이온빔 보조 증착법을 이용항 제작된 SnO$_2$ 에 초박막 Pd가 첨가된 박막형 가스센서의 메탄가스 감지특성
(The Sensitivity of Ultra Thin Pd-doped SnO$_2$ Gas Snesor Fabricated by Ion-Assisted Deposition for Methane Gas)
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- 한국세라믹학회지
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- 제35권8호
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- pp.795-800
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- 1998