Charateristic of ultrathin ITO films deposited with various SnO2 content by RF superimposed DC magnetron sputtering (DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 물성 변화)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 2012.05a
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- pp.209-209
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- 2012