• Title/Summary/Keyword: E-ICP

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Evaluation of a Rapid Immunochromatography Technique for Determination of Cd in Soils and Rice Grains (면역크로마토그래피를 이용한 토양 및 쌀의 Cd 간이진단법 평가)

  • Lee, Sang-Phil;Kim, Rog-Young;Abe, Kaoru;Kim, Sung-Chul;Kim, Won-Il;Yang, Jae E.
    • Korean Journal of Soil Science and Fertilizer
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    • v.45 no.6
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    • pp.900-903
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    • 2012
  • Cadmium is known to be very toxic to human health and can be relative easily translocated from soils in plants. Therefore, a rapid method for screening Cd in soils and crops has become more and more important. For this reason, we examined a rapid immunochromatograpy (ICG) test kit which uses antigen-antibody reaction based on immunoassay and chromatography. Soils and rice grains collected from mine waste-contaminated sites were determined for their Cd contents using this kit. For comparison purposes, 0.1 M HCl and ICP-OES were employed as a conventional extraction and determination method. Cadmium contents in rice grains determined using ICG technique were $0.46{\sim}2.39mg\;kg^{-1}$ and Cd contents determined using 0.1 M HCl and ICP-OES were $0.52{\sim}1.97mg\;kg^{-1}$. The correlation between these two Cd contents were statistically significant ($r^2$=0.930). The results of Cd contents in soils also showed a statistically significant relationship between these two methods ($r^2$=0.975). On the basis of these results, ICG technique can be applied to rapidly quantify Cd in crops and soils. However, further research is necessary to apply ICG technique for the field screening.

Microfabrication of Submicron-size Hole on the Silicon Substrate using ICP etching

  • Lee, J.W.;Kim, J.W.;Jung, M.Y.;Kim, D.W.;Park, S.S.
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.79-79
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    • 1999
  • The varous techniques for fabrication of si or metal tip as a field emission electron source have been reported due to great potential capabilities of flat panel display application. In this report, 240nm thermal oxide was initially grown at the p-type (100) (5-25 ohm-cm) 4 inch Si wafer and 310nm Si3N4 thin layer was deposited using low pressure chemical vapor deposition technique(LPCVD). The 2 micron size dot array was photolithographically patterned. The KOH anisotropic etching of the silicon substrate was utilized to provide V-groove formation. After formation of the V-groove shape, dry oxidation at 100$0^{\circ}C$ for 600 minutes was followed. In this procedure, the orientation dependent oxide growth was performed to have a etch-mask for dry etching. The thicknesses of the grown oxides on the (111) surface and on the (100) etch stop surface were found to be ~330nm and ~90nm, respectively. The reactive ion etching by 100 watt, 9 mtorr, 40 sccm Cl2 feed gas using inductively coupled plasma (ICP) system was performed in order to etch ~90nm SiO layer on the bottom of the etch stop and to etch the Si layer on the bottom. The 300 watt RF power was connected to the substrate in order to supply ~(-500)eV. The negative ion energy would enhance the directional anisotropic etching of the Cl2 RIE. After etching, remaining thickness of the oxide on the (111) was measured to be ~130nm by scanning electron microscopy.

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Effects of heat treatment and Co addition on the magnetic properties of FeCoBSi thin film (FeCoSiB 자성박막의 자기적 특성에 미치는 Co 및 열처리의 영향)

  • 신현수;양성훈;장태석;박종완
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.9 no.4
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    • pp.389-393
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    • 2000
  • Effects of Co addition and heat treatment on the magnetic properties of Fe-Si-B thin films were investigated. The compositions of metalloids, i.e, B and Si, in the alloys were kept 10 at.% each. Heat treatments were carried out in the temperature range from 100 to $300^{\circ}C$ for up to 60 min. Amorphous thin films of FeCoSiB were deposited on the water-cooled substrates by dc magnetron sputtering. The composition of thin films was controlled by placing proper number of pellets of alloying elements and analyzed by ICP, resulting in $Fe_{80-X}Co_ XB_{10}Si_{10}$ (X=8~18 at.%). Saturation magnetization of the alloys increased as Co concentration increased up to 10 at.% and then decreased with further increase of Co concentration. However, coercive force of the films decreased with the increase of Co concentration. Furthermore, the coercive force was also reduced by the annealing due to the residual stress relief.

