PE-MOCVD에 의한 $SrTiO_3$ 박막의 제조 및 전기적 특성에 관한 평가
(Preparation and Electrical Properties of $SrTiO_3$ Thin Films by Plasma Enhanced Metal Organic Chemical vapor Deposition)
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- 한국세라믹학회지
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- 제33권2호
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- pp.177-182
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- 1996