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Cu가 흡착된 $Si(100)-2\times1$ 표면의 원자구조 및 전자구조 연구 (Studies on the Atomic and Electronic Structures of Cu Adsorbed $Si(100)-2\times1$ Surface)

  • 박래준;김정선;황찬국;안기석;박종윤
    • 한국진공학회지
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    • 제7권4호
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    • pp.293-299
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    • 1998
  • Cu가 흡착된 Si(100)2$\times$1 표면의 원자구조와 전자구조를 연구하기 위해 기판온도와 증착량을 변화시키면서 각 조건에 대해서 LEED 패턴과 수직방향($\theta e=0^{\circ}$)UPS스펙트럼을 분석했다. UPS스펙트럼들에는 상온증착했을 때 1.3ML 이하 증착량에서 실리사이드와 관련 된 전자구조가 약하게 나타났고, 증착량을 증가시킴에 따라 Cu 3d 밴드의 세기가 급격히 증가하였다. 실리사이드 형성을 나타내는 전자구조는 상온증착 후 $300^{\circ}C$이상 열처리 하거나 기판온도 $400^{\circ}C$에서 증착했을 때 더욱 뚜렷이 구분되어 관찰 되었다. 이 전자구조들은 실리 사이드의 유리 및 탈착온도인 $750^{\circ}C$로 열처리 했을 때 사라졌다. 특히, 기판온도 $400^{\circ}C$에서 증착하면 낮은 증착량에서는 페르미 준위를 지나는 표면상태 피크가 관측되었다. Rigid band model에 따르면 이 피크는 표면의 비어있는 전자상태(surface empty state)에 Cu의 4s1전자가 채워지면서 생기는 것으로 여겨진다. LEED패턴 관찰에서는 상온증착 및 상온증 착 후 열처리 했을 때 Cu에 의한 초격자상은 관찰되지 않았지만, 기판의 온도를 변화시키면 서 증착하였 때 기판온도에 따라 Cu에 의한 여러 가지 초격자상이 관찰되었다. 즉, $400^{\circ}C$에 서 1.5ML증착하면 청정표면 2$\times$+2$\times$2, $450^{\circ}C$에서 0.5ML증착하면 청정표면 2$\times$+5$\times$1, $450^{\circ}C$ 에서 3ML증착하면 청정표면 2$\times$1+2$\times$2+5$\times$5+10$\times$2등 LEED패턴을 관찰할 수 있었다.

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RTN과 Wet Oxidation에 의한 $Ta_2O_5$의 전기적 특성의 최적화

  • 정형석;임기주;양두영;황현상
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.104-104
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    • 2000
  • MOS소자의 크기가 작아짐에 따라 gate 유전막의 두께 또한 얇아져야 한다. 두께가 얇아짐에 따라 gate 유전막으로써 기존의 SiO2는 direct tunneling으로 인해 높은 누설전류를 수반한다. 그래서 높은 유전상술르 가지는 물질들에 대한 연구의 필요성이 대두되고 있다. 그중 CVD-Ta2O5는 차세대 MOSFET소자기술에 있어서 높은 유전상수($\varepsilon$r+25)와 우수한 step coverage 때문에 각광을 받고 있는 물질중에 하나이다. 본 연구에서는 Ta2O5를 gate를 유전막으로 사용하고 RTN처리와 wet oxidation을 접목시켜 이들의 전기적인 특성을 향상시킬 수 있었다. p-형 wafer 위에 D2와 O2를 사용하여 SiO2(100 )를, NH3를 이용하여 Nitridation(10 )을 전처리로써 각각 실시하였고 그 위에 MOCVD방법으로 Ta2O5를 80 성장시켰다. 첫 번째 시편은 45$0^{\circ}C$ 10min동안 wet oxidation을 시켰고, 두 번째 시편은 $700^{\circ}C$ 60sec동안 NH3 분위기에서 RTN 처리를 하였다. 세 번째 시편은 동일조건으로 RTN 처리후 wet oxidation을 하였다. 그 후 각각의 시편을 capacitor를 제작하고 그 전기적 특성을 관찰하였다. Wet oxidation만을 시킨 시편은 as-deposited Ta2O5 시편에 비해서 -1.5V에서 누설전류는 약 2~3 order정도 감소되었고 accumulation 영역에서의 capacitance 값은 oxide층의 성장(5 )을 무시하면 거의 변화하지 않았다. RTN처리만 된 시편의 경우는 -1.5V에서 누설전류는 2~3order 정도 증가되었지만, accumulation 영역에서 capacitance 값은 거의 2qwork 증가하였다. 이 두가지 공정을 접목시킨 즉 RTN 처리후 wet oxidation 처리된 시편의 경우는 as-deposited Ta2O5 시편에 비해서 -1.5V에서 누설전류는 1 order 정도 감소하였고, accumulation 지역에서의 capacitance 값은 약 2배 증가하였다. 즉 as deposited Ta2O5 시편의 accumulation 지역의 capacitance 값은 12.8 fF/um2으로써 그 유효두께는 27.0 이었지만, RTN 처리후에 wet oxidation 시킨 시편의 accumulation 지역의 capacitance값은 21.2fF/um2으로써 그 유효두께는 16.3 이 되었다. 결론적으로 as deposited Ta2O5 시편에 RTN 처리후 wet oxidation을 실시한 결과 capacitance 값이 약 2배정도 증가하였고 누설전류는 약 1 order 정도 감소됨을 확인하였다.

