$Si_3N_4$ trap layer의 두께에 따른 charge trap 특성
(Charge trap characteristics with $Si_3N_4$ tmp layer thickness)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
- /
- pp.124-125
- /
- 2008