• 제목/요약/키워드: CVD/ALD

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카노(Kano) 모델을 활용한 반도체 증착장비 분야 품질 만족 특성 분석: 복합제품시스템(CoPS) 관점에서의 시사점 (An Analysis of the Quality Attributes of Semiconductor Deposition Equipment Using Kano Model: Implications from the Perspective of Complex Products and Systems (CoPS))

  • 이승환;김병근;지일용
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제21권5호
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    • pp.28-38
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    • 2020
  • 반도체 증착장비는 일반적인 대량생산 제품과는 차별화되는 특징을 보이는 복합제품시스템(CoPS)의 주요 예시 중 하나로, 사용자 요구에 대한 충실한 이해가 필수적이다. 이에 본 연구에서는 Kano 모델을 활용하여 증착장비의 품질속성에 대한 사용자와 생산자의 만족 특성을 비교분석하고자 하였다. 사용자 및 생산자 기업의 엔지니어와 관리자들을 대상으로 Kano 설문을 수행하고 분석한 결과, 사용자 측과 생산자 측의 품질 만족 특성이 다르게 나타났다. 총 22개의 소분류 품질속성 가운데, 제조사 측은 22개 모두에 대해 매력적(A) 품질속성으로 평가한 반면, 사용자 측에서는 A 6개, 무관심(I) 10개, 당연적(M) 2개, 기타 경계치값 2개 등으로 평가하여 큰 차이를 보였다. 특히 제조사 측에서는 생산성능, 신뢰성, 편의성, 가격 및 원가 모두에 대해 매력적(A) 품질속성으로 평가한 반면, 사용자 측에서는 신뢰성에 대해서만 매력적 또는 당연적(M)으로 평가하고 나머지는 무관심(I)으로 평가하는 경우가 많았다. 이러한 결과는 이 분야 사용자와 생산자 간 품질속성에 대한 인식이 다르게 나타나고 있으며, 이에 대한 개선 및 전략적 활용의 필요성이 있음을 시사한다. 또한 상기의 결과는 CoPS는 규모의 경제와 비용절감보다는 제품 자체의 성능이 중요함을 시사한다. 따라서 증착장비 제조사들은 복합제품시스템의 특징을 반영한 혁신전략을 마련할 필요가 있다.

금속 산화물을 기반으로 한 이산화탄소 포집과 저장에 대한 최근 기술 (Recent Development in Metal Oxides for Carbon Dioxide Capture and Storage)

  • 오현영;라즈쿠마 파텔
    • 멤브레인
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    • 제30권2호
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    • pp.97-110
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    • 2020
  • 이산화탄소 포집 및 저장기술(CCS)은 인류발생적 요인에 의한 이산화탄소 배출 증가와 그로 인한 기후변화를 완화시킬 수 있는 기술 중 하나이다. 그 중, 매체 순환식 연소(chemical looping combustion, CLC)와 칼슘루핑(calcium looping) 기술은 현재 아민 스크러빙(amine scrubbing)을 대체할 수 있는 유망한 기술로 주목받고 있다. 두 방법 모두 금속 산화물을 이용한 연속적인 순환 사이클 반응에 의한 것이다. 전체적인 이산화탄소 포집 및 저장 성능의 향상을 위해서는 사이클을 거듭하며 발생하는 소결(sintering)로 인한 안정성 저하 문제를 해결하고 금속 산화물의 구조 또한 최적화해야 한다. 금속 산화물 표면에 얇은 박막을 형성하는 것은 소결로 인한 손상을 막을 수 있는 방법이다. 이러한 박막 제조 기술로 잘 알려진 기술에는 화학기상증착법(chemical vapor deposition)과 원자층증착기술(atomic layer deposition)이 있다. 본 총설에서는 CVD, ALD 기술을 비롯하여 효과적인 반응 안정성 향상을 위한 안정제 첨가 방법, 금속 산화물 구조 개선에 대한 다양한 최근 기술들을 다루었다.

증착 기법을 이용한 리튬이차전지용 초박막 세라믹 코팅 분리막 기술 (A Review on Ultrathin Ceramic-Coated Separators for Lithium Secondary Batteries using Deposition Processes)

  • 김우철;노영준;최승엽;;이용민
    • 전기화학회지
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    • 제25권4호
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    • pp.134-153
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    • 2022
  • 리튬이온전지의 에너지밀도가 지속적으로 높아지고 사용환경이 가혹해지고 있지만, 전지의 안전성은 타협할 수 있는 특성이 아니다. 특히, 더 높은 에너지밀도 확보를 위해 고용량 전극 소재 개발과 함께 분리막 원단 뿐만 아니라 세라믹 코팅층의 두께 및 무게의 박막화와 경량화가 동시에 요구되고 있다. 그 중, 기존 슬러리 코팅 방식을 증착 방식으로 대체하는 기술이 주목받고 있으며, 분리막의 내열성 확보를 위해 도입된 수 ㎛ 수준의 세라믹 코팅층을 nm 수준으로 박막/경량화 하면서도 동등의 내열성을 확보하는 시도가 진행되고 있다. 증착법으로 제조된 세라믹 코팅 분리막은 리튬이온전지 에너지밀도를 크게 증가시킬 수 있는 효율적인 방법이지만, 균일한 물성의 세라믹 코팅 분리막을 제작하기 위해서는 증착 공정 중 온도를 제어해야 하며, 생산속도와 공정비용을 기존 슬러리 코팅 수준으로 떨어뜨려야 하는 현실적 문제가 존재한다. 그럼에도 불구하고, 분리막 원단 대비 두께 및 무게 증가가 거의 없다는 점에서는 전지의 고에너지밀도 달성에 필요한 매력적인 접근법임은 분명하다. 본 총설에서는 세라믹 증착 코팅에 사용되고 있는 세 가지 방법인 1) 화학적 기상 증착법, 2) 원자층 증착법, 그리고 3) 물리적 기상 증착법으로 제조된 세라믹 코팅 분리막을 소개하고자 한다. 각 증착법의 원리와 장/단점을 설명하고, 제조된 세라믹 코팅 분리막의 물리적, 전기화학적 특성 및 전지의 성능 변화를 비교 분석하였다. 또한, 소재 관점에서 금속 또는 유기물질이 코팅된 초박막 코팅 분리막의 기술 동향도 소개하였다.