• Title/Summary/Keyword: Defect Density

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Silk Fibroin and Substance P Combination Graft for the Reconstruction of a Bone Defect (실크 피브로인 지지체와 Substance P를 이용한 골 이식재)

  • Park, Ki-Yu;Choi, Kyo-Hee;Park, Young-Ju;Song, Ji-Young;Kim, Seong-Gon;Jo, You-Young;Kweon, Hae-Yong;Kang, Seok-Woo
    • Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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    • v.33 no.4
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    • pp.293-300
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    • 2011
  • Purpose: Substance P is a well known neurotransmitter and has been known to mediate pain. Recently, it has been unveiled that substance P is involved in the recruitment of mesenchymal stem cells to wound sites. The purpose of this study was to exam bone formation when a combination of substance P and silk fibroin was used in a bone defect model. Methods: Twenty rabbits were used and 40 calvarial defects were formed. They were divided as 4 groups (unfilled control, silk only, silk+$10{\mu}g$/ml substance P; Sub10, and silk+$100{\mu}g$/ml substance P; Sub100). All animals were humanely sacrificed 4 or 8 weeks after grafting. The specimens were analyzed by micro-computerized tomography and histological analysis. Results: When compared to the unfilled control to silk only group, there was significant difference in bone mineral density (BMD) and the attenuation coefficient (AC) at 4 weeks ($p$=0.037 and 0.038, respectively). When compared Sub10 group to Sub100 group, there was significant difference in BMD and AC at 8 weeks ($p$=0.004 for all). Residual graft amounts were $52.1{\pm}15.8$%, $15.2{\pm}9.2$% and $9.0{\pm}3.3$% for silk only, Sub10, and Sub100 groups, respectively. When comparing the residual graft amount of silk only to sub10 or sub100, the differences were statistically significant ($p$ <0.001). Conclusion: The silk fibroin scaffold showed higher BMD and AC than the unfilled control. The combination graft with substance P and silk fibroin scaffold showed a faster graft degradation than with a silk fibroin scaffold only.

The Analysis of Bone regenerative effect with carriers of bone morphogenetic protein in rat calvarial defects (백서두개골 결손부에서 BMP전달체의 골재생효과분석)

  • Jung, Sung-Won;Jung, Jee-Hee;Chae, Gyung-Joon;Jung, Ui-Won;Kim, Chang-Sung;Cho, Kyoo-Sung;Chai, Jung-Kiu;Kim, Chong-Kwan;Choi, Seong-Ho
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • v.37 no.4
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    • pp.733-742
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    • 2007
  • Bone morphogenetic proteins have been shown to possess significant osteoinSductive potential, but in order to take advantage of this effect for tissue engineering, carrier systems are essential. Successful carrier systems must enable vascular and cellular invasion, allowing BMP to act as a differentiation factor. The carrier should be reproducible, non-immunogenic, moldable, and space-providing, to define the contours of the resulting bone. The purpose of this study was to review available literature, in comparing various carriers of BMP on rat calvarial defect model. The following conclusions were deduced. 1. Bone regeneration of ACS/BMP, ${\beta}-TCP/BMP$, FFSS/BMP, $FFSS/{\beta}-TCP/BMP$, MBCP/BMP group were significantly greater than the control groups. 2. Bone density in the ACS/BMP group was greater than that in ${\beta}-TCP$, FFSS, $FFSS/{\beta}-TCP$ carrier group. 3. Bone regeneration in FFSS/BMP group was less than in ACS/BMP, ${\beta}-TCP/BMP$, MBCP/BMP group. However, New bone area of $FFSS/{\beta}-TCP/BMP$ carrier group were more greater than that of FFSS/BMP group. ACS, ${\beta}-TCP$, FFSS, $FFSS/{\beta}-TCP$, MBCP were used for carrier of BMP. However, an ideal carrier which was reproducible, non-immunogenic, moldable, and space-providing did not exist. Therefore, further investigation are required in developing a new carrier system.

