Wafer Motion Control of Clean Tube System |
신동헌
(서울시립대학교 기계정보공학과)
최철환 (서울시립대학교 기계정보공학) 정규식 (서울시립대학교 기계정보공학과) |
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N2 tunnel wafer transport system
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Static Performance of Externally Pressurized Porous Gas Bearings
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Future trends and application of ultra clean technology
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Air film system for handling semiconductor wafers
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DOI ScienceOn |