대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

Dielectric-Barrier Discharge 대기압 플라즈마 Jet의 전기-광학적 특성 및 응용

Electrical and optical characterization of DBD atmospherci pressure plasma and it's applications

  • 하창승 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 손지한 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 박차수 (동의과학대학 전기과) ;
  • 김동현 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Ha, Chang-Seung (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Son, Ji-Han (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Park, Cha-Soo (Dong-Eui Institute of Technology) ;
  • Kim, Dong-Hyun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Hae-June (Department of Electrical Engineering, Pusan National University) ;
  • Lee, Ho-Jun (Department of Electrical Engineering, Pusan National University)
  • 발행 : 2011.07.20
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초록

$SiO_2$ 상압 증착을 위해서 Dielectric-Barrier Diacharge를 이용한 대기압 플라즈마 Jet 상압 증착 시스템을 개발하였으며, 제작된 플라즈마에 대한 전기-광학적 특성을 분석하였다. 플라즈마 Jet은 방전 구동 gas와 증착을 위한 혹합 gas가 나오는 stainless-steel관과 유리관 그리고 외부전극으로 구성되어있다. 구동 주파수는 수십 kHz대 이고 인가전압은 1~2 $kV_{rms}$이다. 본 연구에서는 ICCD 고속 카메라를 이용하여 플라즈마의 형상을 관찰하였고, OES 분석을 통해 radical들의 분석과 rotational temperature 측정을 하였다. Driving gas인 He은 1~5 SLM의 유속으로 흘려주었으며 발생된 플라즈마의 온도는 조건에 따라서 400~850 K 이다.

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