• 제목/요약/키워드: 5 nm & 7 nm technology

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비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 비정질 탄소박막의 트라이볼로지 특성에서 CrC 삽입층 효과에 대한 연구 (CrC Interlayer Effect on Tribological Properties of Amorphous Carbon Deposited by UBMS Method)

  • 김필중;박용섭
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제31권7호
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    • pp.475-480
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    • 2018
  • We investigated the tribological properties of amorphous carbon (a-C) films deposited with CrC interlayers of various thicknesses as the adhesive layer. A-C and CrC thin films were deposited using the unbalanced magnetron (UBM) sputtering method with graphite and chromium as the targets. CrC films as the interlayer were fabricated under a-C films, and various structural, surface, and tribological properties of a-C films deposited with various CrC interlayer thicknesses were investigated. With various CrC interlayer thicknesses under a-C films, the tribological properties of CrC/a-C films were improved; the increased film thickness exhibited a maximum high hardness of over 27.5 GPa, high elastic modulus of over 242 GPa, critical load of 31 N, residual stress of 1.85 GPa, and a smooth surface below 0.09 nm at the condition of 30-nm CrC thickness.

광학적 신호감지의 유전박막 다이아프레임을 이용하는 압력센서 (Thin dielectric diaphragm pressure sensor with optical readout)

  • 김명규;유양욱;박동수;김진섭;이정희;손병기
    • 센서학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.1-7
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    • 1996
  • 실리콘 미세가공 기술로 약 $0.6{\mu}m$ 두께의 150 nm-$Si_{3}N_{4}$/300 nm-$SiO_{2}$/150 nm-$Si_{3}N_{4}$ 다이아프레임을 실리콘 기판위에 형성하고, 이것과 광섬유를 결합하여 광강도형 압력센서를 제작하였다. 센서의 광원에서 사용하는 파장인 $1.3\;{\mu}m$ 근방에서 다이아프레임의 광투과도는 약 50 %였으나, 다이아프레임에 약 $1,000\;{\AA}$의 금(Au)을 증착하여 다이아프레임의 광투과도를 수 %정도로 감소시킬 수 있어서 이 다이아프레임을 센서의 광반사막으로 사용할 수 있었다. 다이아프레임의 크기를 $3{\times}3\;mm^{2}$, $4{\times}4\;mm^{2}$$5{\times}5\;mm^{2}$로 각각 변화시켜 제작한 센서에서, 센서의 광출력은 $0{\sim}77\;torr$의 측정압력범위에서 인가하는 압력을 중가 시킴에 따라 각각 선형적으로 감소하였으며, 이들 센서의 압력감도는 각각 0.52 nW/torr, 0.65 nW/torr 및 0.77 nW/torr로서 다이아프레임의 크기를 증가시킴에 따라 증가하였다.

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서울시 노원구 도로상 극미세입자 오염도 공간분포 특징 (Characteristics of spatial distribution of ultrafine particle number concentration on the roads of Nowon-gu, Seoul)

  • 이승복;이동훈;이승재;진현철;배귀남
    • 한국입자에어로졸학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.21-30
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    • 2011
  • The spatial distributions of air pollutants, in particular, ultrafine particles near traffic congestion roads at urban areas need to reduce human exposure levels for protecting public health. In this study, the number concentrations of ultrafine particles larger than 5 nm were measured every second during driving on the major roads of Nowon-gu, Seoul for 1.6 h using a mobile emission laboratory on October 5, 2010. The ultrafine particle number concentrations ranged from 7,009 to $265,600particles/cm^3$ with an average of $55,570particles/cm^3$, and these levels were comparable to concentrations of ultrafine particles larger than 3 or 7 nm on the arterial roads at urban areas in Los Angeles, USA and Zurich, Switzerland. It was frequently observed that the ultrafine particle number increased rapidly when vehicle speed was accelerated and it decreased sharply when vehicle speed was decelerated. The high peak events of ultrafine particle concentration larger than $200,000particles/cm^3$ were observed seven times during the measurement period. From the three repeated measurements during the short period of 50 min, it was concluded that the ultrafine particle number concentration on the road was significantly time-dependent. This on-road measurement approach can be utilized to manage vehicle-related air pollution in urban.

400cc급 EFI 소형엔진의 성능개발 (Performance Development of the 400cc EFI Small Engine)

  • 박성영
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권4호
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    • pp.1547-1551
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    • 2011
  • 기화기 방식의 엔진을 EFI 소형 엔진으로 설계 변경하여 제작하였다. 최적의 작동 조건을 선정하기위하여 엔진의 성능개발을 수행하였다. EFI 엔진의 최대 출력 및 최대 토크는 12.56Ps 및 25.4Nm로 기화기 엔진과 동등한 수준이다. EFI 소형엔진의 연료 소모율은 기화기 방식 엔진 대비 평균 17% 향상되었다. KG2-6모드 실험을 통한 HC+NOx는 7.46g/kWh로 측정되어, EPA Phase 3 규제를 만족하였다. THC는 기화기식 엔진 대비 평균 41% 저감되었으나, 열효율의 상승으로 인하여 NOx는 평균 3.5배 증가하였다.

