$ZrO_2$ - DSS의 CMP 특성에 관한 연구
(A Study on the Oxide CMP Characteristics using $ZrO_2$ -Diluted Silica Slurry($ZrO_2$ -DSS))
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- pp.85-86
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- 2006