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간암환자를 대상으로 한 래피드아크 치료계획에서 아크수 및 회전범위가 선량분포에 미치는 영향 (Effects of Arc Number or Rotation Range upon Dose Distribution at RapidArc Planning for Liver Cancer)

  • 박혜진;김미화;전미선;오영택;서태석
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제21권2호
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    • pp.165-173
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    • 2010
  • 본 논문에서는 간암 환자를 대상으로 3차원입체조형치료와 세기조절방사선치료와 3종류의 래피드아크 치료를 위한 치료계획을 수행하여 각각의 선량분포와 선량 체적 히스토그램(Dose Volume Histogram, DVH)의 특성을 비교, 평가하고 이를 통해 래피드아크 치료 환자에 대한 적절한 갠트리 회전수의 범위를 제시하고자 하였다. 치료계획은 작은 종양의 용적을 가지며 내부 장기 및 종양의 움직임이 비교적 작은 간암환자를 대상으로 3차원입체조형치료와 세기조절방사선치료와 더블아크(double arcs)와 제한적인 트리플아크(limited triple arcs)와 멀티플아크(multiple arcs)치료에 대해 Eclipse 8.6 버전에서 시행하였다. 또한 치료계획 시 임상표적용적(Clinical Target Volume, CTV)과 치료표적용적(Planning Target Volume, PTV)에 동일한 최적화 조건을 적용하였고, 각각의 정상조직에는 개별적인 선량 제한치 적용대신 종양 주변 정상조직에서의 선량 감소율을 일괄적으로 적용하였다. 임상표적용적과 치료표적용적의 전체 몸에 적용한 치료계획 선량 제한치에 대한 실제 계산결과의 만족도는 래피드아크가 세기조절방사선치료보다 높았으며 래피드아크에서 더블아크와 제한적인 트리플아크와 멀티플아크는 만족도가 거의 동일하였다. 또한 각 치료계획에서 치료표적용적에 계획한 선량 제한치에 따라 SALT group이 제안한 Conformity Index (CI)가 0.98인 선량 분포범위에 처방선량을 결정하였다. 이때 RTOG에서 제안한 CI, Homogeneity Index (HI), Quality of Coverage (QOC)와 Lomax and Scheib에서 제안한 Healthy tissue conformity index (HTCI) 등을 평가하였다. 항목별로 차이는 있지만 총체적인 평가 결과는 멀티플아크가 전체적으로 좋았으며 모니터 단위 값의 비교에서도 멀티플아크가 가장 작았다. 본 연구를 통하여 래피드아크 치료는 기존에 시행하고 있는 3차원입체조형치료 또는 세기조절방사선치료 기법보다 더욱 최적의 선량 분포를 구현한다는 것을 알 수 있었다. 또한 래피드아크 치료계획에서 멀티플아크 치료계획은 더블 또는 제한된 트리플아크 치료계획보다 모니터 단위 값이 작고, 선량의 균질성 및 종양내의 최소선량은 비슷하거나 좋아지는 동시에 주변 정상조직에는 선량이 감소되는 것을 알 수 있었다.

