A study on the improvement of c-axis preferred orientation and electrical resistivity of ZnO thin films by two-step deposition method (2단계 증착 방법에 의한 ZnO 박막의 c-축 배향성 및 비저항 향상에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2001.07c
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- pp.1340-1342
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- 2001