Synthesis and Defect-Structure Analysis of $ThO_2-Tm_2O_3$ Solid Solutions ($ThO_2-Tm_2O_3$ 고용체의 합성 및 결함구조해석)

  • Don Kim;Chang Kwon Kang;Keu Hong Kim;Jae Shi Choi
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.31 no.6
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    • pp.491-497
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    • 1987
  • $ThO_2-Tm_2O_3$ (TDT) solid solutions containing 1,3,5,8,10, and 15 mol% $Tm_2O_3$ were synthesized from spectroscopically pure $ThO_2$ and $Tm_2O_3$ polycrystalline powders. The TDT solid solutions were indentified to the fluorite structure by the X-ray powder technique. The values of the lattice parameter were decreased with increasing amount of $Tm_2O_3$ incorporated. But, there was no linearity for the samples containing 8, 10, and 15 mol% $Tm_2O_3$. It was concluded that these samples became incomplete solid solutions. From the intensity analyses of X-ray diffraction patterns, the residual factor was found below 0.13 even for the 15 mol% TDT system. lt was confirmed from the DTA and TGA analyses that any phase transitions did not occur under the experimental condition executed. Comparing the pycnometric density with the lattice parameter obtained from XRD, it was suggested that the predominant defect model be an oxygen vacancy.

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Development of Tenderness Measurement System of Beef Carcass Using Ultrasound (초음파를 이용한 한우도체 연도 측정 시스템 개발)

  • 조성인;남기찬;임용우
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.02a
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    • pp.479-485
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    • 2002
  • 본 연구는 초음파를 이용하여 한우도체의 연도를 비파괴적이며 객관적으로 측정할 수 있는 시스템을 개발하기 위해서 수행되었다. 한우도체 연도 측정 시스템은 크게 초음파 측정장치, 자동 탐촉자 수직이동장치, 데이터 획득 및 분석장치로 구성되었는데 초음파 측정장치는 초음파 pulser/receiver 및 탐촉자, 자동 탐촉자 이동장치는 상하운동부, 구동부, 제어부, 데이터 획득 및 분석장치는 digitizer, Labview 5.1을 사용하여 구성되었다. 통합된 시스템을 이용하여 획득된 도체의 초음파 신호를 분석하기 위해 1.0~1.1 MHz의 bandpass filtering을 거쳐 hilbert 변환을 이용, envelope를 구할 수 있었으며 탐촉자와 도체의 최적 접촉 위치를 결정하기 위하여 3단계로 나누어 신호분석을 실시하였다. 시료의 개수는 40개였으며 획득된 envelope를 FFT 변환 후 PLS, PCR 분석을 수행한 결과 7단계의 PCR 분석에서 $R^2$= 0.6474의 유의성 있는 결과를 나타내었으므로 최적 접촉 위치로 결정하였다. 최적 접촉 위치를 통해 시료 80개의 추가 실험을 실시한 결과 PCR 분석에서 $R^2$= 0.4304의 결과를 나타내었으며 이를 이용, 도체의 연도를 측정하는 프로그램을 개발하고 최종 통합 시스템을 구축하였다. 본 한우도체 연도 측정 시스템의 개발을 통해 한우도체의 전단력을 예측하여 연도를 객관적으로 판정 가능할 것으로 생각되며 또한 사이즈의 확대로 도축장에 설치하는 설비로서 가능할 것이라 사료된다. 그러나 추후 좀 더 세밀한 측정과 결과의 보완을 위한 분석방법의 개선에 관한 연구가 진행되어야 할 것이다. 사용해 설계된 장치를 사용자가 쉽게 제작할 수 있도록 하였다. 공정설계프로그램을 통해 설계된 공정은 데이터베이스에 저장이 되며 장치설계프로그램에서 쉽게 이전에 설계했던 공정을 이용할 수 있도록 하여 공정 설계와 장치설계를 연계하도록 하였다.동투하시간과 비용 -종자준비부터 통마늘선별까지의 일관기계화로 투입된 주요작업의 노력은 75∼76%가 절감되고, 재배규모 3ha기준시 비용은 44-53%절감되었음. the annealing texture. Observations by TEM and EBSD revealed the formation of very fine grains of ∼1.0$\mu\textrm{m}$ after CCSS.he dislocations form local defect arrangements at the grooves permitting the substantial reduction in defect density over the remainder of the interfacial area.한 최대의 감자 재배지역을 형성하였다. 제주도는 산지지형과 따뜻한 기온으로 2기작이 가능하고, 감자가공 공장설립과 교통발달에 따른 육지 시장과의 접근이 용이해졌기 때문에 남한에서 2번째로 큰 감자재배지역이 되었다.(요약 및 결론에서 발췌)그람양성균에서 효과적이었으며, 농도별 항균력시험 결과 농도가 증가할수록 비례하여 저해율도 증가함을 알 수 있었다. 첨가농도를 달리하여 미생물의 생육도를 측정한 결과, fraction II磎꼭\ulcorner경우 그람양성균에 대해 500 ppm 이상에서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.min/+}$계