시화 방조제 건설 이후 시화호 다모류의 종 조성 몇 서식밀도 변화 (Temporal and Spatial Changes in the Species Composition and Abundance of Benthic Polychaetes after the Construction of Shihwa Dike (West Coast of Korea))

  • 류종성;최진우;강성길;고철환;허성회
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제2권2호
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    • pp.101-109
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    • 1997
  • 시화 방조제 건설 이후, 1994년 3월부터 1996년 8월까지 시화호의 저서 다모류의 종 조성 및 서식 밀도, 우점종의 시공간적 변화를 조사하였다. 1994년 3월, 6월, 9월 12월, 1995년 3월, 10월 그리고 1996년 2월, 8월에 총 8회에 걸쳐 입구면적 0.1 $m^2$인 반빈 채니기를 이용하여 크기 1 mm 이상인 저서동물을 채집하였다. 저서동물중 출현 종수의 59%와 서식 밀도의 80%를 점하는 저서 다모류는 조사 시기 동안 1~22종으로 총 43종이 출현하였으며, 종수는 시간이 지날수록 계속 감소하는 경향이 뚜렷하였다. 다모류의 전체 평균 서식밀도는 $794{\pm}1,275\;indiv.{\cdot}m^{-2}$이었으며, 조사 시기별로 심한 변화를 보였다. 이는 총 서식 밀도의 83%를 점하는 오염 지시종인 Polydora ligni의 번식과 소멸에 의한 것이다. 역시 오염 지시종으로 알려진 Pseudopolydora kempi가 평균 31 $indiv.{\cdot}m^{-2}$로 Capitella capitata가 평균 23 $indiv.{\cdot}m^{-2}$로 우점하였다. 종다양성(H') 및 우점도 지수(D) 등 생태지수의 시기별 변화 역시 시화호에 서식하는 다모류의 종류가 감소하고 몇몇 종에 의해 점차 우점함을 반영하였다. 시화호 안쪽부터 방조제 부근의 지역으로 무생물대가 점차 확산하는 경향이 있었다. 출현 종수의 감소, 오염 지시종의 일시적인 대량 번식과 소멸 그리고 무생물대의 존재는 시화호의 저서환경이 심하게 오염되었음을 시사한다.

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임도 절토 비탈면의 안정과 식생활착에 미치는 환경인자의 영향 (Effects of Environmental Factors on the Stability and Vegetation Survival in Cutting Slope of Forest Roads)

  • 정원옥
    • 한국환경복원기술학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.74-83
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    • 2001
  • The purpose of this study was investigate to the influence of forest roads characteristics and environment factors on the soil erosion, stability and vegetation survival of cut slope in forest roads. The results obtained could be summarized as follows; 1. The correlated factors between slope erosion and variables in cut slope were altitude, convex, degree of slope, length of slope and soil depth. In the stepwise regression analysis, length of slope and soil hardness was a high significant and its regression equation was given by -89.6136 + 15.0667X14 + 16.6713X15($R^2$ = 0.6712). 2. The main factors influencing the stability of cut slope were significant in order of coverage, middle, convex, length of slope and north, and its discriminant equation was given by -1.019 + 0.064X22 - 0.808X8 - 0.622X24 + 0.742X11 - 0.172X14 - 0.545X6 ($R^2$ = 0.793). 3. The centroids value of discriminant function in the stability and unstability estimated to 1.244 and -1.348, respectively. The boundary value between two groups related to slope stability was -0.1038. The prediction rate of discriminant function for stability evaluation of was as high as 91.3%. 4. The dominant species of invasion vegetation on the cut slope consist with Carex humilis, Agropyron tsukushiense var. transiens, Calamagrostis arundinacea, Miscanthus sinensis var. purpurascens, and Ixeris dentata in survey area. The rate of vegetation invasion more increased by time passed. 5. The life form of invasion vegetation in cut slop showed to $H-D_1-R_{2,3}-e$ type of the hemicryptophyte of dormancy form, dissem inated widely by wind and water of dissminule type, moderate extent and narrowest extent of radicoid type, erect form of growth form. 6. The correlated factors between forest enviroment and coverage appeared north, passage years and middle position of slope at 5% level. The forest environment factors influencing the invasion plants in survey area were shown in order to altitude, passage years, rock(none), forest type(mixed) and stone amount. The regression equation was given by 17.5228 - 0.0911X3 + 3.6189X28 15.8493X22 19.8544X25 + 0.3558X26 ($R^2$ = 0.4026).

