Kim, Byung-Moon;Park, Young-Min;Lyu, Seung-Woo;Yoon, Seog-Young;Park, Hong-Chae
Journal of the Korean Ceramic Society
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v.43
no.4
s.287
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pp.235-241
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2006
Mullite short fibers have been fabricated by adapting the Kneading-Drying-Calcination (KDC) process and characterized. The effect of the addition of foaming agent and calcination temperature on the formation of mullite fibers from coal fly ash, was examined. In the present work, ammonium alum $NH_4Al(SO_4)_2\;12H_2O$ synthesized trom coal fly ash and sodium phosphate $Na_2HPO_4\;2H_2O$ were used as foaming agents. After calcination at $1300^{\circ}C$ for 10 h and then etching with 20% HF solution at $50^{\circ}C$ for 5 h using a microwave heating source, the alumina-deficient $(AI_2O_3/SiO_2$ = 1.13, molar ratio) orthorhombic mullite fibers with a width of ${\sim}0.8mm$ (aspect ratio >30), were prepared from the coal fly ash with $AI_2O_3/SiO_2$ = 0.32, molar ratio by the addition of $NH_4AI(SO_4)_2\;12H_2O$, and with further addition of 2 wt% sodium phosphate. The excessive addition of sodium phosphate rather decreased the formation of mullite fibers, possibly due to the large amount of liquid phase prior to mullitization reaction.
Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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v.18
no.4
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pp.9-17
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2014
In this study, in order to improve the ignitability of high energy aluminum powder, natural oxide films (alumina) were chemically removed, and instead nickel coat was applied. We used an electroless plating for nickel coating and confirmed quantitatively and qualitatively a time-dependent degree of nickel coating through analysis of surface by SEM/EDS. We also conducted element analysis by XRD and thermal properties by TGA/DSC in air oxidizer environment. There results explained the ignition enhancement mechanism of the nickel-coated aluminum powder in air. The difference between coated and un-coated aluminum powder, the effectiveness of coated powder has better ignitability.
In order to remove particles on surface of post-oxide CMP wafer, new cleaning solution was prepared by mixing with DHF (Diluted HF), nonionic surfactant PAAE (Polyoxyethylene Alkyl Aryl Ether), DMSO (Dimethylsulfoxide) and D.I.W.. Silicone wafers were intentionally contaminated by silica, alumina and PSL (polystylene latex) which had different zeta potentials in cleaning solution. This cleaning solution under megasonic irradiation could remove particles and metals simultaneously at room temperature in contrast to traditional AMP (mixture of $NH_4OH,\;H_2O_2$ and D.I.W) without any side effects such as increasing of microroughness, metal line corrosion and deposition of organic contaminants. This suggests that this cleaning solution would be useful future application with copper CMP in brush cleaning process as well as traditional post CMP cleaning process.
The conversion of methanol to hydrocarbons has been studied over synthetic ZSM-5 zeolite catalyst having high silica to alumina ratio. The conversion products were olefins, paraffins, cycloparaffins, and aromatics, and the catalyst showed especially high selectivity toward the formation of aromatics. The catalyst showed the shape-selectivity and the size of molecules in the product was limited approximately to the size of 1,3,5-trimethylbenzene. Hydrogen form(HZSM-5) was more active, indicating reactions following the dehydration of methanol seemed to be mainly catalyzed by acid sites. Comparison of the reaction characteristics and acid site distribution of the ZSM-5 catalyst with those of mordenite and faujasite type catalysts suggests that cross-linked pore channel structure and the strong acidity of the ZSM-5 catalyst are primarily responsible for the selective formation of aromatics over this catalyst.
Self-priming venturi scrubber is one of the most effective devices used to collect aerosols and soluble gas pollutants from gaseous stream during severe accident in a nuclear power plant. The present study focuses on investigation of dust particle removal efficiency of the venturi scrubber both experimentally and theoretically. Venturi scrubber captures the dust particles in tiny water droplets flowing into it. Inertial impaction is the main mechanism of particles collection in venturi scrubber. The water injected into venturi throat is in the form of jets through multiple holes present at venturi throat. In this study, aerosols removal efficiency of self-priming venturi scrubber was experimentally measured for different operating conditions. Alumina (Al2O3) particles with 0.4-㎛ diameter and 3950 kg/㎥ density were treated as aerosols. Removal efficiency was calculated for different gas flow rates i.e. 3-6 ㎥/h and liquid flow rates i.e. 0.009-0.025 ㎥/h. Experimental results depict that aerosols removal efficiency increases with the increase in throat velocity and liquid head. While at lower air flow rate of 3 ㎥/h, removal efficiency decreases with the increase in liquid head. A theoretical model of venturi scrubber was also employed and experimental results were compared with mathematical model. Experimental results are found to be in good agreement with theoretical results.