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Improvement of Grinding Efficiency in Red-Pepper Milling Using Ceramic Roller mill (고추 분쇄용 세라믹 롤 분쇄기의 분쇄효율 향상)

  • 강위수;목효균
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.02a
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    • pp.263-268
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    • 2002
  • 본 연구는 고추분쇄용 세라믹 롤 분쇄기를 이용하여 고춧가루 생산시, 분쇄효율을 향상시키고자 기존의 롤 분쇄속도 40rpm(0.352m/s)에서 80rpm(0.704%)으로 증가시키고, 기존의 롤 회전비 2:1에서 5:1로 증가시켜 고추분쇄시 전단력 증가로 분쇄능을 향상시켰고, 연구 내용의 주요 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 세라믹치형롤 분쇄속도 40rpm(0.352m/s)에서는 롤 회전비 2:1에서 1,190$\mu\textrm{m}$ 입자가 32.7%, 590$\mu\textrm{m}$ 입자가 19.7%였고, 롤 회전비를 5:1로 증가시 590$\mu\textrm{m}$ 입자가 30.9%, 420$\mu\textrm{m}$ 입자가 17.2%로 중간 미분쇄 영역의 분포가 증가하여 미분쇄 효율이 향상됨을 알 수 있었다. 2. 분쇄물의 롤 통과횟수에 따른 분쇄능은 세라믹치형롤 모두 분쇄속도 80rpm(0.704m/s)에서 분쇄물의 미분쇄능이 향상되었고, 분쇄생성물의 임계처리 횟수가 3~4차임을 분석할 수 있었다. 3. 보통 고춧가루를 생산하는데 분쇄속도 40rpm(0.352m/s), 80rpm(0.704m/s), 두 롤의 회전비 2:1, 3:1, 4:1하에서는 생산되지 않았으나, 롤 회전비 5:1에서는 분쇄속도 40rpm(0.352m/s)일 경우 7차 분쇄후에, 분쇄속도 80rpm(0.704m/s)일 경우 5차분쇄후에 생성되어 분쇄처리횟수가 2회정도 단축되어 전단력 증가로 인하여 분쇄능이 향상된 것으로 분석되었다. 4. 기존의 고춧가루 분쇄조건인 분쇄속도 40rpm(0.352m/s), 롤 회전비 2:1보다 본 연구에서 개발한 분쇄속도 80rpm(0.704m/s), 롤 회전비 5:1인 분쇄조건이, 분쇄처리 횟수 단축 등이 분석됨으로서 섬유질이 많이 포함된 고춧가루 등의 재료가공 분쇄기술이 향상된 것으로 분석되었다.. 마늘재배 일관기계화에 의한 노동투하시간과 비용 -종자준비부터 통마늘선별까지의 일관기계화로 투입된 주요작업의 노력은 75∼76%가 절감되고, 재배규모 3ha기준시 비용은 44-53%절감되었음. the annealing texture. Observations by TEM and EBSD revealed the formation of very fine grains of ∼1.0$\mu\textrm{m}$ after CCSS.he dislocations form local defect arrangements at the grooves permitting the substantial reduction in defect density over the remainder of the interfacial area.한 최대의 감자 재배지역을 형성하였다. 제주도는 산지지형과 따뜻한 기온으로 2기작이 가능하고, 감자가공 공장설립과 교통발달에 따른 육지 시장과의 접근이 용이해졌기 때문에 남한에서 2번째로 큰 감자재배지역이 되었다.(요약 및 결론에서 발췌)그람양성균에서 효과적이었으며, 농도별 항균력시험 결과 농도가 증가할수록 비례하여 저해율도 증가함을 알 수 있었다. 첨가농도를 달리하여 미생물의 생육도를 측정한 결과, fraction II磎꼭\ulcorner경우 그람양성균에 대해 500 ppm 이상에서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.min/+}$계 수컷 이형접합체 형질전환 마우스에 AIN-76A 정제사료만을 투여한 대조군은 1.40$\pm$0.24(100%)에 비하여 I3C 저농도 투여 실험군(Group 1; 0.85$\pm$0.23; 61%, P<0.01), 그리고 I3C 고농도 투여 실험군(Group 2 ; 1.32$\pm$0.29 ; 94%)의 순으로 감소하였다. 선종의 크기별 종양의 발생개수의

