한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.99-100
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- 2007
마그네트론 스퍼터링법으로 저온 증착한 IZO 박막의 특성 및 유연성 소자 적용
Study on IZO films deposited by magnetron sputtering at low temperature and its application for flexible display
초록
마그네트론 스퍼터링법을 이용하여
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