Two-Step 스퍼터링 법에 의한 $Co_{77}Cr_{20}Ta_{3}$ 박막의 결정학적 특성
(Crystallograpic Characteristic of $Co_{77}Cr_{20}Ta_{3}$ Thin Films by Two-Step Sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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- pp.103-106
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- 2002