• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제17권9호
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• pp.994-1000
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• 2004

We studied the characteristics of annular phase gratings as spatial frequency filters. We first calculated the Fraunhofer diffraction patterns of annular gratings and then got the modulation transfer function (MTF) from the zeroth order Hankel transform of the intensity distribution function. Binaryphase annular grating shows higher diffraction efficiency than binary phase rectangular grating. But the MTF decreases linearly in the low-frequency region as that of rectangular grating does. The diffraction pattern of 4-phase annular grating is similar to that of 2-phase grating and hence MTFs of the two are much alike. For 8-phase annular grating, the 7th order diffracted beam is the lowest one next to the first. Consequently, the diffraction efficiency is very high and the MTF graph is curved upward. The diffracted beams except the first order are negligible and hence the MTF characteristics are more improved in the case of 16-phase grating. But the degree of improvement becomes lowered c(Impaled with 8-phase grating. We made a 16-phase annular grating and measured its MTF. The experimental result agrees well with the calculated one.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제18권3호
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• pp.212-215
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• 2005

Modified illumination techniques have been used to enhance the resolution of the sub-wavelength lithography. But, since they shield the central part of incident light, the light efficiency is seriously degraded, which in turn reduces the throughput of a lithography process. In this research, we introduced an annular illumination structure that enhances the light efficiency with a concentric circular grating at the backside of a photomask. The efficiency of the structure was theoretically analyzed.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제17권7호
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• pp.697-700
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• 2004

We propose a method that realizes the modified illumination by implementing a binary phase grating at the backside of a photomask. By modeling the relationship between the shape of a grating on the photomask and the light intensity at the pupil plane, we developed a program named MIDAS that finds the optimum grating pattern with a stochastic approach. After applying the program to several examples, we found that the program finds the grating pattern for the modified illumination that we want. By applying the grating at the backside of a photomask, the light efficiency of modified illumination may be improved.

• 한국음향학회지
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• 제35권6호
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• pp.452-465
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• 2016

본 연구에서는 의료 치료용으로 고강도 집속 초음파를 발생시킬 수 있는 오목한 환상형 배열 트랜스듀서의 구조를 최적설계하였다. 트랜스듀서는 곡률반경으로 40 mm를 가지는 여러 개의 동심원 채널로 이루어진 위상배열 구조이다. 구조 설계를 위해 트랜스듀서의 음장을 해석할 수 있는 이론식을 유도하였으며, 이론식 계산 결과의 타당성을 유한요소해석 결과와 비교함으로써 검증하였다. 배열 트랜스듀서의 기하학적 초점 이외 지점에서의 동적 집속 가능 유무도 함께 확인하였다. 또한 음장 내 원하지 않는 지점에 발생하는 그레이팅 로브의 레벨은 트랜스듀서의 채널수와 주파수와의 관계를 이용하여 개선될 수 있음을 확인하였다. 따라서 정점으로부터 특정 범위 내에 주엽이 존재하면서 그레이팅 로브를 포함한 최대 부엽의 크기를 체계적으로 줄일 수 있도록 트랜스듀서 구조를 최적 설계하였다. 설계된 구조는 모든 집속 지점에서 목표를 만족하는 성능을 보였다.

• 한국광학회지
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• 제3권3호
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• pp.155-160
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• 1992

평행한 단색광이 회절격자에 입사하면 회절격자의 뒷쪽 공간의 특정한 위치마다 반복하여 격자선 무늬를 본뜬 그림자가 생기는 지점이 나타난다. 빛의 회절로 인하여 렌즈없이도 격자선의 상이 만들어지는 이 현상은 흥미로울뿐만 아니라 회절격자를 사용한 미소거리의 측정에 응용될 수 있다. 본 연구에서는 간단한 Fraunhofer 근사를 사용해도 이러한 현상을 해석할 수 있음을 보였고 실험을 통하여 예측한 대로 특정한 영역에서 격자선 복제가 일어나는 것을 확인하였다.