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Development of Vegetable Soybeans Thresher(II) - Threshing and sorting characteristic - (풋콩 탈협기 개발을 위한 기초 연구(II) - 탈협 및 선별 특성 -)

  • 김태한;임학규;이정택
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.02a
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    • pp.539-547
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    • 2002
  • 본 연구는 풋콩 탈협기 개발을 위한 기초연구로서 풋콩 탈협기의 급치를 교환할 수 있고, 급동의 주속도와 송풍팬의 회전속도 및 공기 흡입구의 개구면적을 조절할 수 있는 실험장치를 제작하고, 급치의 종류가 풋콩의 탈협 및 손상에 미치는 영향을 분석하였다. 또한 송풍팬의 회전속도와 흡입 공기구의 개구비 변화 따른 선별 성능을 분석하였다. 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1 급치의 종류에 따른 풋콩의 미 탈협율은 철선 급치가 최대 1.6%, 최소 0.0%,평균 0.7%로서 가장 낮게 나타났고, 그 다음이 경도 60의 고무제 급치로서 최대 2.0%, 최소 0.0% 평균 1.1%, 경도 80의 고무제 급치는 최대 2.5%, 최소 0.0% 평균 1.7% 순으로 높아졌다. 또한 풋콩의 미탈협율은 급동 원주속도가 18m/s에서 55m/s로 증가할수록 감소하였다. 이는 급동의 원주 속도가 증가함에 따라 급치의 선단이 풋콩 꼬투리에 가하는 타격력이 증가하기 때문인 것으로 생각된다. 2. 급치의 종류에 따른 풋콩의 손상율은 경도 80의 고무제 급치는 최대 5.2%, 최소 1.3%, 평균 2.8%로서 가장 낮게 나타났고, 그 다음이 경도 60의 고무제 급치로서 최대 5.7%, 최소 2.4% 평균 3.8%, 철선 급치는 최대 6.3%, 최소 2.6% 평균 4.2% 순으로 높아졌다. 또한 풋콩의 손상율은 급동 원주속도가 증가할수록 풋콩 꼬투리의 손상율은 증가하였다. 이 또한 급등의 원주 속도가 증가함에 따라 급치의 선단이 풋콩 꼬투리에 가하는 타격력이 증가하기 때문인 것으로 생각된다. 3. 공기흡입구의 개구면적을 증가시킬수록 선별율은 높게 나타났으나 개구비가 60%이상에서는 선별율이 크게 차이가 나지 않았으며, 송풍팬의 원주속도를 높일수록 선별율은 높게 나타났다.도 콤바인이 직선구간 및 선회구간을 주행하며 수확작업이 가능함을 알 수 있었다. 그러나 곡선구간에서는 최대오차가 65.5 cm로 매우 크게 나타나, 콤바인을 무인 자율주행으로 수확하기에는 어려움이 있는 것으로 나타났다. 실제 포장은 이론적인 완전한 직선보다는 작은 굴곡이 있는 곡선의 형태가 이루어져 있으므로 주행 오차를 감소하기 위해서는 기계시각을 이용하면 보다 정밀한 조향을 이룰 수 있을 것으로 예상된다. 포장에서 DGPS 신호, 자이로 센서 등을 이용한 콤바인의 무인주행 장치는 무인 수확작업을 위한 가능성을 보여주었고, 일부의 센서의 기능을 개선하면 만족한 성능을 나타낼 수 있을 것으로 판단된다.dislocations form local defect arrangements at the grooves permitting the substantial reduction in defect density over the remainder of the interfacial area.한 최대의 감자 재배지역을 형성하였다. 제주도는 산지지형과 따뜻한 기온으로 2기작이 가능하고, 감자가공 공장설립과 교통발달에 따른 육지 시장과의 접근이 용이해졌기 때문에 남한에서 2번째로 큰 감자재배지역이 되었다.(요약 및 결론에서 발췌)그람양성균에서 효과적이었으며, 농도별 항균력시험 결과 농도가 증가할수록 비례하여 저해율도 증가함을 알 수 있었다. 첨가농도를 달리하여 미생물의 생육도를 측정한 결과, fraction II磎꼭\ulcorner경우 그람양성균에 대해 500 ppm 이상에서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.min/+}$계 수컷 이형접합체 형질전환 마우스에 AIN-76A 정제사료만을 투여한 대조군은 1.40$\pm$

