• 제목/요약/키워드: CF11

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$C_2F_6$/$CHF_3$ 반응성이온 건식식각 공정시 실리콘 표면에 생성된 잔류막과 표면구조의 연구

  • 윤선진;장상환;권오준
    • ETRI Journal
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    • 제11권1호
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    • pp.89-96
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    • 1989
  • $C_2F_6$/$CHF_6$ 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막의 반응성이온 식각공정시 실리콘 표면에 형성되는 고분자 잔류막과 근표면 손상영역을 X-선 광전자분광법(x-ray photoelectron spectroscopy)과 러더포드 후방산란법(Rutherford backscattering)을 이용하여 연구하였다. 표면 잔류막은 CF, $CF_2$, $CF_3$, $C-CF_x$, 그리고 C-C/C-H 등의 결합을 가진 불화탄소 고분자로 구성되어 있으며, 또한 C 1s와 Si 2p X-선 광선자 스펙트럼으로부터 C-Si 결합이 존재함을 확인하였다. 반응성이온 식각을 거친 실리콘 표면 구조의 연구결과, 불소와 탄소로 구성된 고분자막($<20 \AA$)이 극표면에 존재하며, 식각 후 공기중에 노출됨에 따라 고분자 잔류층으로 산소가 통과하여 기판을 산화시킴으로써 실리콘 산화막( $~10\AA$)이 그 아래에 형성되었음을 알았다. 그리고 실리콘산화막 아래에 탄소-산소 결합영역이 관찰되었다. 플라즈마 가스의 조성에서 $CHF_3$의 량이 증가함에 따라 고분자 잔류막의 두께가 증가하였으며, 본 연구의 실험조건에서 2분간 overetching한 시편의 경우에도 실리콘 표면 영역의 손상정도가 매우 적음을 발견하였다.

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저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구 (A Study on the Cleaning Characteristics according to the process gas of Low-Pressure Plasma)

  • 구희준;고광진;정찬교
    • 청정기술
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    • 제7권3호
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    • pp.203-214
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    • 2001
  • 플라즈마를 발생시키는 반응기체의 종류에 따라 실리콘 산화막 세정에 어떠한 영향을 미치는지에 대해 연구하였다. 압력 (100 mTorr), 전력 (300 W, 500 W), 전극간 거리 (5, 8, 11.5 cm), 세정시간 (90초, 180초), 가스유량 (50sccm) 등의 변수들을 고정시키고 $CHF_3$, $CF_4$, 아르곤, 산소 등의 세정가스를 변화시키며 세정성능을 비교하였다. 세정결과 아르곤 플라즈마는 단지 물리적인 스퍼터링 효과만으로 세정속도가 느렸다. 산소 플라즈마는 5cm 전극거리, 300W, 180초 세정시 좋은 세정효과를 내었으나, 표면거칠기가 증가하였다. $CF_4$ 플라즈마의 경우 가장 좋은 세정효과를 얻었다. $CHF_3$ 플라즈마는 CFx/F의 비율을 낮출 수 있는 첨가기체가 필요함을 알 수 있었다. $CHF_3$에 아르곤을 첨가하였을 경우에는 원활한 세정효과를 얻을 수 없었으나, 산소를 첨가하였을 경우 좋은 세정효과를 얻을 수 있었다.

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$MnSO_4$용액조 장치 개발 연구 (The Development Study of A Manganese Sulphate Bath System)

  • 황선태;이경주;최길웅;김원식
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제11권1호
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    • pp.70-76
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    • 1986
  • 중성자 측정의 국가표준을 확립하기 위하여 국제원자력거주(IAEA)로 부터 기술지원을 받아서 $MnSO_4$용액조장치를 개발하였다. 본 용액조장치는 구형의 s.s. 316L $MnSO_4$용액조(두께 3.5mm, 내경 125cm), 용액의 순환계 및 5$^{56}Mn\;{\gamma}$-선 검출계동으로 구성되어 있다 .용액조 본체로부터 퍼내어진 용액은 2개의 $3.8cm{\phi}{\times}3.8cm$ NaI(T1) 검출기가 설치된 Marinelli 비이커형의 모니터 용기로 진입되어 순환된다. 본 장치의 성능검사는 $^{241}Am-Be$$^{252}Cf$ 중성자 선원 을 사용하여 수행하였다. $^{56}Mn$ 방사능의 붕괴 곡선을 분석한 결과, $^{252}Cf$의 중성자 방출율은 1985년 11월 15일 현재 $3.71{\times}10^7\;n/s\;per\;50{mu}g$ 으로 얻어졌다.

