RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 저온 증착한 $SrTiO_3$ 박막의 전기적 특성
(Electrical properties of $SrTiO_3$ thin films deposited at low temperatures by RF magnetron sputtering)
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- 한국진공학회지
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- 제5권4호
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- pp.359-364
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- 1996