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열적 응집된 Pt 나노입자 마스크를 이용한 실리콘 나노구조 제작

  • Im, Jeong-U;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.186-186
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    • 2011
  • 태양전지의 효율을 증가시키기 위해서는 표면에서의 Fresnel 반사를 줄여 입사된 빛이 흡수층까지 잘 도달되도록 해야 한다. 그러나 결정질 실리콘의 경우, 굴절률이 높아 32% 이상의 표면반사율을 보이고 있어, 실리콘 태양전지 표면에 단일 또는 다중 박막의 무반사 코팅을 통해 반사율을 낮추는 방법이 널리 사용 되어 오고 있었다. 하지만, 이와 같은 코팅 방법은 열적팽창 불일치, 물질 선택의 어려움뿐만 아니라 낮은 반사율을 포함하는 파장 및 빛의 입사각 영역의 제한 등 여러 문제점을 지니고 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위해, 표면에 서브파장의 주기를 갖는 나노구조(subwavelength structure, SWS)의 형성에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 습식 식각보다 건식 식각을 이용한 SWS 제작 방법이 표면 profile을 제어하기 용이하나 패턴 형성을 위해 식각 마스크가 필요하다. 최근, 복잡하고 고가의 전자빔 또는 나노임프린트를 이용한 패턴 형성보다, 간단/저렴하며 대면적 제작이 용이한 금속 나노입자 마스크를 이용한 SWS의 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 SWS의 무반사 특성은 표면 profile에 따라 크게 영향을 받는다. 따라서 본 실험에서는 열적 응집현상에 의해 형성되는 self-assembled Pt 나노입자 식각 마스크 및 $SiCl_4$가스를 사용한 유도결합 플라즈마(inductively coupled plasma, ICP) 장비를 이용하여 무반사 실리콘 SWS를 제작하였으며, SWS 표면 profile에 따른 구조적 및 무반사 특성을 조사하기 위해 다양한 공정조건을 변화시켰다. 실리콘 기판 위의 Pt 박막은 전자빔 증착(e-beaml evaporation)법을 사용하였고, 급속 열처리(RTA)를 통해 Pt 나노입자의 식각 마스크를 형성시켰다. Pt 나노입자들의 패턴 및 제작된 무반사 실리콘 SWS의 식각 profile은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-VIR-NIR spectrophotometer를 사용하여 350~1050 nm 파장 영역에서의 반사율을 측정하였다. ICP 식각 조건을 변화시켜 5% 이하의 낮은 반사율을 갖는 높이가 높고 쐐기 형태의 실리콘 SWS를 도출하였다.

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Chemical Analysis of Water Soluble Aerosols at Kosan, Cheju lsland (제주도 고산에서 수용성 에어로졸의 화학적 성분 분석)

  • 이호근;박경윤;서명석;장광미;강창희;허철구
    • Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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    • v.11 no.3
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    • pp.245-252
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    • 1995
  • Atmospheric aerosols were collected by a High Volume Tape Sampler from March 1992 to December 1993 ar Korean, Cheju, Korea. The water soluble ion concentrations in aerosol were analyzed. The concentrations of cations (N $a^{+}$, $K^{+}$, $Ca^{2+}$, $Mg^{2+}$, N $H_{4}$$^{+}$) were determined by an Inductively Coupled Plazma(ICP) or an Atomic Absorption Spectrometer(AAS), and those of anions (C $l^{[-10]}$ , N $O_{3}$$^{[-10]}$ , S $O_{4}$$^{2-}$) were analayzed by the capillary electrophoresis method. The $Ca^{2+}$, S $O_{4}$$^{2-}$ and N $O_{3}$$^{[-10]}$ concentrations in spring were higher than those in other seasons. The lowest concentrations of these elements were found in summer, largely due to scavenging by frequent rains. Especially the $Ca^{2+}$ concentration on April was three to four times higher than the annual mean concentration. The enrichment factor(E.F.) of each element was calculated. The annual mean E.F. values of the $Ca^{2+}$, $Mg^{2+}$ and C $l^{[-10]}$ in 1992 were the same as those in 1993 except $k^{+}$ and S $O_{4}$$^{2-}$. The correlation formula between all cations and anions for the whole period was Anions = 0.759 * Cations + 0.066.Cations + 0.066.