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퍼지 전문가 시스템을 이용한 지능형 항행 정보 융합 (Intelligent Navigation Information Fusion Using Fuzzy Expert System)

  • 김도연;이미라
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
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    • 제15권11호
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    • pp.47-56
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    • 2010
  • 항행중인 선박은 GPS, AIS, ECDIS, ARPA Radar 등 다양한 해양 장비를 통해 선내 외 상황에 대한 여러 정보들을 전달받고, 항해사는 이러한 다양한 정보를 이용하여 자선박의 항행 안전 상황을 인식 및 예측한다. 하지만 그로 인해 항해사의 장비 주시에 대한 업무 부담이 이전보다 증가하였으며, 때로는 장비 간 정보의 불일치가 발생하여 항해사를 혼란시키기도 한다. 이전 연구에서 이러한 문제를 해결하기 위해 항해사를 보조할수 있는 지능형 항행안전 정보 시스템의 개념모델과 CF(Certainty Factor)전문가 시스템을 이용한 그 개념모델의 예를 보인 바 있다. 정보 융합 기술에는 다양한 추론 기술들이 요구되는데 CF전문가 시스템만으로는 항해사의 의사결정과 같이 애매하고 불명확한 요소를 반영할 수 없다. 이 연구에서는 불명확한 요소를 반영할 수 있는 퍼지 전문가 시스템을 이용한 항행 정보 융합 방법을 제안하고, 제안된 방법을 설계 및 구현한 후 특정 시나리오에 대한 실행 예를 보임으로써 항행 정보 융합 시스템에 퍼지 전문가 시스템을 활용하는 것의 타당성을 보인다.

Pentachloroethane의 불소화 반응에 관한 연구 (A Study on the Fluorination of Pentachloroethane)

  • 박건유;권영수;김훈식;이상득;이병권
    • 공업화학
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    • 제4권2호
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    • pp.318-323
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    • 1993
  • CFC-11$(CFCl_3)$의 대체품인 HCFC-123$(CF_3CHCl_2)$의 합성을 위하여 Pentachloroethane($CHCl_2CCl_3$)을 제조하고, 이것을 antimony pentahalide 촉매의 존재하에서 불화수소와 반응시켰다. $CHCl_2CCl_3$의 불소화 반응은 촉매와 반응물간의 Cl-F교환 mechanism에 의해 진행되었으며 $CHCl_2CCl_3$의 불화도는 반응온도가 높을수록 증가하는 경향을 보여 주었다. 촉매농도 또한 생성물의 불화도에 영향을 미치나 반응온도에 비해 상대적으로 낮았다. $CCl_3CFCl_2$, $CFCl_2CFCl_2$, $CF_2ClCFCl_2$와 같은 부산물의 생성원인을 규명하기 위한 실험을 실시하여 부산물 생성 mechanism을 제안하였다.

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설사 자돈에서 분리된 병원성 대장균에 관한 연구 (Studies on enterotoxigenic Escherchia coli isolated from piglets with diarrhea)

