Design, Fabrication and Characterization of Lateral PZT actuator using Stiffness Control (강성제어 구조물을 이용한 수평구동형 박막 PZT 엑츄에이터의 설계, 제작 및 특성평가)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2004.10a
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- pp.756-759
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- 2004