• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.3 no.4
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• pp.234-238
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• 1992

A sealed-off waveguide $CO_2$ laser with a length of 50 cm and a cross-sectional area of $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$ has been designed and constructed. The laser is transversely excited by RF (13.56 MHz) discharge. Output characteristics of the laser has been investigated performing variations of total gas pressure, input rf power, and mixing ratios of gases. The maximum output power of 9.5 W was obtained under the condition of total gas pressure of 50 Torr, input rf power of 180 W, and gas mixture of 6 : 1 : 2 : 1 of $He:CO_{2}:N_{2}:Xe$.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1991.06a
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• pp.3-8
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• 1991

내경이 2mm, 외경이 20 mm인 BeO 세마믹관을 이용하여 단일 발진선을 갖는 연속발진 BeO 도파관 CO2 레이저를 제작하였다. 이때 레이저의 총길이는 약 420mm이며, 공진기 길이는 365mm 이다. 가스압력비가 He : N2 : CO2 = 5 : 2 : 3 이고, 가스 입력부의 총압력이 91 torr 근처에서 이 레이저의 단일 발진선인 10P(14) line의 출력이 800 mW 이상이였으며, 횡모드는 대단히 안정된 EH11 (TEM00 에 대응) 단일모드였다. 또한 위의 조건에서 이 레이저의 tunability는 367 MHz 였다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.14 no.4
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• pp.406-412
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• 2003

We have developed a radio frequency excited slab waveguide $CO_2$ laser. The dimension of active volume is 2${\times}$40${\times}$400 mm. One concave and one convex mirror are used to make the unstable resonator of the positive branch. The radio frequency is 123 MHz and RF input power is varied from 100 to 900 W. The laser gas is set to a pressure of 10∼60 torr and the mixing ratio is $CO_2$:$N_2$:He=1:1:3. The laser output power of 70.7 W was obtained which corresponds to laser power to RF power conversion efficiency of 9.2%.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2002.11a
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• pp.290-291
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• 2002

스틸 판재 4KW CO2 레이저 용접시 발생되는 플라즈마 특성 연구를 위하여 용접 품질에 중요한 요인이 되는 용접속도, 주입가스 양, 판재사이의 갭을 변화시키면서 실험을 하였다 발생된 분광학적 스펙트럼을 측정하였고 플라즈마광의 세기를 광파이버를 이용하여 측정하였다 플라즈마 패턴 특성을 알기 위하여 1000 frame/sec의 고속 디지털 카메라를 이용하여 플라즈마 영상을 측정하였다 그 결과, 용접속도가 빠를수록 상단에서 발생되는 플라즈마 광의 세기는 커졌으며, 주입가스의 양이 적을수록 플라즈마광의 세기가 강하게 측정되었다. 또한 판재 사이가 넓을수록 발생된 플라즈마가 판재 사이로 분출이 되면서 그 세기가 감소되는 현상을 보여주었다. 이러한 결과는 2차원 플라즈마 영상실험의 결과와 일치함을 보여주었다. 따라서 표면에서 발생되는 플라즈마 광의 세기는 레이저 용접시 중요한 요인이 되는 침투깊이를 추정하는데 중요한 정보가 되며 레이저 용접 품질에 대한 실시간 모니퍼링이 가능함을 확인하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.08a
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• pp.220-221
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• 2000

가공용 레이저로는 $CO_2$, 루비, Nd:YAG, 아르곤 이온 레이저 등이 이용되고 있으며, 이중 펄스형 Nd:YAG 레이저는 $CO_2$ 레이저와 함께 레이저 가공에 널리 사용되는 고체 레이저로서 마킹(making), 트리밍(trimming), 리페어링(repairing) 등의 정밀 가공 분야에서 많은 실용화가 이루어져 왔다.$^{(1)}$ $CO_2$ 레이저의 경우 매질가스로 $CO_2$, $N_2$, He 등을 사용해야하므로 취급 및 유지보수가 불편하지만, 열전도율이 높고, 기계적 광학적으로 안정된 Nd:YAG 레이저는 램프에 의한 광 여기 방식이므로 유지보수가 쉽다. 또한 광 출력의 제어가 용이하며, 광파이버에 의한 빔 전송이 가능하여 산업기술 및 의료 분야에서의 적용이 더욱 더 확대되고 있다.$^{(2)}$ (중략)