  • 김광재;윤교복;최봉출;신은경;김종술;박양주;이유섭
    • 한국동물위생학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.359-370
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    • 1997
  • This study was carried out to Investigate the biochemical characteristics, antibiotic susceptibility, serogroups and pili producibility test of enterotoxigenic Escherichia coli(ETEC) isolated from piglets with diarrhea in Kangwon province from March to October 1996. 1. Sixty eight E coli strains were isolated from 72 piglets with diarrhea and the biochemical and cultural reaction were compared with the classification criteria of Edwards and Ewing. 2. The serogroups of 26 isolates were classified as 08 : K87 6(8.8%), O20 : K1O1 4(5.9%), O141 : K85 4(5.9%), 09 : K103 : P987 3(4.4%), O45 : K 2(2.9%) 0139 : K82 2(2.9%), O64 : $K^{-}$2(2.9%), O149 : K91 1(1.5%), O157 : K88ac 1(1.5%) and O115 : $K^{-}$1(1.5%), respectively. 3. In antibiotic susceptibility test, the isolates showed high susceptible to Ak, Eno, Na, Gm, Am and Km, whereas resistance to Tc, Sm and Cf. 4. Sixty one strains(89.7%) of 68 I coli Isolates were resistant to one or more drugs. The isolates resistant to 2 and 3 or more drugs were 60.3% and 19.1%, respectively. Amog the 16 multiple resistant patterns, Sm Tc(11.5% ), Cf Sm Tc(11.5% ), Cf Cp Sm Su Tc(9.8% ) and Cf Cp Sm Su Tc(8.2%) patterns were frequently observed. 5. MRHA of guinea pig erythrocytes was detected in 9 out of 26 OK serotype and 9 out of 42 unidentified serotypes. MRHA titers of serotypes showed from 16 to 32 in O141 : K85 and no titers in O139 : K82. 6. By the GM1 ganglioside ELISA, $\beta$-, $\alpha$-, and $\gamma$-hemolysin producing strains was detected as 36, 6, and 5 from heat labile enterotoxin(LT) of 47 ETEC, respectively. The distribution of LT toxin from 112 isolates was showed $\beta$- hemolysin, 2 isolates $\alpha$-hemolysin and 3 isolates $\gamma$-hemol-ysin from 26 OK serotypes.

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스티렌과 불소함유 아크릴레이트의 공중합 및 공중합체의 특성 (Copolymerization and Characteristics of Styrene and Fluorine-Containing Acrylate)

  • 김상신;이상원;허정림;허완수
    • 폴리머
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    • 제26권1호
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    • pp.9-17
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    • 2002
  • 탄화수소의 수소 부분이 불소로 치환된 과불소알킬기(perfluoro group : $CF_3(CF_2)_nCH_2CH_2$-; n=5, 7, 9, 11)를 함유하고 있는 perfluoroalkylethyl acrylate(FA)와 styrene을 bulk 상태에서 $60^{\circ}C$를 유지하며 $\alpha$, $\alpha$'-azobisisobutyronitrile(AIBN)을 개시제로 하여 각각의 단량체의 반응 몰비를 변화시키며 전환율을 10% 이내로 제한하여 공중합체를 합성하였다. 또한 반응 몰비의 변화에 따른 중합된 공중합체내의 반복단위의 함량사이의 관계와 Helen-Tudos법을 이용하여 단량체 반응성비 $r_1$, $r_2$를 구하였다. FT-IR과 $^1H-NMR$을 통해 두 단량체의 공중합 여부와 구조를 정성적으로 확인하였고 공중합체의 조성은 $^1H-NMR$분석을 통해 구하였다. 단량체의 비율에 따른 열적 특성은 DSC와 TGA를 통하여 분석하였으며 공중합체와 소량의 공중합체가 첨가된 PMMA의 접촉각을 측정하여 공중합체의 표면특성을 나타내는 표면자유에너지를 계산하였다.

간 실질세포주에서 니호채(泥胡菜) 분획물이 liver X receptor α 의존적 지방 생성 유전자의 발현에 미치는 효과 (The effects of Hemistepta lyrata Bunge (Bunge) fractionated extract on liver X receptor α-dependent lipogenic genes in hepatocyte-derived cells)