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한반도 특산식물 꼬리말발도리 개체군 구조 및 서식지 특성 (Population Structure and Habitat Characteristics of Deutzia paniculata Nakai, as an Endemic Plant Species in Korea)

  • 정지영;피정훈;박정근;정미진;김은혜;서강욱;이철호;손성원
    • 생태와환경
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    • 제49권1호
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    • pp.31-41
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    • 2016
  • 꼬리말발도리는 한반도 특산식물임에도 불구하고 종의 분포, 개체군 및 자생지 특성, 그리고 이것에 기초한 종 보전 연구를 찾아보기 어렵다. 본 연구는 꼬리말발도리를 대상으로 종 분포 및 생태 특성을 분석하였다. 꼬리말발도리의 분포 특성은 문헌, 표본 및 현장 조사 자료를 참고하였다. 현장 조사는 6개 지역에서 11개의 대방형구 ($15{\times}15m$)와 33개 소방형구 ($5{\times}5m$)의 자생 집단을 대상으로 2014년 5월부터 10월까지 실시하였다. 개체군 특성으로 풍부성(밀도, 피도), demographic 속성 (개화율 및 결실율)이 조사되었으며, 자생지 특성으로 식생 (구조 및 종조성), 임내광량 (광량, 수관열림도) 및 토양 (온 습도, 이화학 속성) 특성을 분석하였다. 꼬리말발도리는 경상도 (강원도 태백 포함)가 분포 중심이었으며, 넓은 해발 분포 범위 (평균 493 m, 및 해발 290~959 m 범위)를 나타내었다. 꼬리말발도리 자생지의 평균 사면경사는 $16^{\circ}$ ($7{\sim}35^{\circ}$ 범위)이었으며, 주로 너덜 계곡 입지 및 그곳과 접한 사면하부에 분포하였다. 꼬리말발도리 개체군의 소방형구 ($5m{\times}5m$) 내에서 평균 12.5개체가 출현하였고, $m^2$당 평균밀도는 0.5를 보였다. 평균 개화율은 15%로 낮은 개화율을 보이며 영양생식에 의한 번식이 빈번히 이루어지는 것으로 판단된다. 꼬리말발도리 자생지의 조사구 수준 식물상은 138분류군이었다. 꼬리말발도리 자생지의 식생은 너덜 입지환경을 잘 반영하는 층층나무 (중요치 25.5%) 및 물푸레나무 (중요치 15.8%)가 우점하는 서식지로 나타났다. 층층나무 유형은 급경사 지역, 그리고 물푸레나무 유형은 주로 높은 해발고도에 분포하는 특성이 관찰되었다. 연구 결과, 꼬리말발도리는 인간 활동보다는 범람과 같은 자연 교란, 기후변화 및 진화 생태학적인 요인에 의해 개체수의 변동이 예상되는 종으로 판단되며, 개체군 및 자생지의 지속성을 위협하는 뚜렷한 증거는 찾아볼 수 없었다.

Association of Lower Socioeconomic Status and SARS-CoV-2 Positivity in Los Angeles, California

  • Allan-Blitz, Lao-Tzu;Goldbeck, Cameron;Hertlein, Fred;Turner, Isaac;Klausner, Jeffrey D.
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제54권3호
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    • pp.161-165
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    • 2021
  • Objectives: Severe acute respiratory syndrome coronavirus 2 (SARS-CoV-2) spreads heterogeneously, disproportionately impacting poor and minority communities. The relationship between poverty and race is complex, with a diverse set of structural and systemic factors driving higher rates of poverty among minority populations. The factors that specifically contribute to the disproportionate rates of SARS-CoV-2 infection, however, are not clearly understood. Methods: We evaluated SARS-CoV-2 test results from community-based testing sites in Los Angeles, California, between June and December, 2020. We used tester zip code data to link those results with United States Census report data on average annual household income, rates of healthcare coverage, and employment status by zip code. Results: We analyzed 2 141 127 SARS-CoV-2 test results, of which 245 154 (11.4%) were positive. Multivariable modeling showed a higher likelihood of SARS-CoV-2 test positivity among Hispanic communities than among other races. We found an increased risk for SARS-CoV-2 positivity among individuals from zip codes with an average annual household income

