JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제4권2호
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pp.100-105
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2004
The influencing factors on the OPC (optical proximity correction) results are quantitatively analyzed using OPCed L/S patterns. ${\sigma}$ values of proximity variations are measured to be 9.3 nm and 15.2 nm for PR-A and PR-B, respectively. The effect of post exposure bake condition is assessed. 16.2 nm and 13.8 nm of variations are observed. Proximity variations of 11.6 nm and 15.2 nm are measured by changing the illumination condition. In order not to seriously deteriorate the OPC, these factors should be fixed after the OPC rules are extracted. Proximity variations of 11.4, 13.9, and 15.2 nm are observed for the mask mean-to-targets of 0, 2 and 4 nm, respectively. The decrease the OPC grid size from 1 nm to 0.5 nm enhances the correction resolution and the OCV is reduced from 14.6 nm to 11.4 nm. The enhancement amount of proximity variations are 9.2 nm corresponding to 39% improvement. The critical dimension (CD) uniformity improvement for adopting the small grid size is confirmed by measuring the CD uniformity on real SRAM pattern. CD uniformities are measured 9.9 nm and 8.7 nm for grid size of 1 nm and 0.5 nm, respectively. 22% improvement of the CD uniformity is achieved. The decrease of OPC grid size is shown to improve not only the proximity correction, but also the uniformity.
The study investigates the various Acceptance Control Charts (ACCs) based on the factors that include process independence, data weighting scheme, subgrouping, and use of control charts. USL - LSL > $6{\sigma}$ that used in the good condition processes in the ACCs are designed by considering user's perspective, producer's perspective and both perspectives. ACCs developed from the research is efficiently applied by using the simple control limit unified with APL (Acceptable Process Level), RLP (Rejectable Process Level), Type I Error $\alpha$, and Type II Error $\beta$. Sampling interval of subgroup examines i.i.d. (Identically and Independent Distributed) or auto-correlated processes. Three types of weight schemes according to the reliability of data include Shewhart, Moving Average(MA) and Exponentially Weighted Moving Average (EWMA) which are considered when designing ACCs. Two types of control charts by the purpose of improvement are also presented. Overall, $\alpha$, $\beta$ and APL for nonconforming proportion and RPL of claim proportion can be designed by practioners who emphasize productivity and claim defense cost.
건설기업은 내 외부의 경영환경이 글로벌화 되고 수주경쟁이 치열해 짐에 따라 기업 운영 효율성 증대와 수익성 증대를 위한 경영체제에 대한 노력이 요구된다. 1990년 이후 건설기업은 프로세스 중심의 내 외부 업무구조를 개선하기 위하여 BPR, 6시그마, PI, 워크플로우 관리, BPM 등 다양한 시도가 있었으며 기업내부에서 개선된 기능을 일부 획득 했으나 일회성 사업에 머물렀으며 변화에 대한 업무 프로세스 민첩성의 제공은 미비하였다. 또한 최근의 BPM 적용과 실용화 방안에 대해서는 타 산업분야의 이론과 방법론에 국한되어 있으며, 건설기업의 BPM 적용을 위한 도입 시도는 일부기업에서만 개념적 이론적 접근 및 검토단계에 머무르고 있다(B사, H사, 2007년 기준). 따라서 본 연구에서는 건설기업의 경영 패러다임의 변화를 반영하고 건설기업의 업무 프로세스 경영 모델의 도입현황과 개선요구사항을 분석하고자 한다. 또한 건설기업의 BPM 도입을 위하여, 지속 가능한 업무 프로세스 경영 모델의 구축방안을 제시함으로서 건설기업 BPM의 발전방향을 제시하고자 한다.
Process capability is well known in quality control literatures. Process capability refers to the uniformity of the process. Obviously, the variability in the process is a measure of the uniformity of output. It is customary to take the 6-sigma spread in the distribution of the product quality characteristic as a measure of process capability. However there is no reference of process capability when maximum material condition is applied to datum and position tolerance in GD&T (Geometric Dimensioning and Tolerancing). If there is no material condition in datum and position tolerance, process capability can be calculated as usual. If there is a material condition in a feature control frame, bonus tolerance is permissible. Bonus tolerance is an additional tolerance for a geometric control. Whenever a geometric tolerance is applied to a feature of size, and it contains an maximum material condition (or least material condition) modifier in the tolerance portion of the feature control frame, a bonus tolerance is permissible. When the maximum material condition modifier is used in the tolerance portion of the feature control frame, it means that the stated tolerance applies when the feature of size is at its maximum material condition. When actual mating size of the feature of size departs from maximum material condition (towards least material condition), an increase in the stated tolerance-equal to the amount of the departure-is permitted. This increase, or extra tolerance, is called the bonus tolerance. Another type of bonus tolerance is datum shift. Datum shift is similar to bonus tolerance. Like bonus tolerance, datum shift is an additional tolerance that is available under certain conditions. Therefore we try to propose how to calculate process capability index of position tolerance when maximum material condition is applied to datum and position tolerance.