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광진단을 이용한 전자 에너지 분포 함수 변화 감지 알고리즘 개발

  • Park, Seol-Hye;Kim, Gon-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.131-131
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    • 2010
  • 원자의 여기 및 천이에 의한 플라즈마에서의 빛 방출은 일차적으로 여기를 위한 특정 문턱값 이상의 에너지 공급이 전제 된다. 진공 플라즈마에서 대부분의 에너지 전달 과정은 전자와의 물리적 충돌에 의해 일어나므로 충돌 여기의 결과 발생한 광신호 세기는 전자 에너지 분포에 대한 정보를 내포하고 있다. 전자는 입자들 간의 에너지 전달 매개가 되는 동시에 플라즈마 구성 입자 중 가장 가벼워 빠르게 주변 환경 변화에 응답하여 열평형을 이루므로 EEDF는 플라즈마의 미세한 변동까지도 보여줄 수 있는 인자가 된다. 플라즈마의 열평형 이동에 관한 정보를 광신호로부터 EEDF의 형태로 추출해내기 위해 BEB (Binary - Encounter - Bethe) 모델을 근거로 충돌 반응 단면적을 함수로 나타내어 신호를 분석하였다. EEDF의 꼴을 $f(E)=AEexp(-E^b)$의 임의의 형태로 두고 아르곤의 427nm, 763nm 두 빛의 세기 비를 BEB 모델을 적용하여 전개한 결과 b factor 의 값을 구할 수 있었다. b factor 가 1인 경우는 Maxwellian, 2인 경우는 압력이 높은 조건에서 잦은 충돌에 의한 에너지 손실 때문에 고에너지 전자군이 현격하게 감소된 Druyvesteyn 분포를 의미하므로 광신호에 모델을 적용하여 얻은 b factor의 변화는 EEDF의 형태 자체의 변화가 감지되었음을 보여준다. 실제로 13.56MHz - 1kW ICP 장치에서 아르곤 플라즈마를 발생시켰을 때, 압력이 낮아 Maxwellian 분포가 예상되는 10mTorr 조건에서는 b=1.13, Druyvesteyn 분포에 가까워지는 100mTorr 조건에서는 b=1.502 로 관측되었다.

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Evaluation of Iron and Zinc Content in Rice Germplasms

  • Lee, Jeom-Ho;Lee, Kyu-Seong;Hwang, Hung-Goo;Yang, Chang-Ihn;Lee, Sang-Bok;Choi, Young-Hwan;Jeong, O-Young;Virk, Parminder
    • Korean Journal of Breeding Science
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    • v.40 no.2
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    • pp.101-105
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    • 2008
  • The germplasm of 246 rice cultivars was analysed for iron and zinc contents using a Inductively Coupled Argon Plasma (ICP) at International Rice Research Institute (IRRI) Philippines. Iron contents ranged from 2.0 to 12.0, and zinc ranged from 10.0 to 33.0 (mg/kg), showing with the mean values of 4.3 and 22.8 (mg/kg), respectively. In genotypes tested, there was approximately a two-fold difference in iron and zinc concentrations, suggesting a genetic potential to increase these micronutrients in rice grain. A highly significant positive correlation ($r^2=0.503$) was found between iron and zinc contents. Iron contents decreased drastically as polishing time increased, whereas zinc decreased only slightly. In the interaction between genotype and environment on iron contents, genotype (G), environment (E), and the G ${\times}$ E interactions accounted for 69%, 5% and 26% of the sums of squares, respectively. Indicating that genotype is would be the most significant factor for the to improve iron contents of rice in rice breeding, suggesting that therefore identifying genotypes with relatively stable performance across various environments is important as staple food crops.

Effect on the surface passivation of i-a-Si:H thin films formed on multi-crystalline Si wafer (유도결합플라즈마 CVD법을 이용한 비정질 실리콘 박막증착을 통한 다결정 실리콘 기판의 표면 passivation 특성평가)