Electron Dose Measurement with Polycarbonate Film Dosimeter

  • Yoo, Young-Soo
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제8권1호
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    • pp.9-17
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    • 1976
  • 고준위 전자선량을 측정하기 위하여 두께 0.1mm인 polycarbonate 필름을 선정하여 선량계 특성을 조사하였다. 선량범위는 1.0-130Mrad이며 도정곡선을 이용하여 200Mrad까지도 측정할 수 있었고 측정요차는 3.5% 이내였다. 330nm데서 측정한 농도는 실온에서는 조사후 1일 동안에 약 7-13% 감소하였으며 그 후의 감소율은 매우 적어 약 0.6%/일 였다. 조사후의 농도변화는 흡수선량, 보존온도 및 파장에 따라 상이하였기 때문에 조사후 경과시간 및 보존온도와 조사시의 온도에 관한 효과를 검토하였다. 이 선량계를 사용할때에는 농도 변화의 오차를 줄이기 위해서는 1일후에 농도를 측정하거나 혹은 10$0^{\circ}C$에서 1시간 열 처리가 필요하였다.

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Spark Plasma Sintering and Ultra-Precision Machining Characteristics of SiC

  • Son, Hyeon-Taek;Kim, Dae-Guen;Park, Soon-Sub;Lee, Jong-Hyeon
    • 한국재료학회지
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    • 제20권11호
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    • pp.559-569
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    • 2010
  • The liquid-phase sintering method was used to prepare a glass lens forming core composed of SiC-$Al_2O_3-Y_2O_3$. Spark plasma sintering was used to obtain dense sintered bodies. The sintering characteristics of different SiC sources and compositions of additives were studied. Results revealed that, owing to its initial larger surface area, $\alpha$-SiC offers sinterability that is superior to that of $\beta$-SiC. A maximum density of $3.32\;g/cm^3$ (theoretical density [TD] of 99.7%) was obtained in $\alpha$-SiC-10 wt% ($6Al_2O_3-4Y_2O_3$) sintered at $1850^{\circ}C$ without high-energy ball milling. The maximum hardness and compression stress of the sintered body reached 2870 Hv and 1110 MPa, respectively. The optimum ultra-precision machining parameters were a grinding speed of 1243 m/min, work spindle rotation rate of 100 rpm, feed rate of 0.5 mm/min, and depth of cut of $0.2\;{\mu}m$. The surface roughnesses of the thus prepared final products were Ra = 4.3 nm and Rt = 55.3 nm for the aspheric lens forming core and Ra = 4.4 nm and Rt = 41.9 for the spherical lens forming core. These values were found to be sufficiently low, and the cores showed good compatibility between SiC and the diamond-like carbon (DLC) coating material. Thus, these glass lens forming cores have great potential for application in the lens industry.

수정유리와 SF-5 유리의 ELID 연삭특성 비교 (Comparative Study on the Grinded Surface Characteristics of Quartz Glass and SF-5 Glass using ELID(Electrolytic In-Process Dressing) Grinding)

  • 박상후;양동열;곽태수;오오모리히토시
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.94-97
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    • 2003
  • A precise fabrication technology of glass is increasingly demanded fer the latest Industrial applications of spherical lenses. micro-optical components, laser applications and so on. Most of cases, the surface roughness of glass is required to be minute for improving the optical characteristics. Then. the machining characteristics of SF-5 glass and quarts glass were studied by using the ELID grinding process to get mirror surface and productivity compared with a general lapping process. A rotary type grinder with ELID generator was used to make the mirror surface of glass and a Mitutoyo surface tester and a nano-hardness tester were also used to measure the grinded surface or glass. As the results of experiments. they showed that the surface roughness(Ra) of SF-5 glass was under 7.8 nm and that of quartz glass was under 3.0 nm using the # 8000 grinder. So, the possibility of highly efficient and accurate surface for optical components can be achieved by the ELID grinding process.

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빛, 용매와 zinc protoporphyrin에 의한 MTT 포마잔의 화학적 동태 변화 (Effects of various lights, solvents, and zinc protoporphyrin on the chemical behavior of MTT formazan)