전립선암 방사선치료 시 회피 영역을 적용한 혼합 에너지 VMAT 치료 계획의 평가 (Feasibility of Mixed-Energy Partial Arc VMAT Plan with Avoidance Sector for Prostate Cancer)

  • 황세하;나경수;이제희
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제32권
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    • pp.17-29
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    • 2020
  • 목 적: 전립선 방사선 치료 시 회피 영역을 지정한 혼합 에너지(Mixed Energy Partial Arc, MEPA) VMAT 치료 계획의 선량평가를 통해 임상 적용 가능성을 평가한다. 대상 및 방법: 전립선암 환자 9명을 대상으로 치료 장비 True Beam Stx(Varian Medical System, USA), 치료 계획시스템(Eclipse, Varian Medical System, USA)을 이용하여 치료 계획용적(PTV)에 2.5Gy, 30회로 총 선량 70Gy를 처방하여, 회피 영역을 지정한 혼합 에너지 치료 계획과 6MV 1 ARC, 6MV, 10MV 그리고 15MV 2 ARC 치료 계획과 비교 분석하였다. 혼합 에너지 치료 계획은 첫 번째 ARC에서 갠트리 각도 180°~230°, 310°~50°은 6MV로 지정하고 230°~310°, 50°~130°는 회피 영역으로 지정하였고 두 번째 ARC에서 갠트리 각도 130°~50°, 310°~230°는 에너지 15MV로 설정 후 50°~310°는 회피 영역으로 지정하였다. 2가지 치료 계획을 각각 최적화 및 선량 계산 후 Sum plan을 생성하였다. 각각의 치료 계획은 선량체적히스토그램(Dose Volume Histogram, DVH)을 이용하여 PTV의 최대선량, 평균선량, D2%, 처방 선량 지수(Conformity Index, CI), 선량 균질 지수(Homogeneity Index, HI) 및 손상위험장기(Organ at Risk, OAR)의 선량을 분석하였다. 또한 monitor unit(MU)와 치료시간(beam on time)을 분석하였다. 결 과: MEPA 치료 계획은 PTV에서 최대선량, 평균선량, D2%값은 75.86±0.47, 71.95±0.51, 73.92±0.45로 6MV 1 ARC 계획보다 낮은 값(전체 p<0.0005)을 보였고 6MV, 10MV, 15MV 2 ARC 치료 계획과의 비교에서 최대선량은 평균 차이 각각 0.24%, 0.39%, 0.60%(p<0.450, 0.321, 0.139), D2% 값 0.42%, 0.49%, 0.59%(p<0.073, 0.087, 0.033)로 높게 분석되었다. 평균선량은 10MV 2 ARC 치료 계획보다 0.09%(p<0.615) 낮았지만 6MV 2 ARC와 15MV 2 ARC와의 비교에서 각각 0.27%, 0.12%(p<0.184, 0.521) 높게 나타났다. HI는 0.064±0.006로 가장 낮은 값으로 분석(p<0.005) 되어 가장 좋은 균질도를 보이며 CI는 MEPA에서 1.12±0.038, 6MV 1 ARC, 6MV, 10MV, 15MV 2 ARC 각각 1.12±0.036, 1.11±0.024, 1.11±0.030, 1.12±0.027로 모든 치료 계획에서 유사한 값으로 분석되었다. 직장 선량은 MEPA가 모든 선량 분석 파라미터에서 낮은 값으로 분석되었다. 특히 V70Gy, V50Gy, V30Gy, V20Gy은 3.40, 16.79, 37.86, 48.09으로 직장에 조사되는 저 선량 영역의 체적을 의미 있는 만큼 줄일 수 있었다. 방광선량은 V30Gy, V20Gy이 다른 치료 계획에 비해 낮은 값을 보였다. 하지만 양측 대퇴골두 비교에서 MEPA는 평균선량 9.69±2.93, 9.88±2.5로 비교된 치료 계획에 비해 2.8Gy~3.28Gy 높은 값을 보였다. 평균 MU값은 MEPA가 6MV 1 ARC보다 19.53%, 10MV 2 ARC에 비해 5.7% 감소하였다. 결 론: 저에너지 X선(6MV)과 고에너지 X선(15MV)을 사용 한 MEPA는 각각 에너지의 장점을 취해 비교한 치료 계획보다 개선된 HI와 동등한 CI값으로 분석되어 만족할 만한 PTV coverage를 보였으며 방광과 직장을 보호하는데 효과적이라고 생각된다.