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A Study on Development of Once-Over Harvest Pepper Harvester(I) - A Fundamental Factor Test for Pepper Detachment - (일시수확형 고추수확기 개발에 관한 연구 (I) - 고추 탈과 기초요인시험 -)

  • Kim, Y. K.;Hong, J. T.;Choi, Y.;Jun, H. J.;Park, H. J.;Cho, Y. M.
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.02a
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    • pp.54-59
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    • 2002
  • 1. 일시수확형 고추의 기계수확 요인을 구명하기 위하여 4종류의 탈과장치를 제작하여 공시고추로 탈과시험을 실시한 결과 탈과장치는 방사대칭식(브러쉬형), 고추이송(공급)속도는 0.1m/s, 탈과장치 간격은 3cm, 탈과장치 회전수는 180rpm에서 정상탈과율 77.3%, 손상률 7.6% 미탈과율 3.0%로 가장 양호한 성적이 나타났다. 2. 방사대칭식(브러쉬형) 탈과장치를 이용하여 무지용 상향착과형 고추, 지주용 하향착과형 고추, 지주용 상향착과형 고추를 공시하여 고추별 탈과시험을 실시한 결과, 고추이송(공급)속도 0.1m/s, 원통사이간격 3cm, 탈과장치 회전수 180rpm에서 가장 양호한 성적이 나왔으며, 지주용 하향착과형 고추가 정상탈과률 82.7%, 손상률 7.4%, 미탈과율 2.7%로 무지주용 상향착과형 고추(52.3%, 14.3%, 12.5%)와 지주용 상향착과형 고추(77.3%, 7.6%. 3.0%)에 비해 기계수확에 적합한 것으로 나타났다. 3. 이상의 고추 기계수확 요인시험의 결과, 탈과장치는 방사대칭식(브러쉬형) 고추종류로는 하향착과형 고추가 기계수확에 바람직한 것으로 나타났으며, 수확 후 회수가 가능한 줄기부착고추를 포함한다면 고추기계수확률은 80% 이상, 꼭지가 떨어진 것이 대부분인 손상고추도 수확 후 즉시 기계건조하여 가공용으로 사용한다고 가정한다면 기계 수확률은 90% 이상 가능하지만, 이것의 수용 여부는 좀 더 폭넓은 의견수렴 및 조사가 필요하다고 사료된다. 4. 고추수확 기계화를 위해서는 실내요인 시험 결과를 토대로 포장에서 수확메커니즘 구명과 더불어 고추 과실이 크고 무지주용 하향착과형 일시수확형 고추 품종의 개발이 병행되어야 한다고 판단된다. 5) 마늘 선별작업 -마늘선별기는 작업성능이 높고 5등급으로 균일 선별되었으며 손상도 없었으나, 기계가 크고 무거워 이동이 곤란하고 가격이 비싸므로 선별등급을 3∼4단계로 줄이고 소형 농가보급형으로 개량제작이 요구됨. 나. 마늘재배 일관기계화에 의한 노동투하시간과 비용 -종자준비부터 통마늘선별까지의 일관기계화로 투입된 주요작업의 노력은 75∼76%가 절감되고, 재배규모 3ha기준시 비용은 44-53%절감되었음. the annealing texture. Observations by TEM and EBSD revealed the formation of very fine grains of ∼1.0$\mu\textrm{m}$ after CCSS.he dislocations form local defect arrangements at the grooves permitting the substantial reduction in defect density over the remainder of the interfacial area.한 최대의 감자 재배지역을 형성하였다. 제주도는 산지지형과 따뜻한 기온으로 2기작이 가능하고, 감자가공 공장설립과 교통발달에 따른 육지 시장과의 접근이 용이해졌기 때문에 남한에서 2번째로 큰 감자재배지역이 되었다.(요약 및 결론에서 발췌)그람양성균에서 효과적이었으며, 농도별 항균력시험 결과 농도가 증가할수록 비례하여 저해율도 증가함을 알 수 있었다. 첨가농도를 달리하여 미생물의 생육도를 측정한 결과, fraction II磎꼭\ulcorner경우 그람양성균에 대해 500 ppm 이상에서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.서 뚜렷한 증식억제효과를 나타내었다.

