• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2001.07a
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• pp.101-101
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• 2001

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2005.08a
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• pp.126-126
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• 2005

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2006.02a
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• pp.187-187
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• 2006

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2006.10a
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• pp.59-59
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• 2006

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.02a
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• pp.177-177
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• 2002

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.95-95
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• 2003

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.04a
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• pp.139-140
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• 2007

본 연구에서는 ion bombardment에 의한 폴리머 기판의 손상을 줄이기 위해 FTS (Facing Target Sputtering) 장치를 이용하여 투명 전극용 ITO 박막을 합성하였다. 산소와 헬륨의 혼합비율을 변수로 하여 박막을 합성한 결과, 투명전극에 적합한 낮은 비저항과 80% 이상의 투과도를 갖는 박막을 합성할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.177-177
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.291-291
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• 2008

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 2005.10a
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• pp.586-587
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• 2005