Multi-component $ZnO-In_2O_3-SnO_2$ thin films deposited by RF magnetron co-sputtering
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- 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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- 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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- pp.68-71
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- 2006