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Electrical Properties for Enhanced Band Offset and Tunneling with a-SiOx:H/a-si Structure (a-SiOx:H/c-Si 구조를 통한 향상된 밴드 오프셋과 터널링에 대한 전기적 특성 고찰)

  • Kim, Hongrae;Pham, Duy phong;Oh, Donghyun;Park, Somin;Rabelo, Matheus;Kim, Youngkuk;Yi, Junsin
    • Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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    • v.34 no.4
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    • pp.251-255
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    • 2021
  • a-Si is commonly considered as a primary candidate for the formation of passivation layer in heterojunction (HIT) solar cells. However, there are some problems when using this material such as significant losses due to recombination and parasitic absorption. To reduce these problems, a wide bandgap material is needed. A wide bandgap has a positive influence on effective transmittance, reduction of the parasitic absorption, and prevention of unnecessary epitaxial growth. In this paper, the adoption of a-SiOx:H as the intrinsic layer was discussed. To increase lifetime and conductivity, oxygen concentration control is crucial because it is correlated with the thickness, bonding defect, interface density (Dit), and band offset. A thick oxygen-rich layer causes the lifetime and the implied open-circuit voltage to drop. Furthermore the thicker the layer gets, the more free hydrogen atoms are etched in thin films, which worsens the passivation quality and the efficiency of solar cells. Previous studies revealed that the lifetime and the implied voltage decreased when the a-SiOx thickness went beyond around 9 nm. In addition to this, oxygen acted as a defect in the intrinsic layer. The Dit increased up to an oxygen rate on the order of 8%. Beyond 8%, the Dit was constant. By controlling the oxygen concentration properly and achieving a thin layer, high-efficiency HIT solar cells can be fabricated.

