• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제12권11호
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• pp.1095-1101
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• 2006

The clean tube system was developed as a means of transferring air-floated wafers inside a closed tube filled with super clean air. This paper presents a wafer position sensing method in the clean tube system, where the photo proximity sensors are used. The first presented method uses the two positions sensed lately in order to compute the wafer center position. The next method uses the latest sensed position and the next latest position compensated with the information of the wafer velocity. The third method uses the kalman filter, which enable us to use all the previous sensing information. The simulation results are compared to show results of the presented method. In addition, the paper presents a control method to stop the wafer at the center of the unit in the clean tube system. The experimental clean tube system worked successfully with the applying the both presented methods of sensing and control.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2004년도 ICCAS
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• pp.1264-1268
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• 2004

This paper presents a wafer motion modeling of the transfer unit and the control unit in the clean tube system, which was developed as a means for transferring the air-floated wafers inside the closed tube filled with the super clean airs. The motion in the transfer unit is modeled as a mass-spring-damper system where the recovering force by air jets issued from the perforated plate is modeled as a linear spring. The motion in the control unit is also modeled as another mass-spring-damper system, but in two dimensional systems. Experiments with a clean tube system built for 12-inch wafers show the validity of the presented force and motion models.

• 설비공학논문집
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• 제16권5호
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• pp.475-481
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• 2004

This paper presents a force model of the clean tube system, which was developed as a means of transferring air-floated wafers inside a closed tube filled with super clean air. The recovering force from the holes for floating wafers is modeled as a linear spring and thus the wafers motion is modeled as a mass-spring-damper system. The propelling forces are modeled as linear along with the wafer location. The paper also proposes a control method to emit and stop a wafer at the center of a control unit. It reveals the minimum value of the propelling force to leave from the control unit. In order to stop the wafer, it utilizes the exact time when the wafer arrives at the position to activate the propelling force. Experiments with the clean tube system built for the 12 inch wafer shows the validity of the proposed model and the algorithm.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.459-462
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• 2003

This paper presents a force model of the clean tube system, which was developed as a means for transferring the air-floated wafers inside the closed tube filled with the super clean air. The recovering force from the holes for floating wafers is modeled as a linear spring and thus the wafer motion is modeled as a mass-spring-damper system. The propelling forces are modeled as linear along with the wafer location. The paper also proposes the control method to emit and stop a wafer at the center of a control unit. It shows the minimum value of the propelling force to leave from the control unit. In order to stop the wafer, it utilizes the exact time when a wafer arrives at the position to activate the propelling force. Experiments with the clean tube system built for 12 inch wafer shows the validity of the proposed model and the algorithm.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권3호
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• pp.66-73
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• 2004

This paper presents wafer motion modeling of transfer unit in clean tube system, which was developed as a means for transferring the air-floated wafers inside the closed tube filled with the super clean airs. When the wafer is transferred in x direction with an initial velocity the motion along x direction can be modeled as a simple decaying motion due to viscous friction of the fluid. But, the motion in y direction is modeled as a mass-spring-damper system where the recovering force by air jets issued from the perforated is modeled as a linear spring. Experiments with a clean tube system built fur 12 wafer show the validity of the presented force and motion models.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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• pp.605-606
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• 2006

• 대한기계학회논문집B
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• 제38권12호
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• pp.963-969
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• 2014

본 연구는 고회분탄의 최적화된 연소 조건을 알아보기 위해 회분 함량이 각기 다른 네 종류 석탄의 연소시 배출되는 NOx및 미연분 특성을 알아보았다. 실험은 DTF(Drop Tube Furnace)를 통해서 다양한 입자크기조건 및 공기다단방식을 도입하여 수행하였다. 결과로 회분의 함량이 증가할수록 미연분이 증가하며, 입자크기가 증대될수록 미연분에 대한 회분의 영향이 명확해짐을 확인하였다. 또한, 회분의 함량이 증가할수록 Char-NOx가 감소하며, 입자크기가 감소할수록 NOx의 배출이 감소하는 것을 확인하였다. 본 연구는 고회분탄의 NOx를 저감하는 방법으로 공기다단방식의 적용을 제안하며 전단 연소 영역의 공기과잉률 변화를 통한 최적화된 연소조건을 제시하였다.

• 청정기술
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• 제24권4호
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• pp.365-370
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• 2018

Oil shale은 kerogen을 함유한 퇴적암으로 대표적인 비재래 에너지자원으로 알려져 있다. 열분해 공정을 통하여 oil shale이 분해되면 oil, gas 및 coke를 생성하게 된다. 본 연구에서는 oil shale의 청정 전환기술을 개발하기 위하여 oil shale의 TGA 및 연속 열분해 연구를 수행하였다. Oil shale의 열분해 전환율에 대한 반응 온도 및 체류시간의 영향을 살펴보고 oil의 생성율을 살펴보았다. Oil shale의 열분해 전환율은 온도와 체류시간에 따라 증가하였으며 $450{\sim}500^{\circ}C$, 체류시간 30 min의 조건에서 최대 oil 생산 수율을 나타내었다.

• 해양환경안전학회지
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• 제26권7호
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• pp.915-921
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• 2020

연소실 내 공조현상으로 인해 발생되는 열음향 불안정성은 안정적인 연소시스템을 구현하기 위해 해결해야 하는 고질적인 문제로 제기되어 왔다. 열음향 불안정성은 크게 1차 2차 열음향 불안정성으로 나뉘며, 본 연구에서는 열음향 불안정성 중 2차 열음향 불안정성의 천이에 관해 열손실이 미치는 영향에 대한 실험적 연구를 진행하였다. 2차 열음향 불안정성을 발생시키기 위해 한쪽 끝이 열린 1/4 파장 공명기를 채택하여 수직으로 설치하였고, 공명기 내부에는 예혼합 가스를 주입하였다. 또한 공명기 상단으로 발생하는 열손실 효과를 비교하기 위해 추가적으로 외부 동축류 관을 설치하였다. 연료 농후조건의 예혼합 가스만을 채택하여 주입하였기 때문에 동축관에 주입되는 기체에 따라 공명기 상부에 추가적인 확산화염이 형성될 수 있다. 그 결과 확산화염이 발생되었을 경우 공명기 상단으로의 열손실이 감소하며 2차 열음향 불안정성이 발현되었으며, 확산화염이 억제되어 공명기 상단으로의 열손실이 증가하였을 경우 2차 열음향 불안정성의 발현이 억제되는 결과를 도출하였다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제46권5호
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• pp.983-987
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• 2008

IGCC 파일럿 플랜트의 집진시스템을 최적 설계하기 위하여 수치해석을 수행하였다. 서로 다른 가스 유입 방식이 집진용기 내부의 유체 유동장과 입자 거동에 미치는 영향을 분석하였다. 필터 표면에 전달되는 입자의 부하율은 분진입자가 혼합된 가스가 내부에 차단관이 설치된 집진용기의 외벽에 접하게 설치된 접선 유입구를 따라 집진용기 내로 유입되는 경우 아주 낮았으며, 입자크기가 클수록 입자부하율은 급격히 감소하였다. 이에 반하여, 가스 유동이 집진용기의 필터지지판 중앙에 수직하게 설치된 수직 유입구를 통하여 집진용기 내로 유입되는 경우, 필터 표면으로의 입자 부하율이 아주 높았으며, 입자크기 증가에 따른 입자부하율의 감소는 접선 유입 방식에 비하여 크지 않았다.