  • 김주현;홍정일
    • 한국식품과학회지
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    • 제50권1호
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    • pp.1-7
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    • 2018
  • 본 연구에서는 식품성분이나 천연물의 세포활성 측정에 널리 사용되는 MTT 분석 상의 최종산물인 MTT 포마잔 색소에 대한 여러 용매 상에서의 안정성과 다양한 빛과 ZnPP가 미치는 영향을 조사하였다. MTT 포마잔의 발색도는 0.01 N 이상의 NaOH 농도에서 가장 높게 나타났으며, 증류수, DMSO, 에탄올, 메탄올 등의 용매에 비해 2배 이상의 발색강도를 보였다. 증류수나 0.01 N 이하의 NaOH 농도에서 MTT 포마잔은 불안정하여 빛의 조사와 관계없이 신속하게 분해되었으며 0.1 N NaOH, DMSO에서는 안정하였다. DMSO나 0.1 N NaOH 상에서 MTT 포마잔은 형광등과 UVA (365 nm)의 조사에 의해 2시간 내에 발색도의 현저한 변화가 관찰되지 않았으나, UVB (254 nm)에 노출되었을 경우 용매와 관계없이 신속하게 탈색되었다. MTT 포마잔은 에탄올, 메탄올, DMSO와 NaOH 용매상에서 ZnPP에 의해 시간과 농도에 의존적으로 분해되었으며, 0.1 N NaOH 상에서 가장 민감하고 신속한 탈색 양상을 나타내었다. DMSO와 0.1 N NaOH 상에서 MTT 포마잔은 $0.1{\mu}M$의 ZnPP에 의해서도 유의적인 탈색현상을 나타내었다. 하지만 ZnPP에 의한 MTT 포마잔의 탈색현상은 암소에서는 일어나지 않았으며, 빛과 관계없이 명소와 암소에서 모두 수용성 XTT 포마잔에는 미미한 효과를 나타내었다.

The Effect of Potassium Hydroxide on the Porosity of Phenol Resin-based Activated Carbon Fiber

  • Jin, Hang-Kyo
    • Carbon letters
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    • 제7권3호
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    • pp.161-165
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    • 2006
  • Activated carbon fiber could be prepared at 973 K by catalytic activation using potassium hydroxide. Phenol resin fiber (Kynol) was impregnated with potassium hydroxide ethanol solution, carbonized and activated at 973 K, resulting in activated carbon fibers with different porosities. The potassium hydroxide accelerated the activation of the fiber catalytically to form narrow micropore preferentially in carbon dioxide atmosphere. The narrow micropore volume of 0.3~0.4 cc/g, total pore volume of 0.3~0.8 cc/g, mean pore width of 0.5~0.7 nm was obtained in the range of 20~50% burnoff.

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PIT유화시스템을 이용한 제주산 유채씨앗 오일추출물의 나노에멀젼의 제조 및 효과 (Effectiveness and Preparation of Nano-emulsion of a Rapeseed Oil Extract Originated from Jeju with PIT Emulsifying System)

  • 주세진;이정구;김학수;이민희;김인영
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.486-494
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    • 2012
  • 다양한 화장품에 응용을 위하여 제주산 유채오일 추출물을 대상으로 PIT유화시스템을 이용한 나노에멀젼을 제조하였다. 천연 유채오일 추출물은 n-헥산을 용매로 사용하여 추출하였다. 천연유채오일 추출물은 엷은 노란색의 점성을 가진 액체이었고, 수율은 $43{\pm}2.5%$이었다. 산가는 $2.76{\pm}0.5$이었고, 비중은 $0.89{\pm}0.05$ 이었다. 20wt%의 유채오일을 사용한 PIT-Yuche-NE의 입자크기는 50-120nm (평균입자크기: $82{\pm}5.8nm$)이었고, 제타 포텐셜은 -29.5mV 이었다. 이것은 $(PEG)_{5-30}$ 지방산 에테르를 사용하기 때문에 열역학적으로 안정하였다. 특징적인 결과로부터 얻은 몇 개의 결론을 다음과 같이 나열하였다. 첫째, DPPH (1,1-diphenyl-2-picrylhydrazyl radical)방법을 이용한 자유 라디칼 소거력을 측정하였다. PIT-Yuche-NE의 항산화력은 $37.2{\pm}6.7%$이었고, 비교군인 10 mg/mL의 PIT-Toco-NE(토코페롤 20wt% 나노에멀젼)은 $28.8{\pm}6.5%$, 10 mg/mL의 PIT-Nokcha-NE (녹차추출물 20wt% 나노에멀젼)은 $29.6{\pm}7.2%$이었다. 둘째, PIT-Yuche-NE의 콜라겐합성율은 $148{\pm}15.2%$ 이었고, 동일 농도에서 비교군인 PIT-Toco-NE은 $121{\pm}13.5%$, PIT-Nokcha-NE은 $95{\pm}12.7%$이었다. 셋째, 6시간 후, Aramo-TS를 사용한 Yuche-CRM의 피부보습효과는 $47{\pm}3.9%$ (*p-value£0.05, n=7)이었다. 반면, Toco-CRM은 $30{\pm}5.2%$(*p-value£0.05, n=7)이었고, Nokcha-CRM은 $35{\pm}4.5%$이었다. 따라서 Yuche-CRM은 다른 두 크림보다 높은 보습효과를 보였다. 최종적으로 본 연구는 화장품 산업 및 제약산업에서도 폭넓게 응용될 것으로 기대한다.