  • 김재광;조일제;김은옥;정대화;구세광;김상찬
    • 대한한의학방제학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.255-269
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    • 2020
  • Objectives : Hemistepta lyrata Bunge (Bunge) is a wild herb that has been used for managing fever and wound in Korean Traditional Medicine. The present study explored the effects of H. lyrata extract on liver X receptor (LXR) α-dependent lipogenic genes in hepatocyte-derived cells. Methods : After HepG2 cells or Huh7 cells were pre-treated with 1-10 ㎍/mL of H. lyrata extract or its fractionated extract for 0.5 h, the cells were subsequently exposed to LXR ligand for 6-24 h. Cell viability, LXR response element (LXRE)-driven luciferase activity, sterol regulatory element binding protein-response element (SREBP-RE)-driven luciferase activity, SREBP-1c expression, and mRNA levels of LXRα and its-dependent target genes were determined. In addition, LC-MS/MS analysis was conducted to explore major compounds in H. lyrata-chloroform fractionated extract #4 (HL-CF4). Results : Of various H. lyrata extracts tested, chloroform extract and its fractionated extract #4, HL-CF4, significantly decreased T0901317-mediated SREBP-1c expression. In addition, HL-CF4 significantly reduced LXRE atransactivation and LXRα mRNA expression without any cytotoxicity. Moreover, HL-CF4 prevented the SREBP-RE-driven luciferase activity and mRNA levels of fatty acid synthase and stearoyl-CoA desaturase-1 induced by T0901317. Results from LC-MS/MS analysis at positive/negative mode indicated that HL-CF4 contained several compounds showing m/z 197.1176 (C11H17O3), 693.2913/227.1069 (C38H45O12/C15H15O2), 203.1797 (C15H23), 181.1225 (C11H17O2), 591.2957 (C35H43O8), 379.1040 (C18H19O9), 409.1509 (C20H25O9), 309.1348 (C16H21O6), 391.1404 (C20H23O8), and 669.2924/389.1248 (C36H45O12/C20H21O8). Conclusion : Based on its inhibition of the LXRα-dependent signaling pathway, H. lyrata chloroform extract and HL-CF4 have prophylactic potentials for managing non-alcoholic fatty liver.

망가진 어금니의 교정(V) (Orthodontics of mutilated molars)

  • 박의웅
    • 대한치과의사협회지
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    • 제37권11호통권366호
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    • pp.818-822
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    • 1999
  • 지난 호까지 4회에 걸쳐 두부계측 분석으로 악안면 골격구조(skeletal pattern)를 이해하기 위하여 모교정의 진단법인 ODI/APDI/CF에 관하여 소개를 하였습니다. 이번 호에는 이틀(denture pattern)에 관하여 설명하겠습니다.

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개 외이도에서 분리한 세균 및 M pachydermatis의 약제감수성에 대하여 (Drug susceptibility of bacteria and M pachydermatis isolated from canine external ear canals)

  • 김기향;최원필;여상건
    • 대한수의학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.560-565
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    • 1999
  • The present work was conducted to investigate the drug susceptibility of microorganisms isolated from canine external ear canals. Antifungal susceptibility test of M pachydermatis (17 strains) was perfomed by agar dilution method, using 11 antifungal drugs including amphotericin B(A), nystatin(N), pimaricin(P), griseofulvin(G), bifonazole(B), clotrimazole(C), miconazole(M), econazole(E), ketoconazole(K), tolnaftate(T), 5-fluorocytosine(F). All isolates were highly sensitive to K, M, T(geometric mean MIC ; GM $MIC{\leq}0.16{\mu}g/ml$) but they weren't sensitive to P, F and G(GM $MIC{\geq}92.37{\mu}g/ml{\sim}{\geq}128{\mu}g/ml$). Antibacterial susceptibility test against 119 isolates of bacteria was performed by agar dilution method, using 9 antibacterial drugs including erythromycin(ET), chloramphenicol(CP), gentamycin(G), vancomycin(V), ampicillin(AP), amoxacillin(AX), chlortetracycline(CT), ciprofloxacin(CF), enrofloxacin(EF). All isolates of Staphylococcus spp(101 strains) were highly sensitive to EF, CF, G(GM MIC $0.33{\sim}1.47{\mu}g/ml$). In other gram positive cocci(4 strains), they were highly sensitive to EF, CF, V(GM MIC $1{\sim}4.76{\mu}g/ml$) and CT(GM MIC 1 UFL unit/ml). In gram positive rods(13 strains), they were highly sensitive to EF, CF, G(GM $MIC{\leq}0.19{\sim}1{\mu}g/ml$). In Pseudomonas aeruginosa(1 strain), it was highly sensitive to AX, EF, ET, CF(GM MIC $0.06{\sim}1{\mu}g/ml$) and CT(GM MIC 1 UFL unit/ml). All isolates weren't sensitive to AP(GM MIC 16~>$32{\mu}g/ml$).

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