• Journal of Welding and Joining
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• 제20권5호
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• pp.93-98
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• 2002

The effect of bonding misfit on single crystallization of transient liquid phase (TLP) bonded joints of single crystal superalloy CMSX-2 was investigated using MBF-80 insert metal. The bonding misfit was defined by (100) twist angle (rotating angle) at bonded interface. TLP bonding of specimens was carried out at 1523K for 1.8ks in vacuum. The post-bond heat treatment consisted of the solution and sequential two step aging treatment was conducted in the Ar atmosphere. The crystallographic orientation analysis across the TLP bonded joints was conducted three dimensionally using the electron back scattering pattern (EBSP) method. EBSP analyses f3r the bonded and post bonded heat treated specimens were conducted. All bonded joints had misorientation centering around the bonded interface for as-bonded and post-bond heat treated specimens with rotating angle. The average misorientation angle between both solid phases in bonded interlayer was almost identical to the rotating angle at bonded interface. HRTEM observation revealed that the atom arrangement of both solid phases in bonded interlayer was quite different across the bonded interface. It followed that grain boundary was formed in bonded interface. It was confirmed that epitaxial growth of the solid phase occurred from the base metal substrates during TLP bonding and single crystallization could not be achieved in joints with rotating angle.

• 한국자기학회지
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• 제9권5호
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• pp.256-262
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• 1999

DC/RF magnetron sputtering system을 이용하여 CoCr 박막 및 CoCrMo 박막의 Si 하지층의 도입에 따른 자기적 특성 및 미세구조의 변화에 대해 살펴보았다. 박막의 자기적 특성을 VSM을 통하여 측정한 결과, 고온에서 증착된 CoCrMo/Si 박막의 경우가 CoCr/Si 박막과는 달리 Si 하지층의 두께가 증가할수록 수직보자력값이 증가하는 것을 알 수 있었으며 AFM과 SEM을 이용한 surface morphology의 변화를 통하여 결정립 미세화와 균일화가 수직보자력을 증진시킴을 알 수 있었다. 또한, 박막의 결정배향성 및 미세구조를 XRD와 SEM을 통하여 관찰한 결과, CoCrMo/Si 박막의 (0002)우선 배향성이 CoCr/Si 박막의 (0002) 우선 배향성보다 상당히 크게 증진된 것을 볼 수 있었으며, SEM의 단면 측정을 통하여 CoCrMo/Si 박막과 CoCr/Si 박막의 기판 표면에서 성장하는 columnar 구조의 발달을 잘 관찰할 수 있었다.

• 한국진공학회지
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• 제12권4호
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• pp.214-217
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• 2003

본 연구에서는 박막 증착시 발생되는 $\gamma$-전자와 같은 고에너지 입자들의 막 충돌에 의한 손상이 적은 대향타겟식 스퍼터링 장치를 이용하여 $SiO_2$/Si 기판강에 ZnO 박막을 제작하였으며, 막의 결정성에 악 영향을 미치는 초기 성장층을 제어 할 수 있는 ZnO buffer-layer를 도입하여 박막의 결정학적 특성을 알아보았다. 제작된 박막의 결정성 및 c-축 우선배향성은 XRD를 사용하여 측정하였다. 측정 결과 ZnO buffer layer의 두께 10, 20 nm와 가스압력 1 mTorr일 때 ZnO 박막의 결정성이 가장 우수함을 알 수 있었다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제40권1호
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• pp.23-31
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• 2016

본 연구에서는 연성 금속재료의 판상형 인장 시편에 대한 동적 물성을 측정하기 위한 인장형 홉킨슨 바(TSHB, Tensile split Hopkinson bar)의 수정 방법에 대해 논의하고, 이를 이용하여 고순도 알루미늄 단결정 및 멀티결정재의 동적 물성을 측정하였다. 시편의 초기 미세조직 및 결정학적 방위는 전자후방 산란회절(EBSD, Electron backscattered diffraction) 분석을 통하여 측정하였으며, 동적 변형 후 파단 형상을 광학 현미경을 통하여 확인하였다. 고속인장 변형 중 시편 내부에 발생하는 변형 분포는 디지털 이미지 상관(DIC, Digital image correlation) 기법을 이용하여 측정하였다. 이를 통해 동적 변형 중 나타나는 알루미늄의 거시적인 소성 변형과 결정학적 방위 및 미세 조직과의 상관관계에 대해 논의하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.361-361
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• 2010

The separated quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) and ($5{\times}5$) phases on vicinal Si(557) surfaces were successfully realized by changing the crystallographic orientation and thermal treatment conditions. A small change in the crystallographic orientation of the Si(557) surface stabilized the quasi-one-dimensional ($5{\times}5$) phase of a (111) facet on vicinal Si(557) surfaces and made it coexist with a quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) phase after an optimal thermal treatment, whereas only the quasi-one-dimensional ($7{\times}7$) phase was stable on the Si(557) surface. Interestingly, this causes the (111) terraces with different widths (L) to prefer only one of the $5{\times}5$ (L=12) and $7{\times}7$ (L=9) phases resulting in long-range order of both phases along the step edge direction, which was observed by scanning tunneling microscopy (STM) and was supported by first principle calculations. In contrast, the quasi-one-dimensional ($5{\times}5$ and ($7{\times}7$) phases were arranged randomly across the step edge direction. The change of surface morphology of vicinal Si(557) surfaces will be discussed with STM images and theoretical calculations by changing crystallographic cutting angles and thermal treatment conditions.