IoT 분야와 의료 측정기기 분야에서 여러 개의 아날로그 입력 신호를 동시에 디지털 신호로 변환하는 기술 요구가 늘어나고 있다. 기존 단일 또는 2개의 체널 방식을 이용하여 여러 개의 아날로그 신호를 처리하는 방식에서는 하드웨어 크기와 전력소모 면에서 응용 제한을 받게 된다. 본 논문에서는 여러 개의 아날로그 입력을 동시에 받아서, 각각에 대한 24비트 디지털 신호를 출력하는 다채널 24비트 ADC 용 콤필터 설계 및 구현을 기술하였다. 제안된 콤필터의 기능은 매트랩 시뮬레이션과 FPGA 테스트 보드로 검증하였다. SK 하이닉스 0,35㎛ CMOS 표준 공정을 이용하여 칩으로 제작하였다. 미분기/적분기 사용 또는 FIR 구조의 기존 방식과 성능, 칩 면적을 비교하였다. 제안된 콤필터는 6개 이상의 다채널 아날로그 입력, 저 전력 소모, 작은 하드웨어 크기를 요구하는 IoT 제품과 의료 측정기기 활용이 예상된다.
This paper presents a design optimization process for interior permanent magnet synchronous motors (IPMSM) for hybrid electric compressors (HEC) which are applied to hybrid electrical vehicles. A hybrid electric compressor is composed of an electric motor driving section and an engine driving section which is connected to the engine by a pulley belt. A hybrid electric compressor driving motor requires half of the full driving power of a compressor. Even though an engine is not operated at the idling stop mode, the electric motor drives the air-conditioner compressor by itself so that the air conditioning system can produce its minimum cooling capacity. In this paper, the design optimization of an IPMSM for a 42 (V) applied voltage system is studied using the design of experiment (DOE) and response surface method (RSM) of 6sigma. The driving characteristics of this motor drive system are measured and analyzed by experiment.
Based on eco-friendly advantages and the enhanced development in the chemical and physical characteristics, liquid silicone rubber (LSR) is widely used in producing precision parts in the automotive, medical, electronics, aeronautical and many other industries. In the current work, a thermoplastic-thermoset multi component injection molding (MCM) was developed for a waterproof automotive connector housing using PBT and LSR resins. Measurements of the rheological characteristics of PBT and LSR were made to improve the reliability of the numerical analysis for the multi component injection process. With the measured viscosity, pvT and curing data, numerical analysis of the multi cycle injection molding was conducted using simulation software (Sigma V5.0).
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제15권6호
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pp.608-614
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2015
A multi-channel audio CODEC with inter-channel interference suppression is proposed, in which channel switching noise-referred sampling error is significantly reduced. It also supports a coarse/fine mode operation for fast frequency tracking with good harmonic performance. The proposed multi-channel audio CODEC was designed in a 65 nm CMOS process. Measured results indicated that SNR and SNDR of ADC were 93 dB and 84dB, respectively, with SNDR improved by 43 dB. Those of DAC were 96 dB and 87 dB, respectively, with SNDR improved by 45 dB when all the channels are running independently.
911테러 이후, 세계 무역환경은 물류의 안전과 원활화를 요구하게 되었고, 이런 패러다임의 변화에 따라 우리나라도 '09년 4월 AEO공인 제도를 도입하였다. 무역공급망(Supply Chain) 기업은 AEO 공인을 받기 위하여 내부통제시스템을 구축하여야 하며, 그 중 적정한 위험관리절차를 갖추어야 하는 바, 동 절차에 대한 특별한 방법론이 아직 제시되지 않은 상태이다. 따라서, AEO와 관련된 위험관리방법론을 연구하고, 이를 기업에 확산되어 있는 6시그마 방법론과 접목시켜 기업의 AEO 공인을 지원하고 기업활동의 효율성을 높이고자 함이다.
The microstructural characteristics and its related mechanical properties of RPV cladding have been investigated using small punch (SP) tests. SA508 Cl.3 RPV steel plates were overlay cladded with the type ER309L welding consumables by submerged arc welding process. Although the RPV clad material had a small portion of 5 ferrite phase, it still showed the ductile to brittle transition behavior The transition temperature was determined by the SP test and it depended on the content of $\sigma$ phase, specimen size, and determination methods. The fracture appearance of SP specimen was changed from circumferential to radial cracking as test temperature became low, and below the transition temperature region, ER309L cladding usually fractured along the 6 ferrite by the low temperature failure of ferrite phase.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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