• 한국광학회지
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• 제7권3호
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• pp.196-199
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• 1996

Gauss 동함수 변조가 이루어진 윤대구경에서 얻어지는 LSF가 전 구경으로 구해지는 LSF( $C_{o}$ $e^{-{\sigma}}$$^{2}$$x^{2}$/)와 같다는 사실을 증명하였다. $C_{o}$ , $C_{1}$은 윤대의 기하학적 구조에 따라서 정해지는 정수이고 진폭 감소율을 .alpha.로 잡을 때 .omega./.root.2<.sigma..leq.(1-.alpha./2.alpha.)$^{1}$2/ .omega.$_{o}$ 의 조건을 얻었다. .alpha.= $e^{-1}$, .lambda.=0.013.mu.m (연 X-선)일 때, .alpha.$_{o}$ '.leq.0.34.alpha.$_{o}$ =1.7cm의 조건을 만족하는 초분해능 윤대구경계로서, l=20cm, .alpha.$_{o}$ =5cm(NA=0.25)일 때, 내경의 최대치 1.7cm보다 약간 작은 .alpha.$_{o}$ '=1.5cm의 반사경계를 제안하였다.

• 소음진동
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• 제10권5호
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• pp.865-872
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• 2000

This paper presents the modeling, theoretical formulation, and stability analysis for a combined system of a spinning disc and a head that contacts the disc. In the analytic model, head interference is considered by a rotating mass-spring-damper system together with a frictional follower force on the damped annular discs. The multiple scale method is utilized to perform the stability system that shows the existence of instability associated with parametric resonances. Using the formulated system , instability regions of optical recording disc are investigated with variation of mass, stiffness and friction force of a head, respectively. The simulation results show that the stiffness of a head is the most sensitive parameter on the instability of the disc.

• 한국광학회지
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• 제3권3호
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• pp.143-147
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• 1992

개구상에서 위상변조를 실시하였을 때에 line spread function과 MTF에 미치는 효과를 실험적 측정에 의한 고찰을 실시하였다. 국산 쌍안경 대물렌즈를 시험렌즈로 하였다. 위상변조를 위한 위상판을 제작하고 렌즈앞에 밀착하여 MTF를 축정하였다. 위상변조는 개구상에서 일정한 범위를 $\pi$만큼 지연시켰다. 실험결과 수차가 큰 쌍안경 대물경계에 위상변조 효과는 공간주파수 여과특성은 매우 약하고 수차보정효과가 크게 나타났다. 결과적으로 적절하게 위상변조를 실시하면, 광에너지 손실이 거의없이 광학계의 결상능력을 향상시킬 수가 있음을 확증하였다.

• 한국광학회지
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• 제12권3호
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• pp.190-199
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• 2001

본 연구에서는 193nm의 ArF excimer laser 광원과 0.65의 NA를 갖는 광학계에서 기본 선폭이 $0.1{\mu}m$이고 duty ratio 가 1:1인 dense line & space(LS) 패턴에 대하여 여러사입사 조명 조건에 따른 초점심도(Depth of Focus; DOF)와 cutoff intensity를 확인하고 기본 capacitor 패턴에서 광학적 근접효과 보정을 위한 hammer head형 보조 패턴의 크기와 여러사입사 조건에 다른 DOF와 cutoff intensity의 변화에 대하여 알아보았다. 그결과 0.1$\mu$m급의 dense 패턴 구현을 위해서는 전형적인 X자형 사구 조명보다는 십자(+)형 사구 조명이나 환형조명이 보다 효과적인 것을 알수 있었다. 이와 더불어 보조 패턴의 크기가 약간 변한다 하더라도 일정한 초점심도와 cutoff intensity를 유지하는 경향을 보이는 특정한 조명 조건이 존재함을 밝히고 그에 따라 최적의 조명 조건과 보조 패턴의 크기에 대하여 알아보았다.

• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.22-27
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• 1993

개구상에서 위상을 변조하였을 때에 국산 쌍안경 대물경계의 OTF에 미치는 영향을 살펴보았다. 설계 data로부터 유한광선추적을 하여 파면수차를 계산하고 수치적으로 시계각 $0^{\circ}$와 에 대하여 OTF를 계산하였다. 위상변조는 개구상에 아눌라 형태로 위한을 $\pi$만큼 지연하는 것이다. 위상형태에 따라서 OTF값이 변화하는 것을 위상변조하지 않은 경우와 비교하였다. 결과적으로 시계각이 $0^{\circ}$일 때는 낮은 값을 보이나 $1.5^{\circ}$일 경우에는 특정한 주파수 영역에서 높은 값을 보여주고 있다. 따라서 적절한 위상변조에 의해 OTF값을 증진할 수가 있다.