 많은 문제점들이 나타나고 있다. 본 연구는 이러한 문제를 해결하기 위하여 교통사고가 빈번한 지역에 반영구적으로 이용할 수 있는 LED 표시등을 설치하고, 이를 시스템과 연계하여 유지 관리할 수 있는 모니터링시스템을 개발하였다. 이를 위하여 시스템은 윈도우 운영체계 기반으로 하였고, 무선통신망과 연결하여 P.C에서 운용될 수 있도록 개발하였다. 그 결과 현장에 설치된 LED 표시등의 배터리 상태정보를 실시간으로 분석을 할 수 있었고, 그 수명주기를 예측함으로서 효율적으로 관리할 수 있었다.
본 연구는 두가지 형태로 진행되었다. 첫째는 융복합 기술과 융복합 기술이전의 선행연구 검토 및 조사분석틀 분석에 근거하여 융복합 기술이전이라는 개념화와 측정 방법의 틀을 제시하였다. 둘째, 융복합 기술이전의 분류에 근거하여 기존 기술이전 조사틀에서 최근 정책적으로 중요하게 부각되고 있는 중소기업 융복합 기술이전을 전체 중소기업 기술이전 현황과 비교하였다. 정책적으로 공공부문에서 중소기업 기술이전이 중요하며 특히 융복합 기술이전의 건수와 금액 비교를 통해 융복합 기술이전이 진행 형태를 비교할 수 있다. 비교분석을 종합하면 전반적으로 중소기업에 대한 기술이전이 증가하는 추세에도 불구하고, 융복합 기술이전은 4.4%에 불과하다. 대학 및 정출연이 보유한 융복합 기술에 대한 중소기업 기술이전은 상대적 낮은 수준이다. 산업별로 볼 때 중소기업 기술이전이 활성화된 분야는 전자부품, 기계장비, 화학, 음식료, 의료 등이며 이러한 특징은 융복합 기술이전에서도 유사한 경향을 보였다. 기술생산자별로 보면 중소기업 기술이전뿐 아니라 융복합 기술 모두에서 대학의 역할이 강조되고 있다. 기술이전 금액관점에서 1~5천만원의 건수 및 금액 비중이 높으며 5백만원 미만의 건수도 많아지는 추세이며 융복합 기술이전도 유사한 형태를 나타내고 있다. 마지막으로 지역별로 융복합 기술이전을 포함한 기술이전 전체 성과가 서울, 대전, 경기에 집중되어 있다.
본 연구에서는 양자 역학 계산 이론 중 하나인 Density Functional Theory (DFT)를 사용하여 $Pd/Pd_3Fe$ 촉매 표면에서 개미산(HCOOH) 분해 반응으로부터 수소를 생산하는 반응 메커니즘을 분석하였다. 기존 연구에 따르면, 단일 원자 촉매 중에서 개미산 분해 반응에 가장 높은 수소 생산성을 기록하는 원자는 Pd 촉매이지만, 부 반응으로 생산되는 CO가 Pd에 독성을 띄우기 때문에 Pd 촉매의 성능을 저하시킨다. 이러한 단점을 극복하고자, Pd를 기반으로 Pd와 Fe를 3:1로 합금하여 $Pd_3Fe$가 코어(core) 형태로 존재하고 Pd가 표면에 위치한 core-shell $Pd/Pd_3Fe$ 촉매를 설계하여 개미산 분해 반응에 의한 수소 생산 속도를 계산하였다. 순수 Pd촉매 보다 $Pd/Pd_3Fe$ 촉매의 수소 생산 반응의 활성 에너지가 감소하였다. 그 이유는 Pd와 Fe가 합금화 되면서 $Pd_3Fe$의 격자 상수가 $2.76{\AA}$로 줄어 들어 HCOO의 흡착에너지를 0.03 eV 감소시켰고, Fe에서 표면 Pd로 전자가 이동하면서 표면 전자 구조가 변화하여 HCOO의 흡착에너지를 0.29 eV 낮추었기 때문이다. 본 연구에서 제안하는 결과를 바탕으로 추후 개미산으로부터 수소 생산이 더 용이한 새로운 촉매 설계 메커니즘을 제안하고자 한다.
최근 국내 건설 프로젝트 수행과정에서 발생하는 정보관리 기술의 고도화를 위해 IT기술을 활용한 건설 사업관리 정보시스템(Project Management Information System, PMIS)이 개발되어 활용되고 있다. 국내에서 개발된 PMIS는 국내 건설 프로젝트뿐만 아니라 국내 건설기업이 수행하는 일부 해외 프로젝트에도 제한적으로 적용되고 있다. 본 연구는 국내 기술로 개발된 PMIS를 미국건설IT 시장에 특화된 시스템으로 개발하는 것을 목적으로 수행되었다. 미국 건설 IT시장은 주로 미국 기반의 IT기업에 의해 개발된 제품들이 독과점으로 선점하고 있었으나, 최근 차별화된 기술 경쟁력 및 시장전략을 통해 시장을 확보해 나가는 기업이 증가하고 있다. 시스템 개발을 위한 선행연구로 국내와 해외에서 상용화된 시스템을 분석하였고, 미국 건설 프로젝트 수행 시 계약, 공정, 원가관리의 핵심요소를 분석하여 PMIS의 요구기능을 정립하였다. 이를 바탕으로 개발된 PMIS는 내부 전자결제 시스템을 포함한 문서관리 모듈과 실비정산 기반의 노무비 자동 산정 모듈, 진도관리 모듈을 통해 통합 사업비관리를 지원한다. 또한 개발된 시스템을 현지 건설 사업관리 전문가를 대상으로 설문조사를 실시하여 타당성을 검증하였다. 본 연구를 통해 개발된 PMIS는 미국 건설 산업에 특화된 시스템으로써 미국 건설 IT 시장 뿐 아니라, 해외 타수요처 적용 측면에서 점진적 확대를 기대한다.