  • Jeong, Chaehwan;Ryu, Sang;Lee, Jong-Ho;Kim, Ho-Sung
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.06a
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    • pp.82.1-82.1
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    • 2010
  • 수소화된 비정질 실리콘 박막을 이용한 반도체는 현재 태양전지, 트랜지스터, 매트릭스 배열 및 이미지 센서 등의 분야에서 이용되고 있다. 자세히 이야기 하면, 여러 가지의 광전효과 물질에 대한 특성이 있으며, 가시광선영역에 대하여 > $10^5cm^{-1}$이상의 매우 높은 광흡수계수와 낮은 온도를 갖는 증착공정 등이 있다. 박막의 밴드갭은 약 1.6~1.8eV로서 태양전지의 흡수층과 passivation층으로 적절하다. 여러 가지 종류의 태양전지 중 비정질 실리콘 박막/결정질 실리콘 기판의 구조로 이루어진 이종접합 태양전지는 저온에서 공정이 가능한 대표적인 것으로서 HIT(Heterojunction with Intrinsic Thin layer)구조로 산요사에 의해 제안된 것이다. 이것은 결정질 실리콘 기판과 도핑된 비정질 실리콘 박막사이에 얇은 진성층 비정질실리콘 박막을 삽입함으로서, 캐리어 전송을 좋게하여 실리콘 기판 표면의 passivation효과를 증대시키는 결과를 가지고 온다. 실험실 규모에서는 약 20%이상의 효율을 보이고 있으며, 모듈에서는 19.5%의 높은 효율을 보이고 있어 실리콘 기판을 이용한 고효율 태양전지로서 각광을 받고 있다. 이러한 이종접합 태양전지의 대부분은 단결정 실리콘을 사용하고 있는데, 점차적으로 다결정 실리콘 기판으로 추세가 바뀌고 있어, 여기에 맞는 표면 passivation 공정 및 분석이 필요하다. 본 발표에서는 다결정 실리콘 기판위에 진성층 비정질 실리콘 박막을 유도결합 플라즈마 화학기상 증착법(ICP-CVD)을 이용하여 제조하여 passivation 효과를 분석한다. 일반적으로 ICP는 CCP(coupled charged plasma)에 비해 약 100배 이상 높은 플라즈마 밀도를 가지고 있으며, 이온 충돌같은 표면으로 작용하는 것들이 기존 방식에 비해서 작다라는 장점이 있다. 먼저, 유리기판을 사용하여 ICP-CVD 챔버내에 이송 한 후 플라즈마 파워, 온도 및 가스비(SiH4/H2)에 따른 진성층 비정질 실리콘 박막을 증착 한 후, 밴드갭, 전도도 및 결합구조 등에 대한 결과를 분석한 후, 최적의 값을 가지고 250um의 두께를 갖는 다결정 실리콘을 기판위에 증착을 한다. 두께(1~20nm)에 따라 표면의 passivation이 되는 정도를 QSSPCD(Quasi steady state Photoconductive Decay)법에 의하여 소수캐리어의 이동거리, 재결합율 및 수명 등에 대한 측정 및 분석을 통하여 다결정 실리콘 기판의 passivation effect를 확인한다. 제시된 데이터를 바탕으로 향후 다결정 HIT셀 제조를 통해 태양전지 효율에 대한 특성을 비교하고자 한다.

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Review of the Gross Alpha for Characterization of Radioactive Waste (방사성폐기물 특성평가를 위한 전알파 분석법 고찰)

  • Kim, Hyuncheol;Lim, Jong-Myoung;Jang, Mee;Park, Ji-Young
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.18 no.2_spc
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    • pp.227-235
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    • 2020
  • In this study, we discussed the limitations of gross alpha measurements for the characterization of radioactive wastes produced in nuclear facilities through experimental tests and Monte Carlo N-particle transport simulations. The determination of gross alpha is essential for the disposal of radioactive waste produced in nuclear facilities in Korea. The measurements of gross alpha are easy to perform and yield rapid analytical results, but it cannot be used for quantitative analysis. The error of counting efficiency for gross alpha with various masses of the deposit on planchets using KCl and 241Am was determined. The relative deviation of the counting efficiency in samples having the same mass was 20%. Uranium was extracted from the soil through acid leaching and extraction chromatography, and the concentration of U determined by inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) was compared with the results for gross alpha. The gross alpha was underestimated by 50% compared to the U concentration by ICP-MS. The counting efficiency depended on the energy from the alpha emitters, which differed by up to three times in determination of the counting efficiency depending on the kinds of alpha radionuclides of interest. Therefore, the gross alpha is not compatible with the sum of radioactivity for each alpha emitter and is suitable as a screening method.

High Resolution Elements Analysis in N-E Pacific Sediments using XRF Core Scanner (XRF 코어스캐너를 이용한 북동태평양 퇴적물 내 원소의 고해상분석)

  • Um, In-Kwon;Kim, Ji-Hoon;Nam, Seung-Il;Choi, Hun-Soo;Park, Ok-Boon
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.22 no.2
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    • pp.129-138
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    • 2009
  • The XRF core scanner was used, to analyze high resolution chemical elements in deep sea sediment cores from Clarion-Clipperton fracture zone of the northeastern Pacific. Comparison of data estimated by the XRF core scanner with ICP-AES showed relatively weak correlation coefficients between elements (especially Ba, Pb, Sr, Zr) except for Mn contents ($r^2$ > 0.89). However down-core variations of most elements seemed to be well matched each other and furthermore, XRF core scanner data reflected changes of sedimentary facies characterized by sediment colors. Mn/Al ratio dramatically changed at boundaries of facies in BC08-02-05 and BC08-02-13 but progressive changes occured in BC08-02-02, BC08-02-09 and BC08-02-10 where the sediments have been affected by bioturbations. The difference of Mn/Al ratio in each facies (Facies I, Facies II, Facies III) has been caused by redox condition of depositional environment. Vertical change of Mn/Al ratio were divided into two types probably affected by activities of benthic organisms in the study area.