Design of MEMS Resonator Array for Minimization of Mode Localization Factor Subject to Random Fabrication Error (랜덤 제조 오차를 고려한 모드 편재계수를 최소화하는 반복 배열 마이크로 공진기의 최적설계)
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- Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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- v.15 no.8 s.101
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- pp.931-938
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- 2005