예부선은 항만 개발 및 매립, 해상교량 건설, 항로 준설 등 우리나라 해양 산업 건설에 핵심적인 공헌과 역할을 수행하여 왔다. 또한 국내 등록 척수로는 가장 많은 비중을 차지하고 있고, 부선의 경우 전용화와 대형화가 꾸준히 진행되어 일반 상선과 동급의 부선이 운항되고 있다. 이로 인한 해양사고의 증가에도 불구하고 예부선에 대한 국가적인 차원에서의 안전운항 대책이 미흡한 실정이다. 본 연구는 최근 빈번하게 발생하고 있는 해상교량과 관련된 예부선의 사고에 대한 안전 운항 대책을 제안하고자 한 것으로, 해양사고의 통계 자료와 사례 분석, 예부선 운항 실태를 운송계약 측면과 인원 구성을 검토하여 해상교량의 안전 통항을 위해 선박 자체적으로 점검해야 하는 항해계획과 운항점 검표를 일례로 제시하고, 예부선의 안전운항 향상을 위한 전자차트시스템 기반의 안전항행지원시스템을 제안한다.
본 연구는 수출기반활용사업 중에서 디자인서비스 분야의 성과에 관한 연구이다. 특히, 참여기업 관점에서 디자인서비스의 이용실태와 이에 따른 문제점을 파악하여, 관련 사업에서 디자인서비스 분야에 있어서 성공적 지원방안 마련을 위한 기초 자료 제공을 목적으로 한다. 본 연구는 기록자료(archival records)를 활용하여 디자인서비스의 정확한 성과를 측정할 수 있도록 정량적 설문(survey) 조사를 설계하였고, 설문은 총 3차례 발송을 통하여 참여기업은 135개사에서 응답하였다. 연구결과에서 디자인서비스의 유의미한 성과는 의료/바이오/헬스케어, 전기/전자제품 등 국가 주력산업군의 수출에서 디자인 역할이 중요하다는 것을 알 수 있었다. 또한, 매출액 차이와는 상관없이 모든 참여기업들이 디자인서비스를 이용하고 있다는 것을 알 수 있었다. 특히, 디자인서비스 효과는 참여기업들의 96 %가 가장 효과적이었던 서비스라고 답변하였다. 결과적으로 수출지원기반활용사업에 있어서 디자인서비스의 중요성을 입증하였고, 향후 수출지원기반활용사업의 디자인서비스의 발전방향으로서 관리 시스템 도입의 중요성을 제언하였다.
이 연구의 목적은 미디어 선거가 제도적으로 발전하면서 파생하고 있는 선거 공론장의 역설적 현상들을 밝혀내는 것이다. 오늘날 TV방송은 방송 저널리즘 차원을 넘어서 정치적장의 중심에 자리 잡기 시작하였으며 중요한 정치적 실천 기제가 되었다. TV방송과 대의 민주주의 체제의 융합은 미디어크라시(Mediacracy) 혹은 텔레크라시(Telecracy)라 일컬어지는 새로운 정치 구조를 생산하고 있다. 이 두 분야의 융합에 따른 새로운 정치 현상은 무엇보다도 선거에서 잘 나타난다. TV방송은 선거 후보자들에게 다양한 정치적 상징들을 생산하고 무수한 대중에게 시, 공간적 제약을 벗어나 전달할 수 있는 기회를 제공한다. 따라서 TV선거방송은 후보자들에게는 가장 유효하고 영향력 있는 선거운동의 장이 되고 있다. 이러한 영향력의 확대에 따라서 국가는 이 선거 공론의 장에 대하며 보다 적극적으로 개입하기 시작했다. 국가 중심의 제도화는 TV선거방송을 표준화, 규격화함으로써 모든 후보자들이 쉽게 참여할 수 있고 유권자들에게는 보다 명확한 판단의 기준들을 제공해 줄 수 있는 가능성을 열어주었다. 그러나 또 한편으로는 이 제도화가 시민 공론장으로서 방송의 역할을 국가적 행정체계와 방송의 기술체계에 종속시키고 있음을 볼 수 있다. 이러한 기술 중심의 기계적 제도화는 선거방송을 정치적 상징의 생산과 상징적 이미지의 작동을 제한하고 통제하는 체제로 구조화시키고 있다. 결국, 도구적 합리성과 기술적 관리 체계에 바탕을 둔 제도화는 선거방송에서 정치적 인간(Homo politicus)의 주체성을 후퇴시키고 행정 및 방송 기술을 정치적 상징을 생산하고 작동하는 주체로 만들고 있다. 이러한 프랑켄슈타인적 전도는 TV선거방송을 신화적 공론장으로 귀결시킨다. TV선거 공론장의 역설(paradox)은 미디어 선거 시대에 유권자의 탈정치화, 정치의 픽션화 그리고 그에 따른 선거의 무관심을 고조시킴으로써 미디어와 정치의 위기를 더욱 심화시키고 있다. 따라서 정치적 인간 주체를 회복하기 위해서는 국가 중심의 제도체계를 벗어나 시민들이 TV선거 공론장의 주체적 참여자가 되도록 개방해야 할 필요가 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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