Some basic properties of inorganic coatings hardened by the room temperature reaction with alkalies were examined. The coating paste was prepared from the powders in the system $Al_2O_3-SiO_2$-CaO using blast furnace slag, fly ash and amorphous ceramic fiber after mixing with a solution of sodium hydroxide and water glass. The mineralogical and morphological examinations were performed for the coatings prepared at room temperature and after heating to $1200^{\circ}C$ respectively. The binding force of the coating hardened at room temperature was caused by the formation of fairly dense matrix mainly composed of oyelite-containing amorphous phase formed by the reaction between blast furnace slag and alkali solution. At the temperature, fly ash and ceramic fiber was not reacted but imbedded in the binding phase, giving the fluidity to the paste and reinforcing the coating respectively. During heating up to $1200^{\circ}C$, instead of a break in the coating, anorthite and gehlenite was crystallized out by the reaction among the binding phase and unreacted components in ternary system. The crystallization of these minerals revealed to be a reason that the coating maintains dense morphology after heating. The maintenance of binding force after heat treatment is seemed to be also caused by the formation of welldispersed fiber-like mineral phase which is originated from the shape of the amorphous ceramic fiber used as a raw materials.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2003.05c
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pp.33-36
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2003
Tungsten is widely used as a plug for the multi-level interconnection structures. However, due to the poor adhesive properties of tungsten (W) on $SiO_2$ layer, the Ti/TiN barrier layer is usually deposited onto $SiO_2$ for increasing adhesion ability with W film. Generally, for the W-CMP (chemical mechanical polishing) process, the passivation layer on the tungsten surface during CMP plays an important role. In this paper, the effect of oxidants controlling the polishing selectivity of W/Ti/TiN layer were investigated. The alumina $(Al_2O_3)$ abrasive containing slurry with 5 % $H_2O_2$ as the oxidizer, was studied. As our preliminary experimental results, very low removal rates were observed for the case of no-oxidant slurry. This low removal rate is only due to the mechanical abrasive force. However, for Ti and TiN with 5 % $H_2O_2$ oxidizer, different removal rate was observed. The removal mechanism of Ti during CMP is mainly due to mechanical abrasive, whereas for TiN, it is due to the formation of metastable soluble peroxide complex.
Park, Chang-Jun;Seo, Yong-Jin;Lee, Kyoung-Jin;Jeong, So-Young;Kim, Sang-Yong;Lee, Woo-Sun
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2003.05c
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pp.45-48
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2003
The polishing mechanism of W-CMP process has been reported as the repeated process of passive layer formation by oxidizer and abrasion action by slurry abrasives. Thus, it is important to understand the effect of oxidizer on tungsten passivation layer in order to obtain higher removal rate (RR) and very low non-uniformity (NU%) during W-CMP process. In this paper, we investigated the effects of oxidizer on W-CMP process with three different kinds of oxidizers, such as $H_2O_2$, $Fe(NO_3)_3$, and $KIO_3$. In order to compare the removal rate and non-uniformity of three oxidizers, we used alumina-based slurry of pH 4. According to the CMP tests, three oxidizers showed different removal mechanism on tungsten surface. Also, the microstructures of surface layer by AFM image were greatly influenced by the slurry chemical, composition of oxidizers. The difference in removal rate and roughness of tungsten surface are believed to caused by modification in the mechanical behavior of $Al_2O_3$ abrasive particles in CMP slurry. Our stabilized slurries can be used a guideline and promising method for improved W-CMP process.
For recycl~ng alumhx~rn dross, the cbaraclcrislics of dross and ils reutll~zalin~af~te r plocsssing should he considered. Nurn~llumd ross was classified according to iB sire in this shldy. Tbe dross larger Illan 3001~1w as directly re-meltcd to recover aluminum, and the s~nallerd ~ossw as leachcd and riln~tedl o scparalc 111s eri~lerls alt and to oxidize the rnelals contained in the dross. As a rcwlt, amount of the dross uscd lo be dircarded ahcr processing could hc reduced Also, lhc chem~cal culnposit~ons of a domzstic alumlnum dross and the changes in con~posilii~ndsu ring processings were investigated. and Cound that most mctaU'ic aluminum in the dross was changed inlu alu~n~numox ide lhruugli the roasting. Tile processed dross would he ulillzed for malerials such as alumina, alumma cemenl or tilcs.
Chloride-based fluxes such as NaCl-KCl are used in the refining of Al melt. The vapor pressure of the chloride is one of the fundamental pieces of information required for such processes, and is generally high at elevated temperatures. In order to measure the vapor pressure for chlorides, the apparatus for the transpiration method was assembled in the present study. The vapor pressure of $ZnCl_2$ and $FeCl_2$, which is related with the process of aluminum refining and the recovery of useful elements from iron and steel industry by-products, was also measured. In the measurement of vapor pressure by the transpiration method, the powder of $ZnCl_2$ or $FeCl_2$ in a alumina boat was loaded in the uniform zone of the furnace with a stream of Ar. The weight loss of $ZnCl_2$ and $FeCl_2$ after holding was measured by changing the flow rate of Ar gas (10 sccm -230 sccm), and the partial pressures of $ZnCl_2$ and $FeCl_2$ were calculated. The partial pressures within a certain range were found to be independent of the flow rate of Ar at different temperatures. The vapor pressures were measured in the temperature range of 758-901K for $ZnCl_2$ and 963-983K for $FeCl_2$. The measured results agreed well with those in the literature.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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