Thickness Dependence of Orientation, Longitudinal Piezoelectric and Electrical Properties of PZT Films Deposited by Using Sol-gel Method (솔젤법에 의해 제조한 PZT(52/48) 막의 두께에 따른 우선배향성의 변화 및 이에 따른 압전 및 전기적 물성의 변화 평가)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.38 no.10
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- pp.942-947
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- 2001