• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제18권8호
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• pp.772-778
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• 2005

In this paper, we designed the cylindrical type light source that had a electromagnetic principle of inductively coupled plasma, and measured its electrical-optical properties. Using the principle of transformer, electrically equivalent circuit of cylindrical type light source was analyzed. According to the parameters of electromagnetic induction which were diameter of coil with $0.3\~1.2\;mm{\Phi}$, number of turns with $4\~12$ turns, distance with $40\~120$ mm and RF power with $10\~150$ W, the electrical and optical properties were measured. When diameter of coil was $0.3\;mm{\Phi}$, number of turns was 8 turns and distance was 40 mm, the highest brightness of 29,730 $cd/m^2$ was shown with RF power 150 W. The relationship between electromagnetic induction and plasma discharges was shown by mode transition from E-mode to H-mode.

• 한국항행학회논문지
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• 제17권2호
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• pp.196-201
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• 2013

본 논문은 대칭 구조의 CRLH 전송선로를 바탕으로 이중모드에서 동작하는 평형 필터 설계를 제안한 것이다. 기존의 대칭 구조와는 다르게 이 구조에서는 공통 모드와 차동 모드의 이중모드에서 동작한다. 이러한 성질은 이 구조의 대칭면에 단락회로를 그라운드 비아에 의해서 동작되도록 구현하였다. 이렇게 하면 공통 모드와 차동 모드에서 모두 동작하는 특성을 얻을 수 있으며, 이러한 성질을 이용하여 평형 필터를 구현하였다. 이러한 특징들을 확인하기 위하여 5개의 대칭 CRLH 단위 셀로 시뮬레이션, 제작 및 측정을 하여 공통 모드와 차동 모드에서 동일하게 동작하는 평형 필터의 특성을 얻었다.

• Journal of electromagnetic engineering and science
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• 제3권2호
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• pp.126-132
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• 2003

In this paper, a coupled-line type waveguide bandpass filter is newly proposed. The proposed bandpass filter configuration consists of magnetically coupled waveguide cavities. In order to show the background of the proposed waveguide bandpass filter, the general coupled line TEM bandpass filter theory, which means the coupled line filter with arbitrary coupled line length and impedance level, will be briefly introduced. Calculations for the even- and odd-mode wave impedance of a coupled line waveguide structure are achieved based on the normalized impedance concept for a broad-side coupled waveguides by using vector finite element method(VFEM) calculation. Measured result of an implemented coupled-line type waveguide filter is presented.

• 한국전자파학회논문지
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• 제17권10호
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• pp.935-942
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• 2006

본 논문에서는 직렬 커패시터를 넓은 면 결합 SSS로 구현하는 새로운 이론이 제안되었다. 제안된 이론은 기모드 해석 방법만이 적용되었기 때문에 비교적 단순하지만 선로의 프린징 전자장 영향에 의한 유효 선로 폭과 선로 끝 효과를 고려함으로서 신뢰할 만한 결과를 제공한다. 이상적인 집중 소자 커패시터와 결합 선로 커패시터의 특성을 비교, 분석하기 위해 시뮬레이션 결과가 제시되었다. 또한 제안한 이론을 근거로 하여 커패시티브갭 결합 선로 대역 통과 필터가 설계 및 제작되었고, 그 결과로부터 이론의 타당성이 검증되었다.

• 전자공학회지
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• 제2권1호
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• pp.54-54
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• 1975

• 비파괴검사학회지
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• 제24권6호
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• pp.597-602
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• 2004