A Study on the Characteristics of Electro Polishing and Utility Materials for Transit High Purity Gas (청정도 가스 이송용 재료의 특성과 전해연마에 관한 연구)

  • Lee, Jong-Hyung;Park, Shin-Kyu;Yang, Seong-Hyeon
    • Journal of the Korean Society of Industry Convergence
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    • v.7 no.3
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    • pp.259-263
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    • 2004
  • In the manufacture progress of LCD or semiconductor, there are used many kinds of gas like erosion gas, dilution gas, toxic gas as a progress which used these gas there are required high puritize to increase accumulation rate of semiconductor or LCD materials work progress of semiconductor or LCD it demand many things like the material which could minimize metallic dust that could be occured by reaction between gas and transfer pipe laying material, illumination of the surface, emition of the gas, metal liquation, welding etc also demand quality geting stricted. Material-Low-sulfur-contend (0.007-0010), vacuum-arc-remelt(VAR), seamless, high-purity tubing material is recommend for enhance welding lower surface defect density All wetted stainless steel surface must be 316LSS elecrto polishinged with ${\leq}0.254{\mu}m$($10.0{\mu}in$) Ra average surface finish, $Cr/Fe{\geq}1.1$ and $Cr_2O_3$ thickness ${\geq}25{\AA}$ From the AES analytical the oxide layer thickness (23.5~36 angstroms silicon dioxide equivalent) and chromum to iron ratios is similar to those generally found on electropolished stainless steel., molybdenum and silicon contaminants ; elements characteristic of stainless steel (iron, nickel and chromium); and oxygen were found on the surface Phosphorus and nitrogen are common contaminants from the electropolish and passivation steps.

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게이트 유전체용 $HfO_2$ 박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구

  • Kim, Ju-Yeong;Kim, Su-In;Lee, Gyu-Yeong;Gwon, Gu-Eun;Kim, Min-Seok;Eom, Seung-Hyeon;Jeong, Hyeon-Jin;Jo, Yong-Seok;Park, Seung-Ho;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.291-292
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    • 2012
  • MOSFET 구조에서 metal oxide에 기반을 둔 게이트 유전체의 연구는 실리콘(Si)을 기반으로 한 반도체 발명이래로 가장 인상적인 발전을 이뤄 왔다. 이는 metal oxide의 높은 유전상수 특성이 $SiO_2$보다 우수하고, 유전체 박막의 두께 감소로 인한 전기적 특성 저하를 보완하기 때문이다. 특히 지난 10년 동안, Hafnium에 기반을 둔 $HfO_2$는 차세대 반도체용 유전 물질로 전기적 구조적 특성에 대한 연구가 활발히 진행되어왔다. 그러나 현재까지 $HfO_2$에 대한 nano-mechanical 특성 연구는 미미하여 이에 대한 연구가 필요하다. 이에 본 연구에서는 Hf 및 $HfO_2$ 박막의 증착 및 열처리 조건을 다르게 하여 실험을 진행하였다. 시료는 rf magnetron sputter를 이용하여 Si 기판위에 Hafnium target으로 산소유량(4, 6 sccm)을 달리하여 증착하였고, 이후 furnace에서 400에서 $800^{\circ}C$까지 질소분위기에서 20분간 열처리를 실시하였다. 실험결과 산소 유량을 6 sccm으로 증착한 시료의 current density 성능이 모든 열처리 과정에서 증가하였다. Nano-indenter로 측정하고 Weibull distribution으로 정량적 계산을 한 경도 (Hardness)는 as-deposited 시료를 기준으로 $400^{\circ}C$에서는 감소했으나 온도가 높아질수록 증가하였다. 특히, $400^{\circ}C$ 열처리한 시료에서 산소농도에(4 sccm : 5.35 GPa, 6 sccm : 6.15 GPa)따른 두 시료간의 변화가 가장 두드러졌다. 반면에, 탄성계수 (Elastic modulus)는 산소농도 6 sccm을 넣고 증착된 시료들이 4 sccm을 넣고 증착한 시료보다 모두 높은 값을 나타냈다. 또한, $800^{\circ}C$ 열처리한 시료에서 산소농도에(4 sccm : 128.88 GPa, 6 sccm : 149.39 GPa)따라 표면의 탄성에 큰 차이가 있음을 확인하였다. 이는 증착된 $HfO_2$ 시료들이 비정질 상태에서 $HfO_2$로 결정화되는 과정에서 산소가 증가할수록 박막의 defect이 감소되기 때문으로 사료된다.

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