CO2 가스 기포 누출 탐지 기술 개발을 위한 예비 연구 (A preliminary study on the development of detection techniques for CO2 gas bubble plumes)

  • 금병철;조진형;신동혁
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제38권9호
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    • pp.1163-1169
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    • 2014
  • $CO_2$ 가스 기포 탐지 기술 개발을 위한 예비연구로 인위적으로 발생시킨 수층의 $CO_2$ 가스 기포 플룸을 다중빔음향측심기, 단일빔음향측심기 그리고 천부지층탐사기(SBP)를 이용해서 탐지 비교하였다. 인위적으로 발생시킨 기포의 상승속도는 가스 탱크에서 압축된 가스의 강제적인 누출이 영향을 미쳐 기존 자료보다 높게 나타나는 것으로 판단된다. 다중빔음향측심기는 단일빔 음향장비에 비하여 넓은 범위를 탐지할 수 있고 가스 누출 위치 및 수층에서 가스 플룸의 3차원적인 정보를 제공하고 있다. 따라서 다중빔음향측심기는 단일빔의 음향장비 보다 더 뚜렷한 가스 플룸을 탐지할 수 있으나, 상호보완적으로 동시에 운영하면 보다 효과적인 탐지기술을 확립할 수 있다. 향후, 본 연구는 특정가스의 음향학적 특징을 파악하여 정량적, 정성적 탐지 기술 향상에 기여하고자 한다.

A study on the in-vitro wear of the natural tooth structure by opposing zirconia or dental porcelain

  • Jung, Yu-Seok;Lee, Jae-Whang;Choi, Yeon-Jo;Ahn, Jin-Soo;Shin, Sang-Wan;Huh, Jung-Bo
    • The Journal of Advanced Prosthodontics
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    • 제2권3호
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    • pp.111-115
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    • 2010
  • PURPOSE. This study was conducted to evaluate clinical validity of a zirconia full-coverage crown by comparing zirconia's wear capacity over antagonistic teeth with that of feldspathic dental porcelain. MATERIALS AND METHODS. The subject groups were divided into three groups: the polished feldspathic dental porcelain group (Group 1), the polished zirconia group (Group 2), and the polished zirconia with glazing group (Group 3). Twenty specimens were prepared from each group. Each procedure such as plasticity, condensation, and glazing was conducted according to the manufacturer's manual. A wear test was conducted with 240,000 chewing cycles using a dual-axis chewing simulator. The degree of wear of the antagonistic teeth was calculated by measuring the volume loss using a three-dimensional profiling system and ANSUR 3D software. The statistical significance of the measured degree of wear was tested with a significant level of 5% using one-way ANOVA and the Tukey test. RESULTS. The degrees of wear of the antagonistic teeth were $0.119{\pm}0.059\;mm^3$ in Group 1, $0.078{\pm}0.063\;mm^3$ in Group 3, and $0.031{\pm}0.033\;mm^3$ in Group 2. Statistical significance was found between Group 1 and Groups 2 and between Group 2 and 3, whereas no statistical significance was found between Group 1 and Group 3. CONCLUSION. Despite the limitations of this study on the evaluation of antagonistic teeth wear, the degree of antagonistic tooth wear was less in zirconia than feldspathic dental porcelain, representing that the zirconia may be more beneficial in terms of antagonistic tooth wear.