유도초음파의 현장적응에 있어 전파모드를 규명하는 것은 매우 어렵지만 중요한 과제이다. 본 연구에서는 분산성이 적은 단일모드를 발생시키고 검출할 수 있는 기법에 대해 다루고 있으며, 현장 적용성과 자동화를 위해 비접촉식의 기법을 적용하였다. 모드 선택성을 강화한 비접촉식의 유도초음파 기법으로는 선배열 슬릿을 이용한 레이저빔을 이용하였으며, 에어커플 변환기를 수신자로 사용하였다. 선배열의 레이저 조명은 파장과 일치하여 특정한 모드를 발생시킬 수 있다 또한, 에어커플 변환기는 공기 중으로 누설되는 유도초음파를 수신각도를 조절하여 선택적으로 모드를 수신할 수 있다. 1mm 두께의 알루미늄 판에 덕 기법을 적용한 실험결과로부터 제안하는 기법의 유용성을 검증하였고, 특히 단일한 $a_0$모드의 발생 및 수신에 효과적인 기법으로 나타났다.

• 한국음향학회지
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• 제35권4호
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• pp.243-252
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• 2016

본 논문에서는 연성 모드 기반의 양상태 비상관 잔향음 모델을 제안한다. 거리종속 환경에서 단방향 연성모드 기반의 음파전달모델을 사용하여 음원에서의 산란체에 도달하는 음압과 산란체에서 수신원에 도달하는 음압을 계산한다. 계산의 편의 상 각 산란체와 음원 또는 수신기 사이의 음파전달은 산란체와 음원 또는 수신기를 잇는 2차원 평면에서만 일어난다고 가정한다. 모델의 타당성을 검증하기 위해, 미 해군 잔향음 모델링 워크숍 I, II에 제시된 문제에 대해 계산하고, 그 결과를 음선 이론 기반의 비상관 잔향음 결과와 비교했다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제13권4호
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• pp.387-394
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• 2013

As the feature size of integrated circuits continues to decrease, the challenge of achieving an oxidation-free exposed layer after photoresist (PR) stripping is becoming a critical issue for semiconductor device fabrication. In this article, the hydrogen plasma characteristics in direct plasma and the PR stripping rate in remote plasma were studied using a $120{\Phi}$ cylindrical inductively coupled plasma source. E mode, H mode and E-H mode transitions were observed, which were defined by matching the $V_{rms}$ and total impedance. In addition, the dependence of the E-H mode transition on pressure was examined and the corresponding plasma instability regions were identified. The plasma density and electron temperature increased gradually under the same process conditions. In contrast, the PR stripping rate decreased with increasing proportion of $H_2$ gas in mixed $H_2/N_2$ plasma. The decrease in concentration of reactive radicals for the removal of PR with increasing $H_2$ gas flow rate suggests that NH radicals have a dominant effect as the main volatile product.

• Journal of Theoretical and Applied Mechanics
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• 제3권1호
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• pp.34-44
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• 2002

Theoretical analysis Is carried out to identify the modal coupling effect between some particular acoustic modes of a vehicle compartment cavity and vibration modes of body panels like side doors, roof or floor. A simplified panel-cavity coupled model is investigated on the coupled resonance frequencies, modes and frequency response characteristics. Through parametric study, It Is possible to explain how the acoustic response of a coupled system will be determined by the vibration and acoustic property of the individual panel and cavity system. Full coupled system shows some interesting features different from those of the semi-coupled system In frequency, mode and acoustic response.

• 한국통신학회논문지
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• 제11권6호
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• pp.388-395
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• 1986

Spectral domain에서 hybrid mode 분석과 Galerkin method를 사용하여 차폐된 단일, 결합 및 edge-offset 마이크로 스트립 구조의 분산특성을 고찰하였다. 진행방향의 스트립 전류에 대한 새로운 2개의 basis function이 제안되었으며 그들을 사용한 수치해의 수렵속도를 비교하였다. 결합 마이크로 스트립의 전류분포는 단일 마이크로 스트입의 전류분포로부터 Fourier변환의 shift theorem을 이용하여 얻었으며 off-centered 스트립의 분산에 대한 영향이 논의되었다. 수치 결과들은 여러가지 구조 parameter 들을 포함하여 다른 유용한 data 들과 비교한 결과 잘 일치함을 알 수 있었다.