Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.605-606
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Wafer position sensing and control in the clean tube system

클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어

  • Kim, Y.J. (Dept. of Mech. & Imf. Eng., University of Seoul) ;
  • Shin, D.H. (Dept. of Mech. & Imf. Eng., University of Seoul)
  • 김유진 (서울시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 신동헌 (서울시립대학교 기계정보공학과)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

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