• 한국세라믹학회지
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• 제41권2호
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• pp.106-110
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• 2004

NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터로 상온에서 Si(100) 기판 위에 NiO 박막을 증착시켜, 스퍼터 가스의 산소 유량비가 NiO 박막의 결정 배향성과 표면 형상에 미치는 영향을 조사하였다. Ar 가스에서 증착된 NiO 박막은 높은결정화도와 (100)면의 우선 배향성을 나타내었으나, $O_2$ 가스에서 증착된 경우에는 (111)면의 우선 배향성을 보였으며 그 증착속도도 감소하였다. 스퍼터 가스의 $O_2$ 함량에 따른 NiO 박막의 결정성과 우선배향성 변화에 대한 요인을 고찰하였으며, 박막의 표면 형상과 거칠기의 변화를 조사하였다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제31권2호
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• pp.36-44
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• 2024

구리 전해 도금 기술은 반도체 패키징 및 반도체, 이차 전지 등 다양한 마이크로 전자 산업 분야에서 구리 박막 또는 배선의 제조를 위해 사용되고 있으며, 각 응용처에서 요구하는 특성을 획득하기 위해 이들 구리 박막 또는 배선의 미세조직을 제어하고자 광범위한 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 기계적 물성이 우수한 이차 전지용 구리 박막을 제조하기 위해, 이차 전지 제조 공정 중 기계적 또는 열적 하중에 의한 박막의 소성 변형 시 박막을 구성하는 결정립들의 결정학적 이방성의 영향성을 조사하였다. 이를 위해, 상이한 집합조직이 발달한 2 종류의 10 ㎛ 두께 전해 도금 구리 박막에 대해 전자 후방 산란 (electron backscattering diffraction or EBSD) 기술을 이용하여 표면 또는 단면의 결정 방위 지도를 측정하였고, 이들을 초기 입력 정보로 한 결정소성 유한요소해석을 통해 1축 인장 변형에 따른 박막 내부의 국부적 변형 거동을 분석하였다. 이를 통해, 인장 변형률의 증가에 따른 박막 내 소성 변형 불균질성과 집합조직의 변화를 추적하였고, 불균질한 소성 변형을 일으키는 결정립의 결정 방위를 확인하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1995년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.167-171
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• 1995

The orientation dependence of sputtering rate in the sendust polysrystalline targets was studied, It was fount from the present work that the erosion process is not uniform from one grain to another even within a target because of its polysrystalline nature showing many different orientation of grains. The grains oriented to promote efficient erosion were characterized by the close-packed planes which have large interplanar spacing and strong binding energy, The characteristic line patterns appeared on as-sputter target surface are discussed in terms of symmetry of crystllographic planes.

• 열처리공학회지
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• 제27권2호
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• pp.79-89
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• 2014

The effect of carbon on the microstructure and texture of low carbon steels was investigated in a series of 1.6 Mn-0.3Cr-0.2Mo-0.001B steels with carbon ranging from 0.021 to 0.048%. Intensity of {111} orientation increased with decreasing the carbon content, resulting in the increase in $r_m$ value. The highest $r_m$ value of 1.30 was obtained in 0.021%C steel annealed at $820{\sim}850^{\circ}C$ according to the typical galvannealing heat cycle. Martensite volume fraction was not substantially affected by the annealing temperature. It was found that the fine and uniformly distributed martensite particles which were present in amounts of about 5% volume fraction were desirable for the highest $r_m$ value. The other factor affecting the high $r_m$ value was the preferred epitaxial growth of retained ferrite with {111} orientation into austenite during cooling.

• Interaction and multiscale mechanics
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• 제4권2호
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• pp.155-164
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• 2011

The lattice strain evolution within polycrystalline solids is influenced by the crystal orientation and grain interaction. For multi-phase polycrystals, due to potential large differences in properties of each phase, lattice strains are even more strongly influenced by grain interaction compared with single phase polycrystals. In this research, the effects of the grain interaction and crystal orientation on the lattice strain evolution in a two-phase polycrystals are investigated. Duplex steel of austenite and ferrite phases with equal volume fraction is selected for the analysis, of which grain arrangement sensitivity is confirmed in the literature through both experiment and simulation (Hedstr$\ddot{o}$m et al. 2010). Analysis on the grain interaction is performed using the results obtained from the finite element calculation based on the model of restricted slip within crystallographic planes. The dependence of lattice strain on grain interactions as well as crystal orientation is confirmed and motivated the need for more in-depth analysis.