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.15 no.4
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• pp.343-348
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• 2004

We report the design and basic operating characteristics of an radio frequency excited waveguide $CO_2$ laser. Four picecs of waveguide channels are placed in one laser cavity to increase a power per unit length with the form of a 2 ${\times}$ 2 matrix. Four independent optical outputs are measured from the front of output coupler, and these beams are combined to a Gaussian mode beam far from the output coupler. A 12 W output power has been obtained with $CO_2$ : $N_2$ : He : Xe = 1 : 1 : 3 : 0.2 of the gas mixture and 200 W of radio frequency.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.368-373
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• 1993

LCVD법에 의한 박막성장장치를 제작하였다. 제작한 CO2 레이저는 CO2 : N2 : He이 1 : 1 : 8로 혼합된 가스를 사용하였으며 최대 출력은 60W였고 혼합가스의 유량이 20l/min, 방전전류 40mAdlfEo 50W의 비교적 안정된 출력을 얻을 수 있었다. 반응실의 기초 진공은 1$\times$10-6torr였으며 레이저를 기판에 수직 혹은 수평으로 조사할 수 있도록 설계하였다. 제작된 장치로 SiH4 및 NH3를 재료로 하여 실리콘 및 quartz 기판위에 silicon nitride 박막을 증착하였다. 박막 생장시 가스를 흘리는 방식보다 가스를 채워놓고 하는 방식이 낮은 레이저 출력하에서 균일한 박막을 얻는데 효율적이라는 것을 발견하였다. 출력 55W의 레이저를 실리콘 기판에 5분간 조사하였을 때 최대 두께1.5$mu extrm{m}$의 박막을 얻었으며 quartz 기판위에는 출력 4W, 조사시간 6분에서 두께가 약 1$\mu\textrm{m}$인 비교적 균질의 박막을 얻을 수 있었다. FT-IR 및 XPS 분석 결과 SiH4와 NH3의 혼합비가 1 : 12일 때 비교적 nitride화가 잘 된 박막이 얻어졌음을 알았다.

• Journal of the Korea Computer Industry Society
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• v.2 no.8
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• pp.1055-1062
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• 2001

Study, it is the purpose to develope a cheap and compact pulsed $CO_2$ laser with pulse repetition rate range of 1 KHz. We used a IGBT switched power supply as a power supply, which is cheap and simple comparing to others. PIC one-chip microprocessor was used for precise control of a laser power supply on the control part. And the laser cavity was fabricated as an axial and water cooled type. The laser performance characteristics as various parameters, such as pulse repetition rate, gas pressure, and gas mixture rate have been investigated. The experiment was done under the condition of total pressure of $CO_2$： $N_2$：He ＝ 1：3：10, 1：1.5：5, 1：9：15 from 6 Torr to 15 Torr and pulse repetition rate from 100 Hz to 900 Hz. As a result, the maximum average outpu was about 20.5 W at the total pressure of 15 Torr, the gas mixture $CO_2$：$N_2$：He ＝ 1：9：15 and the pulse repetition rate of 700 Hz.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.33 no.2
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• pp.201-206
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• 2006

A recent laboratory study has demonstrated improved caries lesion resistance with enamel that was exposed to $CO_2$ laser irradiation for very short time period. When topical fluoride treatment was performed before or after laser irradiation, reductions in dental caries. The purpose of this scanning electron microscopic(SEM) study and atomic force microscope study was to characterize surface alterations in tooth enamel after in vitro laser irradiation alone and combined topical fluoride treatment either before or after laser irradiation. The treatment effects of laser irradiation led to the formation of an irregular, mild porosities and fine fissures, also created granular materials. But when laser irradiation was followed by APF, the enamel surface had homogenous architecture. The result led to the caries resistance effects by these granular structures have been considered to represent redeposited mineral phases due to the mobilization of calcium, phosphate, and fluoride from lased enamel.

• NEWSLETTER 전기공업
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• no.91-30 s.43
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• pp.1-19
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• 1991