Dielectric Barlier Discharge type 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 $SiO_2$ 식각에 관한 연구
(Plasma etching of $SiO_2$ using dielectric barrier discharge in atmospheric pressure)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.95-95
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- 2009